수평 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비, PVD 진공 코팅 기계, 유리 또는 금속 코팅용

소개
구조:

수평 진공 방, 자기 제어 목표 집합, 수평 전송 시스템, 진공 획득 및 감지 시스템, 산업 제어 시스템기판 이온화 및 온도 제어 시스템.

작동 원리:

진공 환경에서는 작동 가스가 들어갑니다. 플라즈마는 자기장 에 갇혀서 고에너지 이온이 목표물 을 폭격 하게 됩니다.표적 물질의 원자는 분리되어 평면적으로 필름을 형성하기 위해 일정한 속도로 이동하는 기판의 표면에 퇴적됩니다..

특징
구조는 모듈형이고 확장성이 높습니다.

코팅 챔버는 대부분 모듈 구조로 되어 있으며, 프로세스 요구 사항에 따라 카토드 및 펌프 그룹의 위치를 유연하게 조정할 수 있습니다.또한 필요에 따라 방의 수를 늘릴 수 있습니다.예를 들어, 다른 필름 층의 복합 용품 요구 사항을 충족시키기 위해,다층 필름의 지속적인 퇴적은 분사 방의 증가 또는 감소와 다른 목표 재료의 일치로 달성 할 수 있습니다..

높은 수준의 자동화와 지능:

주류 모델은 산업용 제어 컴퓨터 시스템으로 장착되어 있으며, 완전히 자동 작동을 달성 할 수 있습니다.그들은 또한 자동 작업 조각 래크 운송 또는 자동 재료 래크 반환 시스템으로 장착됩니다.기계적 팔과 결합되면 이전과 후속 프로세스를 연결 할 수 있습니다. 동시에 원격 네트워크 유지 보수 탐지 및 코팅 프로세스 모니터링을 지원합니다.생산 과정에서, 또한 알람 요청 및 고장 표시가 있으며, 신속한 문제 식별을 촉진합니다.

우수한 코팅 호환성 및 균일성:

최적화된 표적 구조와 합리적인 표적 기본 레이아웃 설계, 회전 가능한 샘플 스테이지 또는 안정적인 수평 전송 시스템과 결합하여 분출 균일성을 향상시킬 수 있습니다.예를 들어, 일부 LOW-E 생산 라인의 효과적인 퇴적 영역에서 필름 층 두께의 균일성은 ≤± 5%입니다. 또한 기판 분리 시스템은 제품 표면을 활성화 할 수 있습니다.다른 재료 기판에 코팅의 일관성을 더욱 보장합니다..

장점
높은 생산 효율성과 통제 가능한 비용:

연속 수평 변속기 설계는 장비의 빈번한 시작 및 중지가 필요하지 않으며 장비 주기가 빠릅니다. 예를 들어,일부 생산 라인의 단일 생산 주기는 60 초입니다., 연간 생산량은 2백만 평방 미터를 초과할 수 있습니다.

한편, 자동 재료 랙 반환과 같은 디자인은 인력을 절약하고 국내 부품의 적용은 또한 장비 고장 복구 및 사용 비용을 줄입니다.콘덴서 제조 과정에서, 이 장비는 또한 은 페이스트 인쇄를 대체 할 수 있으며, 생산 비용을 추가로 줄일 수 있습니다.

필름 레이어의 품질은 안정적이고 신뢰할 수 있습니다.

기판 이온화 시스템과 최적화된 스프터링 과정의 도움으로, 퇴적 된 필름 층은 밀도가 높은 구조와 강한 접착력을 가지고 있으며 쉽게 떨어지지 않습니다. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

에너지 절감, 환경 친화적, 조작 및 유지보수 용이:

그것은 화학 액체 폐기물을 배출하지 않고 건조한 과정을 채택하고 RoHS / REACH 환경 보호 규정을 준수합니다.일부 장비 진공 시스템은 공기 추출을 위해 분자 펌프가 장착되어 있습니다, 상대적으로 낮은 에너지 소비를 가지고 있습니다. 한편으로, 카토드 바플 구조는 목표 재료 교체 및 청소의 주기를 단축 할 수 있습니다.그리고 장비 유지보수 작업 부하를 줄입니다..

적용
건축 및 자동차 유리 분야에서:

이것은 LOW-E 유리 생산의 핵심 장비로 평면 유리의 표면에 저 방출성 필름을 코팅하여 열 단열 및 에너지 절약 효과를 달성 할 수 있습니다.일부 생산 라인은 9000mm × 2540mm 사양의 유리를 처리 할 수 있습니다.건축물 커튼 벽과 자동차 정면 유리의 대용량 생산에 적합합니다.

전자 부품 분야에서:

그것은 세라믹 콘덴서, 바리스터, LED 세라믹 브래킷 및 기타 제품의 코팅에 널리 사용됩니다.효율성을 높이기 위해 전통적인 은 페이스트 인쇄 과정을 대체합니다.또한 전자 제품 하드웨어 부품을 코팅하여 표면 경화 및 부식 저항을 향상시키기 위해 사용할 수 있습니다.

장식 및 광학 분야에서:

고품질 시계, 보석 등을 위한 하드웨어 액세서리의 표면에 TiN 및 CrN와 같은 복합 필름 층을 저장하는 데 사용할 수 있습니다.오븐 금과 로즈 금과 같은 다양한 색상을 가진또한, 전자기 보호 필름, 반사 방지 필름 등은 아크릴 및 PC와 같은 기판의 표면에 코팅 될 수 있으며, 광 장치의 성능 요구 사항을 충족합니다..