یک پوششدهنده اسپاترینگ مگنترون دستگاهی است که بر اساس فناوری اسپاترینگ مگنترون است. این دستگاه از یونهای محدود شده توسط میدان مغناطیسی برای بمباران اهداف استفاده میکند و لایههای یکنواخت و متراکم را روی زیرلایهها رسوب میدهد.
چرا خوب است: به دلیل تولید لایههای یکنواخت و متراکم با چسبندگی قوی شناخته شده است.
برای چه چیزی است: به طور گسترده برای پوششدهی قطعات سختافزاری و همچنین پوششدهی کاربردی در زمینههایی مانند نیمهرساناها، لنزهای نوری و ابزارهای برش استفاده میشود.
پوشش اسپاترینگ مگنترون
اسپاترینگ مگنترون یک فرآیند پوششدهی پلاسما است که در آن مواد اسپاترینگ به دلیل بمباران یونها به سطح هدف پرتاب میشوند. محفظه خلاء دستگاه پوششدهی PVD با یک گاز بیاثر مانند آرگون پر میشود. با اعمال ولتاژ بالا، تخلیه درخششی ایجاد میشود که منجر به شتاب یونها به سطح هدف و پوشش پلاسما میشود. یونهای آرگون مواد اسپاترینگ را از سطح هدف (اسپاترینگ) خارج میکنند و در نتیجه یک لایه پوشش اسپاتر شده روی محصولات جلوی هدف ایجاد میشود. فناوری اسپاترینگ مگنترون با موارد زیر مشخص میشود:
* یک هدف خنکشونده با آب، بنابراین گرمای تابشی کمی تولید میشود
* تقریباً هر ماده هدف فلزی را میتوان بدون تجزیه اسپاتر کرد
* مواد غیر رسانا را میتوان با استفاده از فرکانس رادیویی (RF)
یا توان فرکانس متوسط (MF) اسپاتر کرد
* پوششهای اکسیدی را میتوان اسپاتر کرد (اسپاترینگ واکنشی)
* یکنواختی لایه عالی
* پوششهای اسپاتر شده بسیار صاف (بدون قطرات)
* کاتدها (تا 2 متر طول) را میتوان در هر موقعیتی قرار داد، بنابراین انعطافپذیری بالایی در طراحی تجهیزات اسپاترینگ وجود دارد
این دستگاه پوششهایی در رنگهای فلزی مختلف مانند طلایی، رزگلد، نقرهای، فولادی، نیکل، برنز، آنتراسیت و مشکی ارائه میدهد. رنگ پوشش توسط ترکیب آن تعیین میشود که از زیرکونیوم، تیتانیوم، نیتروژن، کربن، اکسیژن و سایر فلزات تشکیل شده است. تیم مهندسی فرآیند ما میتواند رنگ را با توجه به نیازهای شما تنظیم کند، به طوری که ممکن است در بازار خود منحصر به فرد باشید.
به طور گسترده در بند ساعت، قاب ساعت، جواهرات، تلفن هوشمند، محصولات الکترونیکی، لوازم بهداشتی، سختافزار گلف، ظروف غذاخوری، لوازم آرایشی و غیره استفاده میشود. این دستگاه میتواند انواع پوششهای تزئینی مانند TiN، TiC، TiCN، TiAlN، CrN و غیره و پوششهای Af را رسوب دهد.
نوع فیلم رایج
|
کاربردهای معمول
|
فیلمهای فلزی و آلیاژی:
|
|
مناسب برای اتصالات نیمهرساناها، الکترودهای دستگاههای الکترونیکی
|
فیلمهای عایق
|
|
عایق، حفاظت؛ برای بستهبندی قطعات الکترونیکی، زیرلایههای دستگاههای نوری استفاده میشود
|
فیلمهای نوری
|
|
برای لنزها، نمایشگرها، فیلترهای نوری
|
فیلمهای تزئینی و محافظ
|
|
برای عملیات سطحی جواهرات، سختافزار، ابزارهای برش و قالبها
|
فیلمهای کامپوزیت کاربردی
|
|
هدایت شفاف، خاصیت ضد باکتریایی، آبگریزی؛ مناسب برای نمایشگرهای الکترونیکی، دستگاههای پزشکی، محصولات انرژی جدید
|
ویژگیهای تجهیزات
|
