Yatay magnetron püskürtme kaplama ekipmanları pvd vakum kaplama makinesi gözlük veya mantal kaplama için

Tanıtım
Yapı:

Yatay vakum odası, manyetik kontrol hedefi, yatay aktarım sistemi, vakum edinme ve algılama sistemi, endüstriyel kontrol sistemi,Substrat iyonizasyon ve sıcaklık kontrol sistemi.

Çalışma prensibi:

Vakum ortamında, çalışma gazı girer ve plazma manyetik alanla sınırlandırılır ve yüksek enerjili iyonların hedef malzemeyi bombalamasına neden olur.Hedef malzemenin atomları ayırılır ve yatay olarak bir film oluşturmak için sabit hızda hareket eden substratın yüzeyinde yatırılır.

Özellikleri
Yapı modüler ve genişletilebilir:

Kaplama odaları çoğunlukla katot ve pompa grubunun pozisyonlarını süreç gereksinimlerine göre esnek bir şekilde ayarlayabilen modüler yapıya sahiptir.Ayrıca ihtiyaç duyulduğunda oda sayısını da artırabilirsiniz.Örneğin, farklı film katmanlarının kompozite gereksinimlerini karşılamak için,Çok katmanlı filmlerin sürekli çökmesi, püskürtme odalarını arttırarak veya azaltarak ve farklı hedef malzemeleri eşleştirerek elde edilebilir..

Yüksek düzeyde otomasyon ve zeka:

Ana akım modeller, tamamen otomatik çalışmayı sağlayabilen endüstriyel kontrol bilgisayar sistemleriyle donatılmıştır.Ayrıca otomatik iş parçasını raf taşıma veya otomatik malzeme raf geri sistemleri ile donatılmıştır. Mekanik kollarla birleştirildiğinde, önceki ve sonraki süreçleri de bağlayabilirler. Aynı anda uzaktan ağ bakımının tespit edilmesini ve kaplama sürecinin izlenmesini destekler.Üretim sürecinde, sorunların zamanında tespit edilmesini kolaylaştıran alarm uyarıları ve hata göstergeleri de vardır.

Mükemmel kaplama uyumluluğu ve tekdüzelik:

Optimize edilmiş hedef yapısı ve makul hedef taban düzeni tasarımı, dönen bir örnekleme aşaması veya istikrarlı yatay bir aktarım sistemi ile birleştirilerek püskürtme tekdüzeliğini artırabilir.Mesela, bazı LOW-E üretim hatlarının etkin çökme alanında, film katman kalınlığının eşitliği ≤± 5%'dir.Çeşitli malzeme substratları üzerindeki kaplamanın tutarlılığını daha fazla sağlamak.

Avantajlar
Yüksek üretim verimliliği ve kontrol edilebilir maliyet:

Sürekli yatay şanzıman tasarımı, ekipmanların sık sık çalıştırılmasını ve durdurulmasını gerektirmez ve ekipman döngüsü hızlıdır.Bazı üretim hatlarının tek üretim döngüsü sadece 60 saniye., ve yıllık üretim 2 milyon metrekareyi aştı.

Bu arada, otomatik malzeme rafı dönüşü gibi tasarımlar işgücünü tasarruf eder ve yerli bileşenlerin uygulanması da ekipman arızası kurtarma ve kullanımı maliyetini azaltır.Kondansatör üretim sürecinde, bu ekipman, üretim maliyetlerini daha da düşürerek gümüş pasta basımını da değiştirebilir.

Film katmanının kalitesi istikrarlı ve güvenilir:

Substrat iyonizasyon sistemi ve optimize edilmiş püskürtme işlemi sayesinde, depose edilmiş film katmanı yoğun bir yapıya, güçlü yapıya ve düşmesi kolay olmayan bir yapıya sahiptir. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Enerji tasarrufu, çevre dostu ve kullanımı ve bakımı kolay:

Kimyasal sıvı atıkların atılmaması ve RoHS / REACH çevre koruma düzenlemelerine uygun kuru bir süreç benimsiyor.Bazı ekipman vakum sistemleri hava çekimi için moleküler pompalarla donatılmıştırBu arada, katot baffle yapısı hedef malzemenin değiştirilmesi ve temizlenmesi döngüsünü kısaltabilir.ve ekipman bakım iş yükünü azaltmak.

Uygulama
Mimarlık ve otomobil camı alanında:

Düz camın yüzeyine düşük emisyözlüklü filmler kaplayarak ısı yalıtımı ve enerji tasarrufu etkisi elde edebilen LOW-E cam üretimi için temel ekipman.Bazı üretim hatları 9000mm × 2540mm özellikli camı işleyebilir, mimari perde duvarlarının ve otomobil ön camlarının büyük ölçekli üretimi için uygundur.

Elektronik bileşenler alanında:

Seramik kondansatörlerin, varistörlerin, LED seramik braketlerin ve diğer ürünlerin kaplamasında yaygın olarak kullanılır ve yüksek yapışkanlıkta iletken filmler veya koruyucu filmler hazırlayabilir,verimliliği artırmak için geleneksel gümüş pasta baskı işlemini değiştirmekAyrıca, yüzey sertliğini ve korozyon direncini artırmak için elektronik ürün donanım parçalarını kaplamak için de kullanılabilir.

Dekorasyon ve optik alanında:

Yüksek kaliteli saatler, mücevherler vb. için donanım aksesuarlarının yüzeyinde TiN ve CrN gibi bileşik film katmanlarının yatırılması için kullanılabilir.Çeşitli renklerde fırın altını ve gül altını gibiEk olarak, akrilik ve PC gibi substratların yüzeylerine, optik cihazların performans gereksinimlerini karşılayan elektromanyetik koruyucu filmler, yansıtıcı filmler vb. kaplanabilir..