Equipamento de revestimento por pulverização de magnetron horizontal máquina de revestimento a vácuo pvd para revestimento de óculos ou de mentals

Introdução
Estrutura:

Câmara de vácuo horizontal, conjunto de alvos de controlo magnético, sistema de transmissão horizontal, sistema de aquisição e detecção de vácuo, sistema de controlo industrial,Sistema de ionização e controlo de temperatura do substrato.

Princípio de funcionamento:

Em um ambiente de vácuo, o gás de trabalho é introduzido. O plasma é confinado por um campo magnético, fazendo com que íons de alta energia bombardeiem o material alvo.Os átomos do material alvo são separados e depositados horizontalmente na superfície do substrato que viaja a uma velocidade constante para formar um filme.

Características
A estrutura é modular e altamente expansível:

As câmaras de revestimento são, na sua maioria, de estrutura modular, que permite ajustar de forma flexível as posições do grupo de catodos e bombas de acordo com os requisitos do processo.O número de câmaras também pode ser aumentado conforme necessárioPor exemplo, para satisfazer as exigências de compostos de diferentes camadas de película, o material pode ser revestido com um revestimento de duas faces.A deposição contínua de películas multicamadas pode ser alcançada aumentando ou diminuindo as câmaras de pulverização e combinando diferentes materiais alvo.

Alto grau de automação e inteligência:

Os modelos convencionais estão equipados com sistemas informáticos de controlo industrial, que podem realizar uma operação totalmente automática.São também equipados com sistemas automáticos de transporte de peças de trabalho ou sistemas automáticos de devolução de materialQuando combinados com braços mecânicos, eles também podem conectar os processos anteriores e subsequentes.Durante o processo de produção, existem também sinais de alarme e sinais de falha, facilitando a identificação oportuna dos problemas.

Excelente compatibilidade e uniformidade do revestimento:

A estrutura do alvo otimizada e o desenho razoável da base do alvo, combinados com um estágio de amostragem giratório ou um sistema de transmissão horizontal estável, podem melhorar a uniformidade de pulverização.Por exemplo:, na área efetiva de deposição de algumas linhas de produção LOW-E, a uniformidade da espessura da camada de filme é ≤ ± 5%.assegurar ainda mais a consistência do revestimento em diferentes substratos de materiais.

Vantagens
Eficiência de produção elevada e custos controláveis:

O projeto de transmissão horizontal contínua não requer arranque e parada frequentes do equipamento e o ciclo do equipamento é rápido.O ciclo de produção único de algumas linhas de produção é de apenas 60 segundos, e a produção anual pode exceder 2 milhões de metros quadrados.

Enquanto isso, projetos como o retorno automático de material economizam mão-de-obra e a aplicação de componentes domésticos também reduz o custo de recuperação e uso de falhas de equipamentos.No processo de fabrico de condensadores, este equipamento também pode substituir a impressão de pasta de prata, reduzindo ainda mais os custos de produção.

A qualidade da camada de filme é estável e fiável:

Com a ajuda do sistema de ionização do substrato e do processo de pulverização otimizado, a camada de filme depositada tem uma estrutura densa, forte adesão e não é fácil de cair. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Económico, ecológico, fácil de utilizar e de manter:

Adota um processo seco, sem descarga de resíduos químicos líquidos, e está em conformidade com os regulamentos de proteção ambiental RoHS/REACH.Alguns sistemas de vácuo de equipamentos são equipados com bombas moleculares para extração de ar, que tem um consumo energético relativamente baixo. Enquanto isso, a estrutura de defleção do cátodo pode encurtar o ciclo de substituição e limpeza do material alvo,e reduzir a carga de trabalho de manutenção de equipamentos.

Aplicação
No domínio do vidro para arquitectura e automóveis:

Trata-se do equipamento principal para a produção de vidro LOW-E, capaz de revestir a superfície do vidro plano de películas de baixa emissão para obter efeitos de isolamento térmico e de poupança de energia.Algumas linhas de produção podem lidar com vidro de especificações de 9000 mm × 2540 mm, tornando-o adequado para a produção em larga escala de paredes cortinas arquitetónicas e pára-brisas de automóveis.

No domínio dos componentes eletrónicos:

É amplamente utilizado no revestimento de condensadores cerâmicos, varistores, suportes cerâmicos LED e outros produtos e pode preparar filmes condutores ou filmes protetores com alta adesão,substituição do processo tradicional de impressão de pasta de prata para melhorar a eficiênciaPode também ser utilizado para revestir peças de hardware de produtos eletrónicos para melhorar a sua dureza de superfície e resistência à corrosão.

No domínio da decoração e da óptica:

Pode ser utilizado para depositar camadas de filme composto, tais como TiN e CrN, na superfície de acessórios de hardware para relógios de alta qualidade, jóias, etc.,de várias cores, como o ouro de forno e o ouro rosaAlém disso, podem ser revestidas as superfícies de substratos como o acrílico e o PC com filmes de blindagem eletromagnética, filmes antirreflectores, etc., satisfazendo os requisitos de desempenho dos dispositivos ópticos..