อุปกรณ์เคลือบกระจายแม็กเนทรออนแนวราบ pvd เครื่องเคลือบกระจายกระจายกระจก

คําแนะนํา
โครงสร้าง:

ห้องสูญเสียระดับขอบฟ้า ระบบควบคุมแม่เหล็ก ระบบส่งระดับขอบฟ้า ระบบรับและตรวจจับระดับสูญเสีย ระบบควบคุมอุตสาหกรรมระบบควบคุมอุณหภูมิและไอโอเนชั่นสับสราท.

หลักการทํางาน:

ในสภาพแวดล้อมว่าง ก๊าซทํางานถูกนําเข้า พลาสมาถูกจํากัดโดยสนามแม่เหล็ก ทําให้ไอออนพลังงานสูงระเบิดวัสดุเป้าหมายอะตอมของวัสดุเป้าหมายถูกแยกออกและฝากแนวราบบนพื้นผิวของพื้นฐานที่เดินทางด้วยความเร็วคงที่เพื่อสร้างฟิล์ม.

ลักษณะ
โครงสร้างเป็นแบบโมดูลและสามารถขยายได้มาก:

ห้องเคลือบส่วนใหญ่มีโครงสร้างแบบโมดูล ซึ่งสามารถปรับตําแหน่งของคาโทดและกลุ่มปั๊มได้อย่างยืดหยุ่นตามความต้องการของกระบวนการจํานวนห้องยังสามารถเพิ่มขึ้นตามความต้องการเช่น เพื่อตอบสนองความต้องการผสมผสานของชั้นหนังที่แตกต่างกันการฝากต่อเนื่องของฟิล์มหลายชั้นสามารถบรรลุได้โดยการเพิ่มหรือลดห้องพ่นและตรงกับวัสดุเป้าหมายต่าง ๆ.

อัตโนมัติและความฉลาดสูง

รุ่นหลักๆ มีระบบคอมพิวเตอร์ควบคุมอุตสาหกรรม สามารถทํางานได้ด้วยระบบอัตโนมัติเต็มพวกเขายังได้รับการจัดสรรด้วยการขนส่ง rack ชิ้นงานอัตโนมัติหรือระบบการคืน rack วัสดุอัตโนมัติ. เมื่อรวมกับแขนกลไก, พวกเขายังสามารถเชื่อมต่อกระบวนการก่อนหน้านี้และถัดไป. มันพร้อมกันสนับสนุนการตรวจจับการบํารุงรักษาเครือข่ายที่อยู่ห่างไกลและการติดตามกระบวนการเคลือบระหว่างกระบวนการผลิต, ยังมีสัญญาณเตือนและแสดงความผิดพลาด เพื่ออํานวยความสะดวกในการระบุปัญหาในเวลาที่ถูกต้อง

ความเหมาะสมและความเหมือนกันของเคลือบที่ดีเยี่ยม:

โครงสร้างเป้าหมายที่ปรับปรุงและการออกแบบฐานเป้าหมายที่เหมาะสม, ร่วมกับระดับตัวอย่างที่สามารถหมุนหรือระบบส่งระดับราบที่มั่นคง, สามารถเพิ่มความเป็นรูปเดียวกันของ sputtering.เช่นในพื้นที่การฝากที่มีประสิทธิภาพของเส้นการผลิต LOW-E บางเส้น ความเท่าเทียมของความหนาชั้นหนัง ≤ ± 5% นอกจากนี้ระบบการแยกสับสราทสามารถเปิดผิวสินค้าได้การประกันความสม่ําเสมอของเคลือบบนพื้นฐานวัสดุที่แตกต่างกัน.

ข้อดี
ประสิทธิภาพการผลิตสูง และค่าใช้จ่ายที่ควบคุมได้

การออกแบบการส่งแบบแนวราบต่อเนื่อง ไม่จําเป็นต้องเริ่มต้นและหยุดเครื่องมือบ่อย ๆ และวงจรเครื่องมือเร็ววงจรการผลิตครั้งเดียวของสายการผลิตบางสายมีเพียง 60 วินาที, และผลิตรายปีสามารถเกิน 2 ล้านเมตรสแควร์.

ในขณะเดียวกัน การออกแบบ เช่น การกลับมาของคลังวัสดุอัตโนมัติ ช่วยประหยัดแรงงาน และการใช้ส่วนประกอบในประเทศยังช่วยลดต้นทุนในการฟื้นฟูและใช้งานอุปกรณ์ที่ล้มเหลวในกระบวนการผลิตตัวประกอบอุปกรณ์นี้ยังสามารถแทนการพิมพ์พิมพ์เงินได้ โดยยังสามารถลดต้นทุนการผลิตได้

คุณภาพของชั้นหนังคงที่และน่าเชื่อถือ

ด้วยการใช้ระบบไอโอไนส์สตรีท และกระบวนการพ่นที่ปรับปรุงให้ดีที่สุด ชนิดผนังที่ฝากไว้มีโครงสร้างหนาแน่น มีความแน่นแข็งแรง และไม่ง่ายที่จะตก the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

ประหยัดพลังงาน ปลอดภัยต่อสิ่งแวดล้อม และใช้งานและบํารุงรักษาง่าย

มันใช้กระบวนการแห้ง ไม่มีการปล่อยของขยะสารเคมีเหลว และสอดคล้องกับกฎหมายป้องกันสิ่งแวดล้อม RoHS / REACHระบบสูญเสียอุปกรณ์บางเครื่องมีปั๊มโมเลกุลสําหรับการสกัดอากาศ, ที่มีการบริโภคพลังงานที่ค่อนข้างต่ํา ในขณะเดียวกันโครงสร้าง cathode baffle สามารถสั้นวงจรของวัสดุเป้าหมายการเปลี่ยนและทําความสะอาดและลดภาระงานในการบํารุงรักษาอุปกรณ์.

การใช้งาน
ในสาขาแก้วสถาปัตยกรรมและรถยนต์:

มันเป็นอุปกรณ์หลักสําหรับการผลิตกระจก LOW-E สามารถเคลือบฟิล์มระดับการปล่อยระดับต่ําบนผิวกระจกเรียบเพื่อบรรลุผลการกันความร้อนและประหยัดพลังงานสายการผลิตบางสายสามารถจัดการกระจกของ 9000mm × 2540mm รายละเอียดทําให้มันเหมาะสําหรับการผลิตขนาดใหญ่ของผนังผ้าม่านสถาปัตยกรรมและกระจกหน้ารถยนต์

ในสาขาของอะไหล่อิเล็กทรอนิกส์

มันถูกใช้อย่างแพร่หลายในการเคลือบผนังของตัวประกอบเซรามิก, วาริสเตอร์, หมุนเซรามิก LED และผลิตภัณฑ์อื่น ๆ และสามารถเตรียมฟิล์มที่นําไฟหรือฟิล์มป้องกันที่มีความติดแน่นสูงแทนกระบวนการพิมพ์ปลาสต์เงินแบบดั้งเดิม เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพสามารถนําไปใช้ในการเคลือบชิ้นส่วนฮาร์ดแวร์ของสินค้าอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อเพิ่มความแข็งแรงบนผิวและความทนทานต่อการกัดกร่อน

ในด้านการตกแต่งและแสงสว่าง:

มันสามารถใช้ในการฝากชั้นหนังประกอบ เช่น TiN และ CrN บนผิวของอุปกรณ์เสริมฮาร์ดแวร์สําหรับนาฬิการะดับสูง, เครื่องประดับ, ฯลฯมีสีต่าง ๆ เช่น ทองเตาและทองกุหลาบนอกจากนี้, ภาพยนตร์ป้องกันไฟฟ้าแม่เหล็ก, ภาพยนตร์ป้องกันการสะท้อน, ฯลฯ สามารถเคลือบบนพื้นผิวของพื้นฐานเช่นอะคริลิคและ PC, ตอบสนองความต้องการการทํางานของอุปกรณ์ออทคิตร.