ভূমিকা
গঠন:
অনুভূমিক ভ্যাকুয়াম চেম্বার, চৌম্বক নিয়ন্ত্রণ টার্গেট অ্যাসেম্বলি, অনুভূমিক ট্রান্সমিশন সিস্টেম, ভ্যাকুয়াম অর্জন এবং সনাক্তকরণ সিস্টেম, শিল্প নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা, সাবস্ট্রেট আয়নাইজেশন এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা।
কাজের নীতি:
একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে, কার্যকরী গ্যাস প্রবেশ করানো হয়। প্লাজমা একটি চৌম্বক ক্ষেত্র দ্বারা আবদ্ধ থাকে, যার ফলে উচ্চ-শক্তির আয়ন টার্গেট উপাদানের উপর আঘাত করে। টার্গেট উপাদানের পরমাণুগুলি বিচ্ছিন্ন হয়ে যায় এবং ধ্রুবক গতিতে চলমান সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে অনুভূমিকভাবে জমা হয়, যা একটি ফিল্ম তৈরি করে।
বৈশিষ্ট্য
গঠনটি মডুলার এবং অত্যন্ত প্রসারিতযোগ্য:
কোটিং চেম্বারগুলি বেশিরভাগই মডুলার কাঠামোর, যা প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী ক্যাথোড এবং পাম্প গ্রুপের অবস্থানগুলি নমনীয়ভাবে সামঞ্জস্য করতে পারে। প্রয়োজন অনুযায়ী চেম্বারের সংখ্যাও বাড়ানো যেতে পারে এবং এমনকি দ্বিমুখী কোটিং ফাংশনও অর্জন করা যেতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, বিভিন্ন ফিল্ম স্তরের সংমিশ্রণ প্রয়োজনীয়তা মেটাতে, স্প্যাটারিং চেম্বার বৃদ্ধি বা হ্রাস করে এবং বিভিন্ন টার্গেট উপাদানগুলির সাথে মিলিত করে মাল্টি-লেয়ার ফিল্মগুলির ক্রমাগত জমা করা যেতে পারে।
উচ্চ মাত্রার অটোমেশন এবং বুদ্ধিমত্তা:
মূলধারার মডেলগুলিতে শিল্প নিয়ন্ত্রণ কম্পিউটার সিস্টেম রয়েছে, যা সম্পূর্ণরূপে স্বয়ংক্রিয় অপারেশন অর্জন করতে পারে। এগুলিতে স্বয়ংক্রিয় ওয়ার্কপিস র্যাক পরিবহন বা স্বয়ংক্রিয় উপাদান র্যাক রিটার্ন সিস্টেমও রয়েছে। যান্ত্রিক বাহুগুলির সাথে মিলিত হলে, তারা আগের এবং পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলিও সংযুক্ত করতে পারে। এটি একই সাথে দূরবর্তী নেটওয়ার্ক রক্ষণাবেক্ষণ সনাক্তকরণ এবং কোটিং প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ সমর্থন করে। উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন, সমস্যা সনাক্তকরণ সহজতর করার জন্য অ্যালার্ম প্রম্পট এবং ফল্ট ডিসপ্লে ও রয়েছে।
চমৎকার কোটিং সামঞ্জস্যতা এবং অভিন্নতা:
অপ্টিমাইজ করা টার্গেট কাঠামো এবং যুক্তিসঙ্গত টার্গেট বেস লেআউট ডিজাইন, একটি ঘূর্ণায়মান নমুনা মঞ্চ বা একটি স্থিতিশীল অনুভূমিক ট্রান্সমিশন সিস্টেমের সাথে মিলিত হয়ে স্প্যাটারিংয়ের অভিন্নতা বাড়াতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, কিছু LOW-E উত্পাদন লাইনের কার্যকর জমাটবদ্ধ অঞ্চলে, ফিল্ম স্তরের বেধের অভিন্নতা ≤± 5%। তদুপরি, সাবস্ট্রেট বিযুক্তি সিস্টেম পণ্যের পৃষ্ঠকে সক্রিয় করতে পারে, যা বিভিন্ন উপাদান সাবস্ট্রেটের উপর কোটিংয়ের ধারাবাহিকতা আরও নিশ্চিত করে।
সুবিধা
উচ্চ উত্পাদন দক্ষতা এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য খরচ:
ক্রমাগত অনুভূমিক ট্রান্সমিশন ডিজাইন সরঞ্জামগুলির ঘন ঘন শুরু এবং বন্ধ করার প্রয়োজন হয় না এবং সরঞ্জামের চক্রটি দ্রুত হয়। উদাহরণস্বরূপ, কিছু উত্পাদন লাইনের একক উত্পাদন চক্র মাত্র 60 সেকেন্ড, এবং বার্ষিক আউটপুট 2 মিলিয়ন বর্গ মিটারের বেশি হতে পারে।
একই সময়ে, স্বয়ংক্রিয় উপাদান র্যাক রিটার্নের মতো ডিজাইনগুলি জনশক্তি বাঁচায় এবং দেশীয় উপাদানগুলির প্রয়োগ সরঞ্জাম ব্যর্থতা পুনরুদ্ধার এবং ব্যবহারের খরচও হ্রাস করে। ক্যাপাসিটর উত্পাদন প্রক্রিয়ায়, এই সরঞ্জামটি সিলভার পেস্ট প্রিন্টিংয়েরও প্রতিস্থাপন করতে পারে, যা উত্পাদন ব্যয় আরও হ্রাস করে।
ফিল্ম স্তরের গুণমান স্থিতিশীল এবং নির্ভরযোগ্য:
সাবস্ট্রেট আয়নাইজেশন সিস্টেম এবং অপ্টিমাইজ করা স্প্যাটারিং প্রক্রিয়ার সাহায্যে, জমা হওয়া ফিল্ম স্তরের একটি ঘন কাঠামো রয়েছে, শক্তিশালী আনুগত্য রয়েছে এবং এটি সহজে পড়ে না। তদুপরি, একটি ঘূর্ণায়মান টার্গেটের সাথে ছোট-কোণ স্প্যাটারিংয়ের নকশা কেবল ছোট ছিদ্রগুলির অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের উপর ফিল্ম স্তরগুলির জমাটবদ্ধতা সহজতর করে না বরং কিছু জটিল-গঠিত সাবস্ট্রেটের কোটিং প্রয়োজনীয়তাও পূরণ করে।
শক্তি-সাশ্রয়ী, পরিবেশ বান্ধব এবং পরিচালনা ও রক্ষণাবেক্ষণ করা সহজ:
এটি একটি শুকনো প্রক্রিয়া গ্রহণ করে, রাসায়নিক তরল বর্জ্যের নিঃসরণ হয় না এবং RoHS/REACH পরিবেশ সুরক্ষা বিধি মেনে চলে। কিছু সরঞ্জাম ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে বায়ু নিষ্কাশনের জন্য আণবিক পাম্প রয়েছে, যার তুলনামূলকভাবে কম শক্তি খরচ হয়। একই সময়ে, ক্যাথোড বাফেল কাঠামো টার্গেট উপাদান প্রতিস্থাপন এবং পরিষ্কারের চক্রকে সংক্ষিপ্ত করতে পারে এবং সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণের কাজের চাপ কমাতে পারে।
অ্যাপ্লিকেশন
স্থাপত্য এবং স্বয়ংচালিত কাঁচের ক্ষেত্রে:
এটি LOW-E কাঁচ উত্পাদনের মূল সরঞ্জাম, যা তাপ নিরোধক এবং শক্তি-সাশ্রয়ী প্রভাব অর্জনের জন্য ফ্ল্যাট কাঁচের পৃষ্ঠে কম-নিঃসরণকারী ফিল্মগুলি কোটিং করতে সক্ষম। কিছু উত্পাদন লাইন 9000mm×2540mm স্পেসিফিকেশনগুলির কাঁচ পরিচালনা করতে পারে, যা স্থাপত্যের কার্টেন ওয়াল এবং স্বয়ংচালিত উইন্ডশীল্ডগুলির বৃহৎ-স্কেল উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
বৈদ্যুতিন উপাদানগুলির ক্ষেত্রে:
এটি সিরামিক ক্যাপাসিটর, ভ্যারিস্টর, এলইডি সিরামিক বন্ধনী এবং অন্যান্য পণ্যগুলির কোটিংয়ে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় এবং উচ্চ আনুগত্য সহ পরিবাহী ফিল্ম বা প্রতিরক্ষামূলক ফিল্ম তৈরি করতে পারে, যা দক্ষতা উন্নত করতে ঐতিহ্যবাহী সিলভার পেস্ট প্রিন্টিং প্রক্রিয়াটিকে প্রতিস্থাপন করে। এটি তাদের পৃষ্ঠের কঠোরতা এবং জারা প্রতিরোধের ক্ষমতা বাড়ানোর জন্য বৈদ্যুতিন পণ্যের হার্ডওয়্যার অংশগুলির কোটিংয়ের জন্যও ব্যবহার করা যেতে পারে।
সজ্জা এবং অপটিক্সের ক্ষেত্রে:
এটি উচ্চ-শ্রেণীর ঘড়ি, গহনা ইত্যাদির হার্ডওয়্যার আনুষাঙ্গিকগুলির পৃষ্ঠে TiN এবং CrN-এর মতো যৌগিক ফিল্ম স্তর জমা করতে ব্যবহার করা যেতে পারে, যা ফার্নেস গোল্ড এবং রোজ গোল্ডের মতো বিভিন্ন রঙ উপস্থাপন করে। এছাড়াও, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক শিল্ডিং ফিল্ম, অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ ফিল্ম ইত্যাদি অ্যাক্রিলিক এবং পিসির মতো সাবস্ট্রেটগুলির পৃষ্ঠে কোটিং করা যেতে পারে, যা অপটিক্যাল ডিভাইসগুলির কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন