Urządzenie do powlekania metodą rozpylania magnetronowego w układzie poziomym, maszyna do powlekania próżniowego PVD do powlekania szkła lub metali

Wprowadzenie
Struktura:

Horyzontalna komora próżniowa, magnetyczny układ sterujący, system przesyłowy poziomy, układ pozyskiwania i wykrywania próżni, system sterowania przemysłowego,system jonizacji podłoża i kontroli temperatury.

Zasada działania:

W środowisku próżniowym wprowadzany jest gaz roboczy, a plazma jest zamknięta przez pole magnetyczne, powodując, że jony o wysokiej energii bombardują materiał docelowy.Atomy materiału docelowego są oddzielone i osadzane poziomo na powierzchni podłoża, które porusza się z stałą prędkością, tworząc film.

Cechy
Konstrukcja jest modułowa i bardzo rozbudowalna:

Komory powłoki mają głównie modułową strukturę, która umożliwia elastyczne dostosowywanie pozycji katody i grupy pompy zgodnie z wymaganiami procesu.Liczba komór może być również zwiększona w razie potrzebyNa przykład, aby spełnić wymagania związane z kompozytami różnych warstw folii,ciągłe osadzenie folii wielowarstwowych można osiągnąć poprzez zwiększenie lub zmniejszenie komór rozpylania i dopasowanie różnych materiałów docelowych.

Wysoki stopień automatyzacji i inteligencji:

Modele standardowe są wyposażone w przemysłowe systemy sterowania komputerowego, które mogą osiągnąć działanie w pełni automatyczne.Są one również wyposażone w automatyczne systemy transportowe stojaków elementów roboczych lub automatycznych systemów zwrotu materiału stojakówW połączeniu z ramionami mechanicznymi mogą również łączyć poprzednie i kolejne procesy.W trakcie procesu produkcji, istnieją również sygnały alarmowe i wyświetlacze usterek, ułatwiające terminowe identyfikację problemów.

Doskonała kompatybilność powłoki i jednolitość:

Optymalizowana struktura celu i rozsądny układ bazy celu, w połączeniu z obracającym się etapem próbkowania lub stabilnym poziomym systemem przesyłu, mogą zwiększyć jednolitość rozpylania.Na przykład:, w obszarze skutecznego osadzenia niektórych linii produkcyjnych LOW-E jednolitość grubości warstwy folii wynosi ≤± 5%. Ponadto system dysocjacji podłoża może aktywować powierzchnię produktu,dalsze zapewnienie spójności powłoki na różnych podłogach materiałowych.

Zalety
Wysoka wydajność produkcji i kontrolowane koszty:

Konstrukcja ciągłej przekładni poziomej nie wymaga częstego uruchamiania i zatrzymania urządzeń, a cykl urządzeń jest szybki.jeden cykl produkcji niektórych linii produkcyjnych wynosi tylko 60 sekund, a roczna produkcja może przekroczyć 2 miliony metrów kwadratowych.

Tymczasem konstrukcje takie jak automatyczne regały materiałowe oszczędzają siłę roboczą, a stosowanie domowych komponentów zmniejsza również koszty odzyskiwania i korzystania z awarii sprzętu.W procesie produkcji kondensatorów, urządzenie to może również zastąpić drukowanie pasty srebrnej, co dodatkowo obniża koszty produkcji.

Jakość warstwy foliowej jest stabilna i niezawodna:

Dzięki systemowi jonizacji podłoża i zoptymalizowanemu procesowi rozpylania, osadzona warstwa folii ma gęstą strukturę, silną przyczepność i nie jest łatwa do oderwania się. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Energooszczędne, przyjazne dla środowiska, łatwe w obsłudze i konserwacji:

Przyjmuje proces suchy, bez zrzucania chemicznych odpadów płynnych i jest zgodny z przepisami o ochronie środowiska RoHS/REACH.Niektóre urządzenia systemy próżniowe są wyposażone w pompy molekularne do ekstrakcji powietrzaW tym samym czasie struktura katodowa może skrócić cykl wymiany i czyszczenia docelowego materiału,i zmniejszyć obciążenie pracą utrzymania urządzeń.

Zastosowanie
W dziedzinie szkła architektonicznego i samochodowego:

Jest to podstawowy sprzęt do produkcji szkła LOW-E, zdolny do powlekania płytek o niskiej emisji na powierzchni szkła płaskiego w celu uzyskania izolacji cieplnej i efektów oszczędności energii.Niektóre linie produkcyjne mogą obsługiwać szkło o specyfikacji 9000mm × 2540mm, dzięki czemu nadaje się do produkcji na dużą skalę ścian zasłonowych architektonicznych i szybów przednich samochodów.

W dziedzinie komponentów elektronicznych:

Jest powszechnie stosowany w powłokach kondensatorów ceramicznych, varistorów, klamek ceramicznych LED i innych produktów i może przygotowywać przewodzące folie lub folie ochronne o wysokiej przyczepności,zastąpienie tradycyjnego procesu druku pasty srebrnej w celu poprawy wydajnościMoże być również stosowany do powlekania części sprzętowych produktów elektronicznych w celu zwiększenia ich twardości powierzchni i odporności na korozję.

W dziedzinie dekoracji i optyki:

Może być stosowany do odkładania warstw złożonych folii, takich jak TiN i CrN na powierzchni akcesoriów sprzętowych do wysokiej klasy zegarków, biżuterii itp.,o różnych kolorach, takich jak złoto piecowe i złoto różowePonadto na powierzchniach substratów, takich jak akryl i PC, mogą być powleczone folie ochronne elektromagnetyczne, folie antyrefleksyjne itp., spełniające wymagania wydajności urządzeń optycznych..