Горизонтальное магнетронное напылительное оборудование, вакуумная установка PVD для нанесения покрытий на стекла или металлы

Введение
Структура:

Горизонтальная вакуумная камера, магнитное управление целями, горизонтальная система передачи, система захвата и обнаружения вакуума, промышленная система управления,Система ионизации и контроля температуры подложки.

Принцип работы:

В вакуумную среду вводят рабочий газ, плазма ограничивается магнитным полем, заставляя высокоэнергетические ионы бомбить объект.Атомы целевого материала отделяются и оседают горизонтально на поверхности субстрата, который движется с постоянной скоростью, чтобы сформировать пленку..

Особенности
Структура модульная и очень расширяемая:

Камеры покрытия в основном имеют модульную структуру, которая может гибко регулировать положения катодной и насосной групп в соответствии с требованиями процесса.Количество камер также может быть увеличено по мере необходимости.Например, для удовлетворения требований к композиту различных слоев пленок,непрерывное осаждение многослойных пленок может быть достигнуто путем увеличения или уменьшения камеры распыливания и соответствия различных целевых материалов.

Высокая степень автоматизации и интеллекта:

Основные модели оснащены компьютерными системами промышленного управления, которые могут обеспечивать полностью автоматическую работу.Они также оснащены автоматическими системами транспортировки изготовительной части или автоматическими системами возврата материалов из изготовительной части.При сочетании с механическими руками они также могут соединять предыдущие и последующие процессы.В процессе производства, есть также сигналы тревоги и дисплеи неисправностей, что облегчает своевременное выявление проблем.

Отличная совместимость и однородность покрытия:

Оптимизированная структура мишени и разумный дизайн базы мишени в сочетании с вращающейся пробной стадией или стабильной горизонтальной системой передачи могут повысить однородность распыливания.Например,, в эффективной области осаждения некоторых производственных линий с низким уровнем E однородность толщины слоя пленки ≤± 5%. Кроме того, система диссоциации субстрата может активировать поверхность продукта,дальнейшее обеспечение консистенции покрытия на различных материалах.

Преимущества
Высокая эффективность производства и контролируемые затраты:

Конструкция непрерывной горизонтальной трансмиссии не требует частого запуска и остановки оборудования, а цикл оборудования быстрый.один производственный цикл некоторых производственных линий составляет всего 60 секунд, и годовой объем производства может превышать 2 млн. кв. м.

В то же время такие конструкции, как автоматическая стойка для возвращения материалов, экономят рабочую силу, а применение отечественных компонентов также снижает стоимость восстановления и использования оборудования.В процессе производства конденсаторов, это оборудование также может заменить печать серебряной пастой, еще больше снизив затраты на производство.

Качество пленки стабильно и надежно:

С помощью системы ионизации субстрата и оптимизированного процесса распыливания слой отложенной пленки обладает плотной структурой, сильной адгезией и нелегко отпадает. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Энергосберегающий, экологически чистый и легкий в эксплуатации и обслуживании:

Он использует сухой процесс, без сброса химических жидких отходов, и соответствует правилам охраны окружающей среды RoHS / REACH.Некоторые оборудования вакуумные системы оснащены молекулярными насосами для извлечения воздухаВ то же время структура катода может сократить цикл замены и очистки целевого материала,и уменьшить нагрузку на обслуживание оборудования.

Применение
В области архитектурного и автомобильного стекла:

Это основное оборудование для производства стекла с низкой эмиссивностью, способное покрывать пленки с низкой эмиссивностью на поверхности плоского стекла для достижения теплоизоляции и энергосбережения.Некоторые производственные линии могут обрабатывать стекло спецификаций 9000 мм × 2540 мм, что делает его подходящим для крупномасштабного производства архитектурных штор и автомобильных лобовых стекол.

В области электронных компонентов:

Широко используется в покрытии керамических конденсаторов, варисторов, керамических LED-подшипников и других изделий и может готовить проводящие пленки или защитные пленки с высокой адгезией,заменить традиционный процесс печати серебряной пасты для повышения эффективностиОн также может использоваться для покрытия аппаратных частей электронных продуктов для повышения их твердости поверхности и коррозионной устойчивости.

В области декорации и оптики:

Он может быть использован для отложения слоев сложной пленки, таких как TiN и CrN, на поверхность аппаратных принадлежностей для высококлассных часов, ювелирных изделий и т. д.из различных цветов, таких как золото печи и розовое золотоКроме того, на поверхности таких субстратов, как акрил и ПК, могут быть покрыты электромагнитными фильмами защиты, антиотражательными фильмами и т. д., что отвечает требованиям к производительности оптических устройств..