مقدمه
ساختار:
اتاق خلاء افقی، مجموعه هدف کنترل مغناطیسی، سیستم انتقال افقی، سیستم جذب و تشخیص خلاء، سیستم کنترل صنعتی،سیستم آیون سازی و کنترل دمای بستر.
اصل کار:
در یک محیط خلاء، گاز کار وارد می شود. پلاسما توسط یک میدان مغناطیسی محدود می شود و باعث می شود یون های پر انرژی مواد هدف را بمباران کنند.اتم های ماده هدف جدا شده و افقی بر روی سطح بستر قرار می گیرند که با سرعت ثابت حرکت می کند تا یک فیلم ایجاد کند.
ویژگی ها
ساختار ماژولار و بسیار قابل گسترش است:
اتاق های پوشش بیشتر از ساختار ماژولار هستند که می توانند موقعیت کاتود و گروه پمپ را با توجه به نیازهای فرآیند انعطاف پذیر تنظیم کنند.تعداد اتاق ها نیز می تواند در صورت نیاز افزایش یابدبرای مثال برای پاسخگویی به الزامات کامپوزیت لایه های مختلف فیلم،رسوب مداوم فیلم های چند لایه ای می تواند با افزایش یا کاهش اتاق های اسپوتر و تطبیق مواد مختلف هدف حاصل شود..
درجه بالایی از اتوماسیون و هوش:
مدل های اصلی مجهز به سیستم های کامپیوتری کنترل صنعتی هستند که می توانند عملکرد کاملا خودکار را به دست آورند.آنها همچنین مجهز به سیستم حمل و نقل خودکار استوک قطعات یا سیستم بازگشت خودکار استوک مواد هستند.. هنگامی که با بازوهای مکانیکی ترکیب می شوند ، می توانند فرآیندهای قبلی و بعدی را نیز متصل کنند. همزمان از تشخیص نگهداری شبکه از راه دور و نظارت بر فرآیند پوشش پشتیبانی می کند.در طول فرآیند تولید، همچنین هشدارها و نمایش خطاها وجود دارد، که شناسایی مشکلات را به موقع تسهیل می کند.
سازگاری و یکنواخت بودن پوشش عالی:
ساختار هدف بهینه شده و طراحی مناسب پایه هدف، همراه با یک مرحله نمونه چرخش یا یک سیستم انتقال افقی پایدار، می تواند یکسانی اسپتر را افزایش دهد.برای مثال، در منطقه رسوب موثر برخی از خطوط تولید LOW-E، یکسانی ضخامت لایه فیلم ≤ ± 5٪ است. علاوه بر این، سیستم جدایی بستر می تواند سطح محصول را فعال کند.تضمین بیشتر سازگاری پوشش بر روی زیربناهای مختلف مواد.
مزایا
بهره وری تولید بالا و هزینه قابل کنترل:
طراحی انتقال افقی مداوم نیازی به شروع و توقف مکرر تجهیزات ندارد و چرخه تجهیزات سریع است. به عنوان مثال،چرخه ی تولید یکبارۀ برخی از خطوط تولید تنها ۶۰ ثانیه است.، و تولید سالانه می تواند بیش از 2 میلیون متر مربع باشد.
در همین حال، طرح هایی مانند قفسه بازپرداخت مواد خودکار نیروی انسانی را صرفه جویی می کنند و استفاده از اجزای داخلی نیز هزینه بازیابی و استفاده از خرابی تجهیزات را کاهش می دهد.در فرآیند تولید خازن، این تجهیزات همچنین می توانند چاپ پسته نقره را جایگزین کنند و هزینه های تولید را بیشتر کاهش دهند.
کیفیت لایه فیلم پایدار و قابل اعتماد است:
با کمک سیستم یونیزاسیون بستر و فرآیند اسپتر کردن بهینه شده، لایه فیلم سپرده شده دارای ساختار متراکم، چسبندگی قوی و سقوط آسان نیست. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.
صرفه جویی در انرژی، سازگار با محیط زیست و آسان برای کار و نگهداری:
این فرآیند خشک است، بدون تخلیه زباله های مایع شیمیایی، و مطابق با مقررات حفاظت از محیط زیست RoHS / REACH است.برخی از سیستم های خلاء تجهیزات مجهز به پمپ های مولکولی برای استخراج هوا هستند، که مصرف انرژی نسبتا کم دارد. در همین حال ساختار کاتود می تواند چرخه جایگزینی و تمیز کردن مواد هدف را کوتاه کند.و کاهش حجم کار نگهداری تجهیزات.
درخواست
در زمینه شیشه های معماری و خودرو:
این تجهیزات اصلی برای تولید شیشه LOW-E است که قادر به پوشش فیلم های کم انتشار در سطح شیشه صاف برای دستیابی به عایق حرارتی و اثرات صرفه جویی در انرژی است.برخی از خطوط تولید می توانند شیشه های 9000mm × 2540mm را پردازش کنند، که آن را برای تولید در مقیاس بزرگ دیوار پرده معماری و شیشه جلو خودرو مناسب می کند.
در زمینه قطعات الکترونیک:
به طور گسترده ای در پوشش خازن های سرامیکی، واریستورها، براکت های سرامیکی LED و سایر محصولات استفاده می شود و می تواند فیلم های رسانا یا فیلم های محافظتی با چسبندگی بالا را آماده کند.جایگزین کردن فرآیند چاپ نقره ای سنتی برای بهبود بهره وریهمچنین می تواند برای پوشش قطعات سخت افزاری محصولات الکترونیکی برای افزایش سختی سطح و مقاومت در برابر خوردگی استفاده شود.
در زمینه دکوراسیون و نوری:
می تواند برای قرار دادن لایه های فیلم ترکیبی مانند TiN و CrN در سطح لوازم جانبی سخت افزاری برای ساعت های پیشرفته، جواهرات و غیره استفاده شود.رنگ های مختلف مانند طلا و طلا گلابیعلاوه بر این، فیلم های محافظ الکترومغناطیسی، فیلم های ضد انعکاس و غیره می توانند بر روی سطوح زیرپوش هایی مانند آکریلیک و PC پوشش داده شوند و نیازهای عملکردی دستگاه های نوری را برآورده کنند..
در هر زمان با ما تماس بگیرید