peralatan pelapisan sputtering magnetron horizontal mesin pelapis vakum pvd untuk melapisi kaca atau logam

Pengantar
Struktur:

Ruang vakum horizontal, magnetik kontrol target perakitan, sistem transmisi horizontal, akuisisi vakum dan sistem deteksi, sistem kontrol industri,Sistem ionisasi substrat dan kontrol suhu.

Prinsip kerja:

Dalam lingkungan vakum, gas kerja dimasukkan. Plasma dibatasi oleh medan magnet, menyebabkan ion energi tinggi membombardir bahan target.Atom dari bahan target dilepas dan ditempatkan secara horizontal di permukaan substrat yang bergerak dengan kecepatan konstan untuk membentuk film.

Fitur
Strukturnya modular dan sangat dapat diperluas:

Kamar pelapis sebagian besar memiliki struktur modular, yang dapat menyesuaikan posisi katode dan kelompok pompa secara fleksibel sesuai dengan persyaratan proses.Jumlah kamar juga dapat ditingkatkan sesuai kebutuhan, dan bahkan fungsi pelapis dua sisi dapat dicapai.Deposisi film multi-lapisan terus menerus dapat dicapai dengan meningkatkan atau mengurangi ruang penyemprotan dan mencocokkan bahan target yang berbeda.

Tingkat otomatisasi dan kecerdasan yang tinggi:

Model utama dilengkapi dengan sistem komputer kontrol industri, yang dapat mencapai operasi otomatis sepenuhnya.Mereka juga dilengkapi dengan rack transportasi otomatis workpiece atau sistem pengembalian rack bahan otomatisKetika dikombinasikan dengan lengan mekanis, mereka juga dapat menghubungkan proses sebelumnya dan berikutnya.Selama proses produksi, ada juga perintah alarm dan tampilan kesalahan, memudahkan identifikasi masalah yang tepat waktu.

Kompatibilitas lapisan yang sangat baik dan seragam:

Struktur target yang dioptimalkan dan desain dasar target yang masuk akal, dikombinasikan dengan tahap sampel yang dapat diputar atau sistem transmisi horizontal yang stabil, dapat meningkatkan keseragaman penyemprotan.Misalnya, di area deposisi efektif dari beberapa jalur produksi LOW-E, keseragaman ketebalan lapisan film adalah ≤ ± 5%.memastikan konsistensi lapisan pada substrat material yang berbeda.

Keuntungan
Efisiensi produksi yang tinggi dan biaya yang dapat dikontrol:

Desain transmisi horizontal terus menerus tidak memerlukan sering memulai dan menghentikan peralatan, dan siklus peralatan cepat.siklus produksi tunggal dari beberapa jalur produksi hanya 60 detik, dan output tahunan dapat melebihi 2 juta meter persegi.

Sementara itu, desain seperti pengembalian rak bahan otomatis menghemat tenaga kerja, dan penerapan komponen domestik juga mengurangi biaya pemulihan dan penggunaan kegagalan peralatan.Dalam proses pembuatan kapasitor, peralatan ini juga dapat menggantikan pencetakan pasta perak, mengurangi biaya produksi lebih lanjut.

Kualitas lapisan film stabil dan dapat diandalkan:

Dengan bantuan sistem ionisasi substrat dan proses penyemprotan yang dioptimalkan, lapisan film yang terdeposit memiliki struktur yang padat, adhesi yang kuat dan tidak mudah rontok. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Menghemat energi, ramah lingkungan dan mudah dioperasikan dan dirawat:

Ini mengadopsi proses kering, tanpa pembuangan limbah cair kimia, dan sesuai dengan peraturan perlindungan lingkungan RoHS / REACH.Beberapa peralatan sistem vakum dilengkapi dengan pompa molekul untuk ekstraksi udara, yang memiliki konsumsi energi yang relatif rendah Sementara itu, struktur cathode baffle dapat memperpendek siklus penggantian dan pembersihan bahan target,dan mengurangi beban kerja pemeliharaan peralatan.

Aplikasi
Dalam bidang kaca arsitektur dan otomotif:

Ini adalah peralatan inti untuk produksi kaca LOW-E, mampu melapisi film emisi rendah pada permukaan kaca datar untuk mencapai isolasi panas dan efek penghematan energi.Beberapa jalur produksi dapat menangani kaca spesifikasi 9000mm × 2540mm, sehingga cocok untuk produksi skala besar dinding tirai arsitektur dan kaca depan mobil.

Dalam bidang komponen elektronik:

Hal ini banyak digunakan dalam lapisan kapasitor keramik, varistor, LED keramik bracket dan produk lainnya dan dapat mempersiapkan film konduktif atau film pelindung dengan perekat tinggi,menggantikan proses pencetakan pasta perak tradisional untuk meningkatkan efisiensiHal ini juga dapat digunakan untuk lapisan bagian perangkat keras produk elektronik untuk meningkatkan kekerasan permukaan dan ketahanan korosi mereka.

Dalam bidang dekorasi dan optik:

Hal ini dapat digunakan untuk mendepositkan lapisan film komposit seperti TiN dan CrN pada permukaan aksesori perangkat keras untuk jam tangan kelas atas, perhiasan, dll.Berbagai warna seperti emas tungku dan emas mawarSelain itu, film pelindung elektromagnetik, film anti-refleksi, dll dapat dilapisi pada permukaan substrat seperti akrilik dan PC, memenuhi persyaratan kinerja perangkat optik.