équipement de revêtement à pulvérisation magnétronique horizontale pvd machine de revêtement sous vide pour revêtement de lunettes ou de mentals

Introduction au projet
Structure du bâtiment

Chambre à vide horizontale, assemblage de cible de commande magnétique, système de transmission horizontale, système d'acquisition et de détection du vide, système de commande industrielle,système d'ionisation et de contrôle de température du substrat.

Principe de fonctionnement:

Dans un environnement sous vide, le plasma est confiné par un champ magnétique, provoquant le bombardement des ions à haute énergie sur le matériau cible.Les atomes du matériau cible sont détachés et déposés horizontalement sur la surface du substrat qui se déplace à une vitesse constante pour former un film.

Caractéristiques
La structure est modulaire et hautement évolutive:

Les chambres de revêtement sont pour la plupart de structure modulaire, qui peut régler de manière flexible les positions du groupe de cathode et de pompe en fonction des exigences du processus.Le nombre de chambres peut également être augmenté au besoin.Pour répondre aux exigences en matière de matériaux composites de différentes couches de film, il est par exemple possible de réaliser des revêtements à double face.le dépôt continu de films multicouches peut être réalisé en augmentant ou en diminuant les chambres de pulvérisation et en assortissant différents matériaux cibles.

Un haut degré d'automatisation et d'intelligence

Les modèles traditionnels sont équipés de systèmes informatiques de contrôle industriel, qui peuvent réaliser un fonctionnement entièrement automatique.Ils sont également équipés d'un rack de transport automatique des pièces ou d'un rack de retour automatique des matériaux.Lorsqu'il est combiné avec des bras mécaniques, il peut également connecter les processus précédents et ultérieurs.Au cours du processus de production, il existe également des signaux d'alarme et des affichages de défauts, facilitant l'identification rapide des problèmes.

Excellente compatibilité et homogénéité du revêtement:

La structure de cible optimisée et la conception raisonnable de la base de cible, combinées à un échantillonnage rotatif ou à un système de transmission horizontal stable, peuvent améliorer l'uniformité de pulvérisation.Par exemple, dans la zone de dépôt effectif de certaines lignes de production LOW-E, l'uniformité de l'épaisseur de la couche de film est ≤ ± 5%.assurer davantage la consistance du revêtement sur les différents substrats de matériaux.

Les avantages
Efficacité de production élevée et coût contrôlable:

La conception de la transmission horizontale continue ne nécessite pas de démarrage et d'arrêt fréquents de l'équipement et le cycle de l'équipement est rapide.le cycle de production unique de certaines lignes de production est de seulement 60 secondes, et la production annuelle peut dépasser 2 millions de mètres carrés.

Pendant ce temps, des conceptions telles que le retour automatique des racks de matériaux permettent d'économiser de la main-d'œuvre, et l'application de composants domestiques réduit également le coût de récupération et d'utilisation des défaillances de l'équipement.Dans le processus de fabrication des condensateurs, cet équipement peut également remplacer l'impression en pâte d'argent, réduisant encore les coûts de production.

La qualité de la couche de film est stable et fiable:

Grâce au système d'ionisation du substrat et au procédé de pulvérisation optimisé, la couche de film déposée a une structure dense, une forte adhérence et n'est pas facile à se détacher. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Économie d'énergie, écologique et facile à utiliser et à entretenir:

Il adopte un procédé à sec, sans rejet de déchets liquides chimiques, et est conforme aux réglementations RoHS/REACH en matière de protection de l'environnement.Certains systèmes de vide d'équipement sont équipés de pompes moléculaires pour l'extraction d'air, qui a une consommation d'énergie relativement faible. Pendant ce temps, la structure de la barrière cathodique peut raccourcir le cycle de remplacement et de nettoyage du matériau cible,et réduire la charge de travail de la maintenance des équipements.

Application du projet
Dans le domaine du verre architectural et automobile:

Il s'agit de l'équipement de base pour la production de verre LOW-E, capable de revêtir des films à faible émission sur la surface du verre plat afin d'obtenir des effets d'isolation thermique et d'économie d'énergie.Certaines lignes de production peuvent gérer du verre de 9000 mm × 2540 mm, ce qui le rend adapté à la production à grande échelle de murs-rideaux architecturaux et de pare-brise automobile.

Pour les composants électroniques:

Il est largement utilisé dans le revêtement de condensateurs en céramique, de varistors, de supports en céramique LED et d'autres produits et peut préparer des films conducteurs ou des films de protection à haute adhérence,remplaçant le procédé traditionnel d'impression de pâte d'argent pour améliorer l'efficacitéIl peut également être utilisé pour recouvrir des pièces de matériel de produits électroniques afin d'améliorer leur dureté de surface et leur résistance à la corrosion.

Dans le domaine de la décoration et de l'optique

Il peut être utilisé pour déposer des couches de films composites tels que le TiN et le CrN sur la surface des accessoires matériels pour les montres haut de gamme, les bijoux, etc.présentant diverses couleurs telles que l'or de four et l'or roseEn outre, des films de protection électromagnétique, des films antireflet, etc., peuvent être revêtus sur les surfaces de substrats tels que l'acrylique et le PC, répondant aux exigences de performance des appareils optiques..