マグネトロンスプッターコーティング (magnetron sputtering coater) は,磁気力波スプッター技術に基づく装置である.磁気力波に制約されたイオンを使用して標的を爆撃し,基板に均質で密度の高いフィルムを堆積する.
なぜそれが良いのか: 固まりが強い均質で密度の高いフィルムを生産することが知られている.
何のために?:ハードウェア部品のコーティングや半導体,光学レンズ,切削ツールなどの分野での機能コーティングに使用されています.
マグネトロンスプッティングコーティング
マグネットロン噴射は,噴射物質が標的表面にイオンを投射することで噴射されるプラズマコーティングプロセスである.PVDコーティングマシンの真空室は,惰性ガスで満たされています高電圧を施すことで,光る放電が作られ,その結果,標的表面へのイオンの加速とプラズマコーティングが生じる.アルゴンイオンは,標的表面からスプッティング材料を投射します (スプッティング)マグネットロン噴射技術には以下の特徴があります.
* 水冷却対象なので 放射線熱は少ない
* ほぼすべての金属の標的材料は分解せずにスプッター化できます
* 無線電波 (RF) を使って無電導物質を噴射することができる
中周波 (MF) の電源
* オキシドコーティングはスプッター可能 (反応性スプッター)
* 優れた層均一性
* とても滑らかなスプッター塗料 (滴滴がない)
* カソード (長さ最大2m) は,任意の位置に置くことができます.
噴射装置の設計の柔軟性
機械は,金,ローズゴールド,銀,鋼,ニッケル,青銅,アントラサイト,黒などの様々な金属色のコーティングを提供しています.コーティングの色は,その組成によって決定されます.シルコニウムから成る私たちのプロセスエンジニアリングチームは,あなたの要求に応じて色を調整することができますので,あなたはあなたの市場でユニークかもしれません.
腕時計帯,時計ケース,宝石,スマートフォン,電子製品,衛生用品,ゴルフハードウェア,テーブルウェア,化粧品などに広く使用されています.装飾用コーティングなどもTiC,TiCN,TiAlN,CrNなどとAfコーティング
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一般的なフィルムタイプ
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典型的な用途
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メタル&合金フィルム:
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半導体相互接続に適した電子装置の電極
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隔熱フィルム
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隔熱,保護;電子部品の包装,光学装置の基板に使用される
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オプティカルフィルム
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レンズ,ディスプレイ,光学フィルター用
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装飾用・保護用フィルム
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宝石,硬貨,切削道具,模具の表面処理用
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機能的な複合フィルム
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透明な伝導性,抗菌性,水害性.電子ディスプレイ,医療機器,新しいエネルギー製品に適しています.
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