horizontale magnetron-sputteringcoatingsapparatuur pvd vacuümcoatingsmachine voor het coachen van glazen of mentals

Inleiding
Structuur:

Horizontale vacuümkamer, magnetische besturingsdoelassemblage, horizontaal transmissiesysteem, vacuümafzuig- en detectiesysteem, industrieel besturingssysteem, substraat ionisatie- en temperatuurregelsysteem.

Werkingsprincipe:

In een vacuümomgeving wordt werkingsgas geïntroduceerd. Het plasma wordt ingesloten door een magnetisch veld, waardoor hoogenergetische ionen het doelmateriaal bombarderen. De atomen van het doelmateriaal worden losgemaakt en horizontaal afgezet op het oppervlak van het substraat dat met een constante snelheid beweegt om een film te vormen.

Kenmerken
De structuur is modulair en zeer uitbreidbaar:

De coatingkamers zijn meestal van modulaire structuur, die flexibel de posities van de kathode en de pompgroep kan aanpassen aan de procesvereisten. Het aantal kamers kan ook naar behoefte worden verhoogd, en zelfs dubbelzijdige coatingfunctie kan worden bereikt. Om bijvoorbeeld te voldoen aan de composietvereisten van verschillende filmlagen, kan continue depositie van meerlaagse films worden bereikt door de sputterkamers te vergroten of te verkleinen en verschillende doelmaterialen te matchen.

Hoge mate van automatisering en intelligentie:

De mainstream modellen zijn uitgerust met industriële besturingscomputersystemen, die volledig automatische werking kunnen bereiken. Ze zijn ook uitgerust met automatische transport van werkstukrekken of automatische retour systemen voor materiaalrekken. In combinatie met mechanische armen kunnen ze ook de voorgaande en volgende processen verbinden. Het ondersteunt tegelijkertijd onderhoudsdetectie op afstand via het netwerk en monitoring van het coatingproces. Tijdens het productieproces zijn er ook alarmmeldingen en foutweergaven, wat de tijdige identificatie van problemen vergemakkelijkt.

Uitstekende coatingcompatibiliteit en uniformiteit:

De geoptimaliseerde doelstructuur en een redelijke lay-out van de doelbasis, in combinatie met een roteerbare monsterstage of een stabiel horizontaal transmissiesysteem, kunnen de sputteruniformiteit verbeteren. In het effectieve depositiegebied van sommige LOW-E productielijnen is de uniformiteit van de filmlaagdikte bijvoorbeeld ≤± 5%. Bovendien kan het substraat dissociatiesysteem het productoppervlak activeren, waardoor de consistentie van de coating op verschillende materiaalsubstraten verder wordt gewaarborgd.

Voordelen
Hoge productie-efficiëntie en controleerbare kosten:

Het continue horizontale transmissieontwerp vereist geen frequent starten en stoppen van de apparatuur, en de apparatuurcyclus is snel. De enkele productiecyclus van sommige productielijnen is bijvoorbeeld slechts 60 seconden en de jaarlijkse output kan meer dan 2 miljoen vierkante meter bedragen.

 Tegelijkertijd besparen ontwerpen zoals automatische retour van materiaalrekken mankracht, en de toepassing van binnenlandse componenten vermindert ook de kosten van het herstel en gebruik van apparatuurstoringen. In het productieproces van condensatoren kan deze apparatuur ook zilverpasta printen vervangen, waardoor de productiekosten verder worden verlaagd.

De kwaliteit van de filmlaag is stabiel en betrouwbaar:

 Met behulp van het substraat ionisatiesysteem en het geoptimaliseerde sputterproces heeft de afgezet filmlaag een dichte structuur, sterke hechting en is niet gemakkelijk los te laten. Bovendien vergemakkelijkt het ontwerp van kleine-hoek sputtering met een roterend doel niet alleen de depositie van filmlagen op het binnenoppervlak van kleine openingen, maar voldoet het ook aan de coatingvereisten van sommige substraten met een complexe structuur.

Energiebesparend, milieuvriendelijk en gemakkelijk te bedienen en te onderhouden:

Het maakt gebruik van een droog proces, zonder lozing van chemisch vloeibaar afval, en voldoet aan de RoHS/REACH milieubeschermingsvoorschriften. Sommige vacuümsystemen van apparatuur zijn uitgerust met moleculaire pompen voor luchtafzuiging, wat een relatief laag energieverbruik heeft. Ondertussen kan de kathode baffle structuur de cyclus van het vervangen en reinigen van doelmateriaal verkorten en de werklast van het onderhoud van de apparatuur verminderen.

Toepassing
Op het gebied van architecturaal en autoglas:

Het is de kernapparatuur voor LOW-E glasproductie, in staat om low-emissiefilms op het oppervlak van vlakglas te coaten om warmte-isolatie en energiebesparende effecten te bereiken. Sommige productielijnen kunnen glas van 9000 mm×2540 mm specificaties verwerken, waardoor het geschikt is voor grootschalige productie van architecturale vliesgevels en autoruiten.

Op het gebied van elektronische componenten:

Het wordt veel gebruikt bij het coaten van keramische condensatoren, varistoren, LED keramische beugels en andere producten, en kan geleidende films of beschermende films met hoge hechting bereiden, ter vervanging van het traditionele zilverpasta printproces om de efficiëntie te verbeteren. Het kan ook worden gebruikt voor het coaten van hardwareonderdelen van elektronische producten om hun oppervlaktehardheid en corrosiebestendigheid te verbeteren.

Op het gebied van decoratie en optiek:

Het kan worden gebruikt om samengestelde filmlagen zoals TiN en CrN af te zetten op het oppervlak van hardware-accessoires voor high-end horloges, sieraden, enz., met verschillende kleuren zoals oventint en roségoud. Bovendien kunnen elektromagnetische afschermingsfilms, antireflectiefilms, enz. worden gecoat op de oppervlakken van substraten zoals acryl en PC, die voldoen aan de prestatie-eisen van optische apparaten.