Thiết bị phủ phun chân không magnetron ngang PVD để phủ kính hoặc kim loại

Giới thiệu
Cấu trúc:

Buồng chân không ngang, cụm mục tiêu điều khiển từ tính, hệ thống truyền động ngang, hệ thống thu và phát hiện chân không, hệ thống điều khiển công nghiệp, hệ thống ion hóa và kiểm soát nhiệt độ đế.

Nguyên lý hoạt động:

Trong môi trường chân không, khí làm việc được đưa vào. Plasma bị giới hạn bởi từ trường, khiến các ion năng lượng cao bắn phá vật liệu mục tiêu. Các nguyên tử của vật liệu mục tiêu bị tách ra và lắng đọng theo chiều ngang trên bề mặt của đế đang di chuyển với tốc độ không đổi để tạo thành một lớp màng.

Đặc điểm
Cấu trúc dạng mô-đun và có khả năng mở rộng cao:

Các buồng phủ chủ yếu có cấu trúc dạng mô-đun, có thể điều chỉnh linh hoạt vị trí của cathode và nhóm bơm theo yêu cầu quy trình. Số lượng buồng cũng có thể được tăng lên khi cần thiết, thậm chí có thể đạt được chức năng phủ hai mặt. Ví dụ, để đáp ứng các yêu cầu tổng hợp của các lớp màng khác nhau, có thể đạt được sự lắng đọng liên tục của các màng nhiều lớp bằng cách tăng hoặc giảm các buồng phun và kết hợp các vật liệu mục tiêu khác nhau.

Mức độ tự động hóa và thông minh cao:

Các mẫu máy chủ đạo được trang bị hệ thống máy tính điều khiển công nghiệp, có thể đạt được hoạt động hoàn toàn tự động. Chúng cũng được trang bị hệ thống vận chuyển giá đỡ phôi tự động hoặc hệ thống trả lại giá đỡ vật liệu tự động. Khi kết hợp với cánh tay robot, chúng cũng có thể kết nối các quy trình trước và sau. Đồng thời hỗ trợ bảo trì và phát hiện mạng từ xa và giám sát quá trình phủ. Trong quá trình sản xuất, cũng có các lời nhắc báo động và hiển thị lỗi, tạo điều kiện nhận dạng vấn đề kịp thời.

Khả năng tương thích và độ đồng đều của lớp phủ tuyệt vời:

Cấu trúc mục tiêu được tối ưu hóa và thiết kế bố trí đế mục tiêu hợp lý, kết hợp với bàn mẫu xoay hoặc hệ thống truyền động ngang ổn định, có thể tăng cường độ đồng đều của quá trình phun. Ví dụ, trong khu vực lắng đọng hiệu quả của một số dây chuyền sản xuất LOW-E, độ đồng đều của độ dày lớp màng là ≤± 5%. Hơn nữa, hệ thống phân ly đế có thể kích hoạt bề mặt sản phẩm, đảm bảo hơn nữa tính nhất quán của lớp phủ trên các đế vật liệu khác nhau.

Ưu điểm
Hiệu quả sản xuất cao và chi phí có thể kiểm soát:

Thiết kế truyền động ngang liên tục không yêu cầu khởi động và dừng thiết bị thường xuyên và chu kỳ thiết bị nhanh. Ví dụ, chu kỳ sản xuất đơn lẻ của một số dây chuyền sản xuất chỉ là 60 giây và sản lượng hàng năm có thể vượt quá 2 triệu mét vuông.

 Đồng thời, các thiết kế như trả lại giá đỡ vật liệu tự động giúp tiết kiệm nhân lực và việc ứng dụng các linh kiện trong nước cũng làm giảm chi phí phục hồi và sử dụng thiết bị khi gặp sự cố. Trong quá trình sản xuất tụ điện, thiết bị này cũng có thể thay thế việc in keo bạc, giúp giảm chi phí sản xuất hơn nữa.

Chất lượng lớp màng ổn định và đáng tin cậy:

 Với sự trợ giúp của hệ thống ion hóa đế và quy trình phun được tối ưu hóa, lớp màng lắng đọng có cấu trúc đặc, độ bám dính cao và không dễ bị bong ra. Hơn nữa, thiết kế phun góc nhỏ với mục tiêu xoay không chỉ tạo điều kiện cho việc lắng đọng các lớp màng trên bề mặt bên trong của các lỗ nhỏ mà còn đáp ứng các yêu cầu phủ của một số đế có cấu trúc phức tạp.

Tiết kiệm năng lượng, thân thiện với môi trường và dễ vận hành và bảo trì:

Nó áp dụng một quy trình khô, không thải chất thải lỏng hóa học và tuân thủ các quy định bảo vệ môi trường RoHS/REACH. Một số hệ thống chân không của thiết bị được trang bị bơm phân tử để hút không khí, có mức tiêu thụ năng lượng tương đối thấp. Đồng thời, cấu trúc vách ngăn cathode có thể rút ngắn chu kỳ thay thế và làm sạch vật liệu mục tiêu và giảm khối lượng công việc bảo trì thiết bị.

Ứng dụng
Trong lĩnh vực kính kiến trúc và ô tô:

Đây là thiết bị cốt lõi để sản xuất kính LOW-E, có khả năng phủ các lớp màng phát xạ thấp trên bề mặt kính phẳng để đạt được hiệu quả cách nhiệt và tiết kiệm năng lượng. Một số dây chuyền sản xuất có thể xử lý kính có thông số kỹ thuật 9000mm×2540mm, phù hợp để sản xuất quy mô lớn các bức tường rèm kiến trúc và kính chắn gió ô tô.

Trong lĩnh vực linh kiện điện tử:

Nó được sử dụng rộng rãi trong việc phủ tụ gốm, varistor, giá đỡ gốm LED và các sản phẩm khác, đồng thời có thể chuẩn bị các lớp màng dẫn điện hoặc lớp màng bảo vệ có độ bám dính cao, thay thế quy trình in keo bạc truyền thống để cải thiện hiệu quả. Nó cũng có thể được sử dụng để phủ các bộ phận phần cứng sản phẩm điện tử để tăng cường độ cứng bề mặt và khả năng chống ăn mòn của chúng.

Trong lĩnh vực trang trí và quang học:

Nó có thể được sử dụng để lắng đọng các lớp màng hợp chất như TiN và CrN trên bề mặt của các phụ kiện phần cứng cho đồng hồ cao cấp, đồ trang sức, v.v., thể hiện nhiều màu sắc khác nhau như vàng lò và vàng hồng. Ngoài ra, các lớp màng che chắn điện từ, lớp màng chống phản xạ, v.v. có thể được phủ trên bề mặt của các đế như acrylic và PC, đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất của các thiết bị quang học.