Introducción
Estructura:
Cámara de vacío horizontal, conjunto de objetivos de control magnético, sistema de transmisión horizontal, sistema de adquisición y detección de vacío, sistema de control industrial,Sistema de ionización y control de temperatura del sustrato.
Principio de trabajo:
En un ambiente de vacío, se introduce gas de trabajo, el plasma está confinado por un campo magnético, haciendo que los iones de alta energía bombardeen el material objetivo.Los átomos del material objetivo se desprenden y se depositan horizontalmente en la superficie del sustrato que viaja a una velocidad constante para formar una película.
Características
La estructura es modular y altamente expandible:
Las cámaras de recubrimiento son en su mayoría de estructura modular, que puede ajustar flexiblemente las posiciones del grupo de cátodo y bomba de acuerdo con los requisitos del proceso.El número de cámaras también se puede aumentar según sea necesario.Por ejemplo, para satisfacer los requisitos de los compuestos de las diferentes capas de película, se puede utilizar una capa de vidrio de alta calidad.La deposición continua de películas multicapa puede lograrse aumentando o disminuyendo las cámaras de pulverización y combinando diferentes materiales objetivo..
Alto grado de automatización e inteligencia
Los modelos más comunes están equipados con sistemas informáticos de control industrial, que pueden lograr un funcionamiento totalmente automático.También están equipados con sistemas automáticos de transporte de piezas de trabajo o sistemas automáticos de retorno de material.Cuando se combinan con brazos mecánicos, también pueden conectar los procesos anteriores y posteriores.Durante el proceso de producción, también hay avisos de alarma y pantallas de fallas, lo que facilita la identificación oportuna de los problemas.
Excelente compatibilidad y uniformidad del revestimiento:
La estructura del objetivo optimizada y el diseño razonable de la base del objetivo, combinados con una etapa de muestra rotable o un sistema de transmisión horizontal estable, pueden mejorar la uniformidad de pulverización.Por ejemplo:, en el área de deposición efectiva de algunas líneas de producción LOW-E, la uniformidad del grosor de la capa de película es ≤ ± 5%.garantizar aún más la consistencia del revestimiento en diferentes sustratos de materiales.
Ventajas
Alta eficiencia de producción y coste controlable:
El diseño de la transmisión horizontal continua no requiere arranque y parada frecuentes del equipo, y el ciclo del equipo es rápido.el ciclo de producción de algunas líneas de producción es de sólo 60 segundos, y la producción anual puede superar los 2 millones de metros cuadrados.
Mientras tanto, los diseños como el retorno automático de material ahorran mano de obra, y la aplicación de componentes domésticos también reduce el costo de recuperación y uso de fallas de equipos.En el proceso de fabricación de condensadores, este equipo también puede reemplazar la impresión de pasta de plata, reduciendo aún más los costos de producción.
La calidad de la capa de película es estable y fiable:
Con la ayuda del sistema de ionización del sustrato y el proceso de pulverización optimizado, la capa de película depositada tiene una estructura densa, una fuerte adhesión y no es fácil de caer. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.
Ahorro de energía, respetuoso con el medio ambiente, fácil de operar y mantener:
Adopta un proceso seco, sin descarga de residuos químicos líquidos, y cumple con las regulaciones de protección del medio ambiente RoHS/REACH.Algunos sistemas de vacío de equipos están equipados con bombas moleculares para la extracción de aireMientras tanto, la estructura del deflector catódico puede acortar el ciclo de reemplazo y limpieza del material objetivo,y reducir la carga de trabajo de mantenimiento de equipos.
Aplicación
En el ámbito del vidrio arquitectónico y automotriz:
Es el equipo básico para la producción de vidrio de baja emisión, capaz de recubrir películas de baja emisividad en la superficie del vidrio plano para lograr aislamiento térmico y efectos de ahorro de energía.Algunas líneas de producción pueden manejar vidrio de especificaciones de 9000 mm × 2540 mm, por lo que es adecuado para la producción a gran escala de cortinas arquitectónicas y parabrisas de automóviles.
En el ámbito de los componentes electrónicos:
Se utiliza ampliamente en el recubrimiento de condensadores cerámicos, varistores, soportes cerámicos LED y otros productos, y puede preparar películas conductoras o películas protectoras de alta adhesión,sustitución del proceso tradicional de impresión de pasta de plata para mejorar la eficienciaTambién se puede utilizar para recubrir piezas de hardware de productos electrónicos para mejorar su dureza superficial y resistencia a la corrosión.
En el ámbito de la decoración y la óptica:
Puede utilizarse para depositar capas de película compuesta como TiN y CrN en la superficie de los accesorios de hardware para relojes de alta gama, joyas, etc.de varios colores, como el oro de horno y el oro rosaAdemás, las superficies de sustratos como acrílico y PC pueden ser revestidas con películas de blindaje electromagnético, películas antirreflectantes, etc., cumpliendo con los requisitos de rendimiento de los dispositivos ópticos..
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