Introduzione
Struttura:
Camera di vuoto orizzontale, sistema di controllo magnetico, sistema di trasmissione orizzontale, sistema di acquisizione e rilevamento del vuoto, sistema di controllo industriale,sistema di ionizzazione e controllo della temperatura del substrato.
Principio di funzionamento:
In un ambiente a vuoto viene introdotto un gas di lavoro, il plasma è confinato da un campo magnetico, causando ioni ad alta energia a bombardare il materiale bersaglio.Gli atomi del materiale bersaglio vengono staccati e depositati orizzontalmente sulla superficie del substrato che viaggia a velocità costante per formare un film.
Caratteristiche
La struttura è modulare e altamente espandibile:
Le camere di rivestimento sono per lo più di struttura modulare, che può regolare in modo flessibile le posizioni del gruppo di catodi e pompe in base alle esigenze del processo.Il numero di camere può essere aumentato se necessario.Per soddisfare le esigenze dei materiali compositi di diversi strati di pellicola,la deposizione continua di film a più strati può essere ottenuta aumentando o diminuendo le camere di sputtering e abbinando diversi materiali bersaglio.
Alto grado di automazione e intelligenza:
I modelli tradizionali sono dotati di sistemi informatici di controllo industriale, in grado di realizzare un funzionamento completamente automatico.Sono inoltre dotati di sistemi automatici di trasporto dei pezzi da lavorare su scaffali o di sistemi automatici di ritorno dei materiali su scaffali.. Quando combinato con bracci meccanici, possono anche collegare i processi precedenti e successivi.Durante il processo di produzione, ci sono anche segnali di allarme e di errore, che facilitano l'identificazione tempestiva dei problemi.
Eccellente compatibilità e uniformità del rivestimento:
La struttura ottimizzata del bersaglio e il design ragionevole della base del bersaglio, combinati con uno stadio di campionamento rotabile o un sistema di trasmissione orizzontale stabile, possono migliorare l'uniformità dello sputtering.Per esempio:, nell'area di deposizione effettiva di alcune linee di produzione LOW-E, l'uniformità dello spessore dello strato di pellicola è ≤ ± 5%.ulteriore garanzia della consistenza del rivestimento su diversi substrati materiali.
Vantaggi
Alta efficienza di produzione e costi controllabili:
La progettazione della trasmissione orizzontale continua non richiede l'avvio e l'arresto frequenti dell'apparecchiatura e il ciclo dell'apparecchiatura è rapido.il ciclo di produzione di alcune linee di produzione è di soli 60 secondi, e la produzione annuale può superare i 2 milioni di metri quadrati.
Nel frattempo, progetti come il ritorno automatico del rack di materiali risparmiano manodopera e l'applicazione di componenti domestici riduce anche il costo di recupero e utilizzo del guasto dell'attrezzatura.nel processo di produzione dei condensatori, questa apparecchiatura può anche sostituire la stampa in pasta d'argento, riducendo ulteriormente i costi di produzione.
La qualità dello strato di pellicola è stabile e affidabile:
Con l'aiuto del sistema di ionizzazione del substrato e del processo di sputtering ottimizzato, lo strato di pellicola depositato ha una struttura densa, una forte adesione e non è facile cadere. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.
Risparmio energetico, rispettoso dell'ambiente, facile da usare e da mantenere:
Adotta un processo a secco, senza scarico di rifiuti chimici liquidi, e è conforme alle normative RoHS/REACH in materia di protezione ambientale.Alcune apparecchiature a vuoto sono dotate di pompe molecolari per l'estrazione dell'ariaIntanto, la struttura di deflettore catodico può abbreviare il ciclo di sostituzione e pulizia del materiale bersaglio,e ridurre il carico di lavoro della manutenzione delle attrezzature.
Applicazione
Nel settore del vetro per l'architettura e l'automotive:
È l'apparecchiatura principale per la produzione di vetro LOW-E, in grado di rivestire film a bassa emissività sulla superficie del vetro piatto per ottenere isolamento termico ed effetti di risparmio energetico.Alcune linee di produzione possono gestire vetri di 9000 mm × 2540 mm, che lo rende idoneo per la produzione su larga scala di pareti a tenda architettoniche e parabrezza automobilistici.
Nel settore dei componenti elettronici:
È ampiamente utilizzato nel rivestimento di condensatori ceramici, varistori, supporti ceramici LED e altri prodotti e può preparare pellicole conduttive o pellicole protettive ad alta aderenza,sostituzione del tradizionale processo di stampa con pasta d'argento per migliorare l'efficienzaPuò anche essere utilizzato per rivestire parti hardware di prodotti elettronici per migliorare la loro durezza superficiale e resistenza alla corrosione.
Nel settore della decorazione e dell'ottica:
Può essere utilizzato per depositare strati di pellicola composta come TiN e CrN sulla superficie di accessori hardware per orologi di fascia alta, gioielli, ecc.di vari colori, come l'oro di forno e l'oro rosaInoltre, le superfici dei substrati come l'acrilico e il PC possono essere rivestite da pellicole di schermatura elettromagnetica, pellicole antiriflesso, ecc., soddisfacendo i requisiti di prestazione dei dispositivi ottici..
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