परिचय
संरचना:
क्षैतिज वैक्यूम कक्ष, चुंबकीय नियंत्रण लक्ष्य विधानसभा, क्षैतिज संचरण प्रणाली, वैक्यूम अधिग्रहण और पता लगाने प्रणाली, औद्योगिक नियंत्रण प्रणाली,सब्सट्रेट आयनीकरण और तापमान नियंत्रण प्रणाली.
कार्य सिद्धांत:
वैक्यूम वातावरण में, काम करने वाली गैस को प्रवेश किया जाता है। प्लाज्मा को चुंबकीय क्षेत्र द्वारा सीमित किया जाता है, जिससे उच्च ऊर्जा वाले आयन लक्ष्य सामग्री पर बमबारी करते हैं।लक्ष्य सामग्री के परमाणु अलग हो जाते हैं और क्षैतिज रूप से सब्सट्रेट की सतह पर जमा हो जाते हैं जो एक फिल्म बनाने के लिए निरंतर गति से यात्रा कर रहा है.
विशेषताएं
संरचना मॉड्यूलर है और अत्यधिक विस्तार योग्य हैः
कोटिंग चैंबर ज्यादातर मॉड्यूलर संरचना के होते हैं, जो प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार कैथोड और पंप समूह की स्थितियों को लचीले ढंग से समायोजित कर सकते हैं।आवश्यकतानुसार कक्षों की संख्या भी बढ़ाई जा सकती है।उदाहरण के लिए, विभिन्न फिल्म परतों की मिश्रित आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए,मल्टी-लेयर फिल्मों का निरंतर जमाव स्पटरिंग कक्षों को बढ़ाकर या घटाकर और विभिन्न लक्ष्य सामग्रियों को मिलाने से प्राप्त किया जा सकता है.
उच्च स्तर का स्वचालन और बुद्धिः
मुख्यधारा के मॉडल औद्योगिक नियंत्रण कंप्यूटर प्रणालियों से लैस हैं, जो पूरी तरह से स्वचालित संचालन प्राप्त कर सकते हैं।वे भी स्वचालित workpiece रैक परिवहन या स्वचालित सामग्री रैक वापसी प्रणाली से लैस हैंजब यांत्रिक हथियारों के साथ संयुक्त होते हैं, तो वे पिछली और बाद की प्रक्रियाओं को भी जोड़ सकते हैं। यह एक साथ दूरस्थ नेटवर्क रखरखाव का पता लगाने और कोटिंग प्रक्रिया की निगरानी का समर्थन करता है।उत्पादन प्रक्रिया के दौरान, अलार्म संकेत और दोष प्रदर्शित करता है, समय पर समस्या की पहचान करने में सुविधा प्रदान करता है।
उत्कृष्ट कोटिंग संगतता और एकरूपता:
अनुकूलित लक्ष्य संरचना और उचित लक्ष्य आधार लेआउट डिजाइन, एक घुमावदार नमूना चरण या एक स्थिर क्षैतिज ट्रांसमिशन प्रणाली के साथ संयुक्त, स्पटरिंग एकरूपता को बढ़ा सकते हैं।उदाहरण के लिए, कुछ लो-ई उत्पादन लाइनों के प्रभावी जमाव क्षेत्र में, फिल्म परत मोटाई की एकरूपता ≤± 5% है। इसके अलावा, सब्सट्रेट विच्छेदन प्रणाली उत्पाद सतह को सक्रिय कर सकती है,विभिन्न सामग्री सब्सट्रेट पर कोटिंग की स्थिरता सुनिश्चित करना.
लाभ
उच्च उत्पादन दक्षता और नियंत्रित लागतः
निरंतर क्षैतिज ट्रांसमिशन डिजाइन के लिए उपकरण को बार-बार चालू और बंद करने की आवश्यकता नहीं होती है और उपकरण चक्र तेज होता है।कुछ उत्पादन लाइनों का एकल उत्पादन चक्र केवल 60 सेकंड है, और वार्षिक उत्पादन 2 मिलियन वर्ग मीटर से अधिक हो सकता है।
इस बीच, स्वचालित सामग्री रैक वापसी जैसे डिजाइन जनशक्ति को बचाते हैं, और घरेलू घटकों का उपयोग उपकरण विफलता वसूली और उपयोग की लागत को भी कम करता है।संधारित्र निर्माण प्रक्रिया में, यह उपकरण चांदी के पेस्ट प्रिंटिंग की जगह भी ले सकता है, जिससे उत्पादन लागत में और कमी आती है।
फिल्म परत की गुणवत्ता स्थिर और विश्वसनीय हैः
सब्सट्रेट आयनकरण प्रणाली और अनुकूलित स्पटरिंग प्रक्रिया की मदद से, जमा की गई फिल्म परत में घनी संरचना, मजबूत आसंजन और गिरना आसान नहीं है। the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.
ऊर्जा की बचत, पर्यावरण के अनुकूल और संचालन और रखरखाव में आसानः
यह सूखी प्रक्रिया को अपनाता है, जिसमें रासायनिक तरल कचरे का कोई निर्वहन नहीं होता है, और पर्यावरण संरक्षण के लिए RoHS/REACH नियमों का अनुपालन करता है।कुछ उपकरण वैक्यूम प्रणाली हवा निष्कर्षण के लिए आणविक पंपों से लैस हैं, जो अपेक्षाकृत कम ऊर्जा की खपत है। इस बीच कैथोड बैफल संरचना लक्ष्य सामग्री की प्रतिस्थापन और सफाई के चक्र को छोटा कर सकती है,और उपकरण रखरखाव के कार्यभार को कम.
आवेदन
वास्तुकला और ऑटोमोबाइल कांच के क्षेत्र में:
यह लो-ई ग्लास उत्पादन के लिए मुख्य उपकरण है, जो थर्मल इन्सुलेशन और ऊर्जा-बचत प्रभाव प्राप्त करने के लिए फ्लैट ग्लास की सतह पर कम उत्सर्जन वाली फिल्मों को कोटिंग करने में सक्षम है।कुछ उत्पादन लाइनें 9000 मिमी × 2540 मिमी विनिर्देशों के ग्लास को संभाल सकती हैं, जिससे यह वास्तुशिल्प पर्दे की दीवारों और ऑटोमोबाइल विंडशील्ड के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए उपयुक्त है।
इलेक्ट्रॉनिक घटकों के क्षेत्र में:
इसका व्यापक रूप से सिरेमिक कैपेसिटर, वैरिस्टर्स, एलईडी सिरेमिक ब्रैकेट और अन्य उत्पादों के कोटिंग में उपयोग किया जाता है और यह उच्च आसंजन वाली चालक फिल्म या सुरक्षात्मक फिल्म तैयार कर सकता है,दक्षता में सुधार के लिए पारंपरिक चांदी के पेस्ट मुद्रण प्रक्रिया की जगहइसका उपयोग इलेक्ट्रॉनिक उत्पाद हार्डवेयर भागों को कोटिंग करने के लिए भी किया जा सकता है ताकि उनकी सतह कठोरता और संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाया जा सके।
सजावट और प्रकाशिकी के क्षेत्र में:
इसका उपयोग उच्च अंत घड़ियों, गहने आदि के लिए हार्डवेयर सामान की सतह पर TiN और CrN जैसी मिश्रित फिल्म परतों को जमा करने के लिए किया जा सकता है।विभिन्न रंगों जैसे कि भट्ठी सोना और गुलाब सोनाइसके अतिरिक्त, विद्युत चुम्बकीय परिरक्षण फिल्मों, प्रतिबिंब विरोधी फिल्मों, आदि जैसे कि एक्रिलिक और पीसी, ऑप्टिकल उपकरणों के प्रदर्शन की आवश्यकताओं को पूरा करने के रूप में सब्सट्रेट की सतहों पर लेपित किया जा सकता है.
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