Ein Magnetron-Sputterbeschichter ist ein Gerät, das auf der Magnetron-Sputtertechnologie basiert. Es verwendet magnetfeldgebundene Ionen, um Ziele zu bombardieren und gleichmäßige, dichte Filme auf Substraten abzuscheiden.
Warum es gut ist: Es ist bekannt für die Herstellung gleichmäßiger, dichter Filme mit starker Haftung.
Wofür es gedacht ist: Weit verbreitet für die Beschichtung von Hardwareteilen sowie für Funktionsbeschichtungen in Bereichen wie Halbleitern, optischen Linsen und Schneidwerkzeugen.
Magnetron-Sputterbeschichtung
Magnetron-Sputtern ist ein Plasma-Beschichtungsverfahren, bei dem Sputtermaterial durch die Bombardierung von Ionen auf die Zieloberfläche ausgestoßen wird. Die Vakuumkammer der PVD-Beschichtungsmaschine wird mit einem Inertgas wie Argon gefüllt. Durch Anlegen einer Hochspannung wird eine Glimmentladung erzeugt, die zur Beschleunigung von Ionen zur Zieloberfläche und zu einer Plasmabeschichtung führt. Die Argon-Ionen stoßen Sputtermaterialien von der Zieloberfläche (Sputtern) aus, was zu einer gesputterten Beschichtungsschicht auf den Produkten vor dem Ziel führt. Die Magnetron-Sputtertechnologie zeichnet sich aus durch:
* Ein wassergekühltes Ziel, so dass wenig Strahlungswärme erzeugt wird
* Fast jedes metallische Zielmaterial kann ohne Zersetzung gesputtert werden
* Nichtleitende Materialien können durch Verwendung von Hochfrequenz (HF) gesputtert werden
oder Mittelfrequenz (MF) Leistung
* Oxidbeschichtungen können gesputtert werden (reaktives Sputtern)
* Ausgezeichnete Schichtgleichmäßigkeit
* Sehr glatte gesputterte Beschichtungen (keine Tröpfchen)
* Kathoden (bis zu 2 Meter lang) können in jeder Position platziert werden, daher hohe
Flexibilität des Sputteranlagen-Designs
Die Maschine bietet Beschichtungen in verschiedenen Metallfarben wie Gold, Roségold, Silber, Stahl, Nickel, Bronze, Anthrazit und Schwarz. Die Farbe der Beschichtung wird durch ihre Zusammensetzung bestimmt, die aus Zirkonium, Titan, Stickstoff, Kohlenstoff, Sauerstoff und anderen Metallen besteht. Unser Verfahrenstechnik-Team kann die Farbe nach Ihren Anforderungen fein abstimmen, so dass Sie in Ihrem Markt einzigartig sein können.
Es wird häufig in Armbändern, Uhrengehäusen, Schmuck, Smartphones, elektronischen Produkten, Sanitärartikeln, Golf-Hardware, Geschirr, Kosmetika usw. verwendet. Es kann alle Arten von dekorativen Beschichtungen wie TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN usw. und Af-Beschichtungen abscheiden.
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Üblicher Filmtyp
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Typische Anwendungen
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Metall- und Legierungsfilme:
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Geeignet für Halbleiterverbindungen, Elektroden für elektronische Geräte
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Isolierende Filme
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Isolierung, Schutz; verwendet für die Verpackung elektronischer Komponenten, Substrate für optische Geräte
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Optische Filme
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Für Linsen, Displays, optische Filter
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Dekorative & Schutzfilme
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Für die Oberflächenbehandlung von Schmuck, Hardware, Schneidwerkzeugen und Formen
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Funktionelle Verbundfilme
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Transparente Leitfähigkeit, antibakterielle Eigenschaften, Hydrophobie; geeignet für elektronische Displays, medizinische Geräte, neue Energieprodukte
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