Urządzenie do powlekania metodą rozpylania magnetronowego w układzie poziomym, maszyna do powlekania próżniowego PVD do powlekania szkła lub metali
Pozioma maszyna do powlekania metodą rozpylania magnetronowego
,Urządzenie do powlekania próżniowego PVD do szkła
,Maszyna do powlekania próżniowego metali
Wprowadzenie
Struktura:
Horyzontalna komora próżniowa, magnetyczny układ sterujący, system przesyłowy poziomy, układ pozyskiwania i wykrywania próżni, system sterowania przemysłowego,system jonizacji podłoża i kontroli temperatury.
Zasada działania:
W środowisku próżniowym wprowadzany jest gaz roboczy, a plazma jest zamknięta przez pole magnetyczne, powodując, że jony o wysokiej energii bombardują materiał docelowy.Atomy materiału docelowego są oddzielone i osadzane poziomo na powierzchni podłoża, które porusza się z stałą prędkością, tworząc film.
Cechy
Konstrukcja jest modułowa i bardzo rozbudowalna:
Komory powłoki mają głównie modułową strukturę, która umożliwia elastyczne dostosowywanie pozycji katody i grupy pompy zgodnie z wymaganiami procesu.Liczba komór może być również zwiększona w razie potrzebyNa przykład, aby spełnić wymagania związane z kompozytami różnych warstw folii,ciągłe osadzenie folii wielowarstwowych można osiągnąć poprzez zwiększenie lub zmniejszenie komór rozpylania i dopasowanie różnych materiałów docelowych.
Wysoki stopień automatyzacji i inteligencji:
Modele standardowe są wyposażone w przemysłowe systemy sterowania komputerowego, które mogą osiągnąć działanie w pełni automatyczne.Są one również wyposażone w automatyczne systemy transportowe stojaków elementów roboczych lub automatycznych systemów zwrotu materiału stojakówW połączeniu z ramionami mechanicznymi mogą również łączyć poprzednie i kolejne procesy.W trakcie procesu produkcji, istnieją również sygnały alarmowe i wyświetlacze usterek, ułatwiające terminowe identyfikację problemów.
Doskonała kompatybilność powłoki i jednolitość:
Optymalizowana struktura celu i rozsądny układ bazy celu, w połączeniu z obracającym się etapem próbkowania lub stabilnym poziomym systemem przesyłu, mogą zwiększyć jednolitość rozpylania.Na przykład:, w obszarze skutecznego osadzenia niektórych linii produkcyjnych LOW-E jednolitość grubości warstwy folii wynosi ≤± 5%. Ponadto system dysocjacji podłoża może aktywować powierzchnię produktu,dalsze zapewnienie spójności powłoki na różnych podłogach materiałowych.
Zalety
Wysoka wydajność produkcji i kontrolowane koszty:
Konstrukcja ciągłej przekładni poziomej nie wymaga częstego uruchamiania i zatrzymania urządzeń, a cykl urządzeń jest szybki.jeden cykl produkcji niektórych linii produkcyjnych wynosi tylko 60 sekund, a roczna produkcja może przekroczyć 2 miliony metrów kwadratowych.
Tymczasem konstrukcje takie jak automatyczne regały materiałowe oszczędzają siłę roboczą, a stosowanie domowych komponentów zmniejsza również koszty odzyskiwania i korzystania z awarii sprzętu.W procesie produkcji kondensatorów, urządzenie to może również zastąpić drukowanie pasty srebrnej, co dodatkowo obniża koszty produkcji.
Jakość warstwy foliowej jest stabilna i niezawodna:
Dzięki systemowi jonizacji podłoża i zoptymalizowanemu procesowi rozpylania, osadzona warstwa folii ma gęstą strukturę, silną przyczepność i nie jest łatwa do oderwania się. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.
Energooszczędne, przyjazne dla środowiska, łatwe w obsłudze i konserwacji:
Przyjmuje proces suchy, bez zrzucania chemicznych odpadów płynnych i jest zgodny z przepisami o ochronie środowiska RoHS/REACH.Niektóre urządzenia systemy próżniowe są wyposażone w pompy molekularne do ekstrakcji powietrzaW tym samym czasie struktura katodowa może skrócić cykl wymiany i czyszczenia docelowego materiału,i zmniejszyć obciążenie pracą utrzymania urządzeń.
Zastosowanie
W dziedzinie szkła architektonicznego i samochodowego:
Jest to podstawowy sprzęt do produkcji szkła LOW-E, zdolny do powlekania płytek o niskiej emisji na powierzchni szkła płaskiego w celu uzyskania izolacji cieplnej i efektów oszczędności energii.Niektóre linie produkcyjne mogą obsługiwać szkło o specyfikacji 9000mm × 2540mm, dzięki czemu nadaje się do produkcji na dużą skalę ścian zasłonowych architektonicznych i szybów przednich samochodów.
W dziedzinie komponentów elektronicznych:
Jest powszechnie stosowany w powłokach kondensatorów ceramicznych, varistorów, klamek ceramicznych LED i innych produktów i może przygotowywać przewodzące folie lub folie ochronne o wysokiej przyczepności,zastąpienie tradycyjnego procesu druku pasty srebrnej w celu poprawy wydajnościMoże być również stosowany do powlekania części sprzętowych produktów elektronicznych w celu zwiększenia ich twardości powierzchni i odporności na korozję.
W dziedzinie dekoracji i optyki:
Może być stosowany do odkładania warstw złożonych folii, takich jak TiN i CrN na powierzchni akcesoriów sprzętowych do wysokiej klasy zegarków, biżuterii itp.,o różnych kolorach, takich jak złoto piecowe i złoto różowePonadto na powierzchniach substratów, takich jak akryl i PC, mogą być powleczone folie ochronne elektromagnetyczne, folie antyrefleksyjne itp., spełniające wymagania wydajności urządzeń optycznych..