เครื่องเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนเป็นอุปกรณ์ที่ใช้เทคโนโลยีสปัตเตอร์แมกนีตรอน มันใช้ไอออนที่ถูกจำกัดด้วยสนามแม่เหล็กเพื่อระดมยิงเป้าหมาย ทำให้เกิดการสะสมของฟิล์มที่สม่ำเสมอและหนาแน่นบนพื้นผิว
ทำไมมันถึงดี: เป็นที่รู้จักกันในการผลิตฟิล์มที่สม่ำเสมอและหนาแน่นพร้อมการยึดเกาะที่แข็งแรง
มันมีไว้เพื่ออะไร: ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเคลือบชิ้นส่วนฮาร์ดแวร์ รวมถึงการเคลือบผิวแบบใช้งานได้ในสาขาต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ เลนส์ออปติคัล และเครื่องมือตัด
การเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอน
การสปัตเตอร์แมกนีตรอนเป็นกระบวนการเคลือบพลาสมา ซึ่งวัสดุสปัตเตอร์ถูกขับออกมาเนื่องจากการระดมยิงไอออนไปยังพื้นผิวเป้าหมาย ห้องสุญญากาศของเครื่องเคลือบ PVD เต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอน โดยการใช้แรงดันไฟฟ้าสูง จะเกิดการปล่อยประจุเรืองแสง ส่งผลให้ไอออนเร่งไปยังพื้นผิวเป้าหมายและการเคลือบพลาสมา ไอออนอาร์กอนจะขับวัสดุสปัตเตอร์ออกจากพื้นผิวเป้าหมาย (สปัตเตอร์) ส่งผลให้เกิดชั้นเคลือบสปัตเตอร์บนผลิตภัณฑ์ที่อยู่ด้านหน้าเป้าหมาย เทคโนโลยีสปัตเตอร์แมกนีตรอนมีลักษณะดังนี้:
* เป้าหมายระบายความร้อนด้วยน้ำ ดังนั้นจึงเกิดความร้อนจากการแผ่รังสีเพียงเล็กน้อย
* วัสดุเป้าหมายที่เป็นโลหะเกือบทั้งหมดสามารถสปัตเตอร์ได้โดยไม่เกิดการสลายตัว
* วัสดุที่ไม่นำไฟฟ้าสามารถสปัตเตอร์ได้โดยใช้พลังงานความถี่วิทยุ (RF)
หรือพลังงานความถี่กลาง (MF)
* สามารถสปัตเตอร์การเคลือบออกไซด์ได้ (การสปัตเตอร์แบบรีแอคทีฟ)
* ความสม่ำเสมอของชั้นดีเยี่ยม
* การเคลือบสปัตเตอร์ที่เรียบมาก (ไม่มีหยด)
* สามารถวางแคโทด (ยาวถึง 2 เมตร) ในตำแหน่งใดก็ได้ ดังนั้นจึงมีความยืดหยุ่นสูงในการออกแบบอุปกรณ์สปัตเตอร์
เครื่องนี้มีการเคลือบสีโลหะต่างๆ เช่น ทอง, โรสโกลด์, เงิน, เหล็ก, นิกเกิล, บรอนซ์, แอนทราไซต์ และดำ สีของการเคลือบถูกกำหนดโดยองค์ประกอบ ซึ่งประกอบด้วยเซอร์โคเนียม, ไทเทเนียม, ไนโตรเจน, คาร์บอน, ออกซิเจน และโลหะอื่นๆ ทีมวิศวกรรมกระบวนการของเราสามารถปรับแต่งสีให้ตรงตามความต้องการของคุณ เพื่อให้คุณมีความโดดเด่นในตลาดของคุณ
ใช้กันอย่างแพร่หลายในสายนาฬิกา, ตัวเรือนนาฬิกา, เครื่องประดับ, สมาร์ทโฟน, ผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์, สุขภัณฑ์, ฮาร์ดแวร์กอล์ฟ, เครื่องใช้บนโต๊ะอาหาร, เครื่องสำอาง ฯลฯ สามารถสะสมการเคลือบตกแต่งทุกชนิด เช่น TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN ฯลฯ และการเคลือบ Af
ประเภทฟิล์มทั่วไป
|
การใช้งานทั่วไป
|
ฟิล์มโลหะและโลหะผสม:
|
|
เหมาะสำหรับการเชื่อมต่อเซมิคอนดักเตอร์, ขั้วไฟฟ้าอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
|
ฟิล์มฉนวน
|
|
ฉนวน, การป้องกัน; ใช้สำหรับบรรจุภัณฑ์ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์, สับสเตรตอุปกรณ์ออปติคัล
|
ฟิล์มออปติคัล
|
|
สำหรับเลนส์, จอแสดงผล, ฟิลเตอร์ออปติคัล
|
ฟิล์มตกแต่งและป้องกัน
|
|
สำหรับการรักษาพื้นผิวของเครื่องประดับ, ฮาร์ดแวร์, เครื่องมือตัดและแม่พิมพ์
|
ฟิล์มคอมโพสิตแบบใช้งานได้
|
|
การนำไฟฟ้าแบบโปร่งใส, คุณสมบัติในการต้านเชื้อแบคทีเรีย, การไม่ชอบน้ำ; เหมาะสำหรับจอแสดงผลอิเล็กทรอนิกส์, อุปกรณ์ทางการแพทย์, ผลิตภัณฑ์พลังงานใหม่
|
คุณสมบัติของอุปกรณ์
|
