Horizontale Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine zum Beschichten von Gläsern oder Metallen

Einleitung
Aufbau:

Horizontale Vakuumkammer, Magnetsteuerungsziele, horizontale Übertragung, Vakuumaufnahme und -erkennung, industrielle Steuerung,Substrat-Ionisierungs- und Temperaturregelungssystem.

Arbeitsprinzip:

In einer Vakuumum-Umgebung wird Arbeitsgas eingeführt, das Plasma wird durch ein Magnetfeld eingeschlossen, wodurch hochenergetische Ionen das Zielmaterial bombardieren.Die Atome des Zielmaterials werden abgetrennt und horizontal auf der Oberfläche des Substrats abgelagert, das sich mit konstanter Geschwindigkeit bewegt und einen Film bildet.

Eigenschaften
Die Struktur ist modular und sehr erweiterbar:

Die Beschichtungskammern sind überwiegend modular aufgebaut, wodurch die Positionen der Kathoden- und Pumpengruppe flexibel an die Prozessanforderungen angepasst werden können.Die Anzahl der Kammern kann nach Bedarf erhöht werden., und kann sogar eine doppelseitige Beschichtungsfunktion erreichen.Die kontinuierliche Ablagerung von mehrschichtigen Folien kann durch Erhöhung oder Verringerung der Sputterkammern und Abgleich verschiedener Zielmaterialien erreicht werden..

Hochgradige Automatisierung und Intelligenz:

Die gängigen Modelle sind mit industriellen Steuerungssystemen ausgestattet, die einen vollautomatischen Betrieb ermöglichen.Sie sind auch mit automatischem Werkstücksrack-Transport oder automatischen Materialrack-Rückgabe-Systemen ausgestattet.. Wenn sie mit mechanischen Armen kombiniert werden, können sie auch die vorherigen und nachfolgenden Prozesse verbinden.Während des Produktionsprozesses, gibt es auch Alarmanweisungen und Fehleranzeigen, die eine rechtzeitige Problemerkennung erleichtern.

Ausgezeichnete Beschichtungskompatibilität und Einheitlichkeit:

Die optimierte Zielstruktur und die vernünftige Zielbasisgestaltung, kombiniert mit einer drehbaren Probenstufe oder einem stabilen horizontalen Übertragungssystem, können die Sputter-Einheitlichkeit verbessern.Zum Beispiel:, in der wirksamen Ablagerungsfläche einiger LOW-E-Produktionslinien beträgt die Gleichförmigkeit der Filmschichtstärke ≤ ± 5%. Außerdem kann das Substrat-Dissoziationssystem die Produktoberfläche aktivieren,weitere Gewährleistung der Konsistenz der Beschichtung auf verschiedenen Stoffsubstraten.

Vorteile
Hohe Produktionseffizienz und kontrollierbare Kosten:

Die kontinuierliche horizontale Getriebeanlage erfordert kein häufiges An- und Abstellen der Ausrüstung und der Zyklus der Ausrüstung ist schnell.Der einzelne Produktionszyklus einiger Produktionslinien beträgt nur 60 Sekunden., und die jährliche Produktion kann 2 Millionen Quadratmeter übersteigen.

In der Zwischenzeit sparen Konstruktionen wie automatische Materialregalen Arbeitskräfte und die Anwendung von heimischen Komponenten reduziert auch die Kosten für die Wiederherstellung und Nutzung von Ausrüstungsausfällen.Bei der Herstellung von Kondensatoren, kann diese Ausrüstung auch den Silberpaste-Druck ersetzen und die Produktionskosten weiter senken.

Die Qualität der Filmschicht ist stabil und zuverlässig:

Mit Hilfe des Substrat-Ionisierungssystems und des optimierten Sputterprozesses besitzt die abgespeckte Filmschicht eine dichte Struktur, eine starke Haftung und fällt nicht leicht ab. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Energieeffizient, umweltfreundlich und einfach zu bedienen und zu warten:

Es handelt sich um ein trockenes Verfahren ohne Abgabe von chemischen flüssigen Abfällen und entspricht den Umweltschutzvorschriften RoHS/REACH.Einige Geräte Vakuumsysteme sind mit molekularen Pumpen für die Luftentnahme ausgestattet, der einen relativ geringen Energieverbrauch aufweist.und die Arbeitsbelastung bei der Wartung von Geräten reduzieren.

Anwendung
Auf dem Gebiet des Architektur- und Automobilglases

Es ist die Kernanlage für die Produktion von Low-E-Glas, die in der Lage ist, auf der Oberfläche von Flachglas Filme mit geringer Emissionsfähigkeit zu beschichten, um Wärmedämmung und Energieeinsparung zu erzielen.Einige Produktionslinien können mit Glas von 9000 mm × 2540 mm Spezifikationen umgehen, so dass sie für die Großproduktion von architektonischen Vorhangwänden und Windschutzscheiben geeignet ist.

Im Bereich der elektronischen Bauteile:

Es wird weit verbreitet in der Beschichtung von Keramikkondensatoren, Varistoren, LED-Keramikhalterungen und anderen Produkten eingesetzt und kann leitfähige oder schützende Folien mit hoher Haftung herstellen,Ersatz des traditionellen Silberpaste-Druckprozesses zur Verbesserung der EffizienzEs kann auch zur Beschichtung von Elektronikprodukten verwendet werden, um deren Oberflächenhärte und Korrosionsbeständigkeit zu erhöhen.

Im Bereich der Dekoration und Optik:

Es kann verwendet werden, um zusammengesetzte Filmschichten wie TiN und CrN auf die Oberfläche von Hardwarezubehör für High-End-Uhren, Schmuck usw. zu deponieren.mit verschiedenen Farben wie Ofengold und RoségoldDarüber hinaus können auf den Oberflächen von Substraten wie Acryl und PC elektromagnetische Abschirmfolien, antireflektierende Folien usw. beschichtet werden, um die Leistungsanforderungen optischer Geräte zu erfüllen..