Οριζόντιος εξοπλισμός επίστρωσης με μαγνητρονικό ψεκασμό, μηχανή επίστρωσης κενού PVD για επίστρωση γυαλιού ή μετάλλων

Εισαγωγή
Δομή:

Οριζόντιο θάλαμο κενού, μαγνητικό σύστημα ελέγχου στόχων, οριζόντιο σύστημα μετάδοσης, σύστημα αποκτήσεως και ανίχνευσης κενού, βιομηχανικό σύστημα ελέγχου,σύστημα ιονισμού υποστρώματος και ελέγχου θερμοκρασίας.

Αρχή λειτουργίας:

Σε ένα κενό περιβάλλον, εισάγεται αέριο εργασίας. Το πλάσμα περιορίζεται από μαγνητικό πεδίο, προκαλώντας ιόντα υψηλής ενέργειας να βομβαρδίζουν το στόχο υλικό.Τα άτομα του υλικού-στόχου αποσυνδέονται και εναποτίθενται οριζόντια στην επιφάνεια του υποστρώματος που ταξιδεύει με σταθερή ταχύτητα για να σχηματίσει ένα φιλμ.

Χαρακτηριστικά
Η δομή είναι αρθρωτή και εξαιρετικά επεκτάσιμη:

Οι θάλαμοι επικάλυψης είναι ως επί το πλείστον μεμονωμένης δομής, οι οποίοι μπορούν να ρυθμίζουν ευέλικτα τις θέσεις της καθοδικής και της ομάδας αντλίας σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.Ο αριθμός των θαλάμων μπορεί επίσης να αυξηθεί κατά περίπτωση.Για παράδειγμα, για να ανταποκριθεί στις απαιτήσεις σύνθετων υλικών διαφορετικών στρωμάτων ταινιών,η συνεχής εναπόθεση πολυστρωμάτων ταινιών μπορεί να επιτευχθεί με την αύξηση ή τη μείωση των θαλάμων ψεκασμού και την αντιστοίχιση διαφορετικών υλικών-στόχων.

Υψηλός βαθμός αυτοματοποίησης και ευφυΐας:

Τα κεντρικά μοντέλα είναι εξοπλισμένα με συστήματα βιομηχανικού ελέγχου με υπολογιστή, τα οποία μπορούν να επιτύχουν πλήρως αυτόματη λειτουργία.Είναι επίσης εξοπλισμένα με αυτόματα συστήματα μεταφοράς των εργασιακών κομματιών ή με αυτόματα συστήματα επιστροφής των υλικών.Όταν συνδυάζονται με μηχανικά χέρια, μπορούν επίσης να συνδέσουν τις προηγούμενες και τις επόμενες διαδικασίες.Κατά τη διαδικασία παραγωγής, υπάρχουν επίσης προειδοποιήσεις συναγερμού και ενδείξεις βλάβης, που διευκολύνουν την έγκαιρη αναγνώριση προβλημάτων.

Εξαιρετική συμβατότητα και ομοιομορφία της επικάλυψης:

Η βελτιστοποιημένη δομή στόχου και ο εύλογος σχεδιασμός της βάσης στόχου, σε συνδυασμό με περιστρεφόμενο στάδιο δειγματοληψίας ή σταθερό οριζόντιο σύστημα μετάδοσης, μπορούν να βελτιώσουν την ομοιομορφία του ψεκασμού.Για παράδειγμα:, στην πραγματική περιοχή αποθέματος ορισμένων γραμμών παραγωγής LOW-E, η ομοιομορφία του πάχους της στρώσης φιλμ είναι ≤± 5%.περαιτέρω διασφάλιση της συνέπειας της επικάλυψης σε διαφορετικά υλικά υποστρώματα.

Πλεονεκτήματα
Υψηλή αποδοτικότητα παραγωγής και ελεγχόμενο κόστος:

Ο σχεδιασμός συνεχούς οριζόντιας μετάδοσης δεν απαιτεί συχνή εκκίνηση και διακοπή του εξοπλισμού και ο κύκλος του εξοπλισμού είναι γρήγορος.ο ενιαίος κύκλος παραγωγής ορισμένων γραμμών παραγωγής είναι μόνο 60 δευτερόλεπτα, και η ετήσια παραγωγή μπορεί να υπερβαίνει τα 2 εκατ. τετραγωνικά μέτρα.

Εν τω μεταξύ, σχέδια όπως η αυτόματη επιστροφή των ράφων υλικών εξοικονομούν ανθρώπινο δυναμικό και η εφαρμογή εγχώριων εξαρτημάτων μειώνει επίσης το κόστος αποκατάστασης και χρήσης αποτυχίας του εξοπλισμού.Στην διαδικασία κατασκευής πυκνωτών, ο εξοπλισμός αυτός μπορεί επίσης να αντικαταστήσει την εκτύπωση ασημένιας πάστες, μειώνοντας περαιτέρω το κόστος παραγωγής.

Η ποιότητα του στρώματος φιλμ είναι σταθερή και αξιόπιστη:

Με τη βοήθεια του συστήματος ιονισμού του υποστρώματος και της βελτιστοποιημένης διαδικασίας ψεκασμού, το εναποθετημένο στρώμα φιλμ έχει πυκνή δομή, ισχυρή προσκόλληση και δεν είναι εύκολο να πέσει. the design of small-angle sputtering with a rotating target not only facilitates the deposition of film layers on the inner surface of small apertures but also meets the coating requirements of some complex-structured substrates.

Εξοικονόμηση ενέργειας, φιλική προς το περιβάλλον και εύκολη στη λειτουργία και συντήρηση:

Χρησιμοποιεί ξηρή διαδικασία, χωρίς απόρριψη χημικών υγρών αποβλήτων και συμμορφώνεται με τους κανονισμούς RoHS/REACH για την προστασία του περιβάλλοντος.Ορισμένα συστήματα κενού εξοπλίζονται με μοριακές αντλίες για την εξαγωγή αέραΕν τω μεταξύ, η δομή της θωρακιστικής κάθοδος μπορεί να συντομεύσει τον κύκλο αντικατάστασης και καθαρισμού του υλικού-στόχου,και να μειώσει το φόρτο εργασίας της συντήρησης του εξοπλισμού.

Εφαρμογή
Στον τομέα του γυαλιού για αρχιτεκτονικές και αυτοκινητοβιομηχανίες:

Είναι ο βασικός εξοπλισμός για την παραγωγή γυαλιού LOW-E, ικανός να επικαλύπτει ταινίες χαμηλής εκπομπής στην επιφάνεια του επίπεδου γυαλιού για την επίτευξη θερμομόνωσης και ενεργειακής εξοικονόμησης.Ορισμένες γραμμές παραγωγής μπορούν να χειριστούν γυαλί με προδιαγραφές 9000mm × 2540mm, καθιστώντας το κατάλληλο για την μεγάλης κλίμακας παραγωγή αρχιτεκτονικών κουρτίνων και παρμπρίζ αυτοκινήτων.

Στο πεδίο των ηλεκτρονικών εξαρτημάτων:

Χρησιμοποιείται ευρέως στην επικάλυψη κεραμικών πυκνωτών, βαριστών, κεραμικών λαβών LED και άλλων προϊόντων και μπορεί να προετοιμάσει αγωγικές ταινίες ή προστατευτικές ταινίες με υψηλή προσκόλληση,αντικατάσταση της παραδοσιακής διαδικασίας εκτύπωσης με ασήμι για τη βελτίωση της αποδοτικότηταςΜπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την επικάλυψη εξαρτημάτων ηλεκτρονικού προϊόντος για την ενίσχυση της σκληρότητας της επιφάνειας και της αντοχής στη διάβρωση.

Στον τομέα της διακόσμησης και της οπτικής:

Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την εναπόθεση σύνθετων στρωμάτων ταινιών όπως TiN και CrN στην επιφάνεια εξαρτημάτων υλικού για υψηλής ποιότητας ρολόγια, κοσμήματα κλπ.που παρουσιάζουν διάφορα χρώματα, όπως χρυσό καμίνου και χρυσό τριαντάφυλλουΕπιπλέον, ηλεκτρομαγνητικές ταινίες προστασίας, αντι-αντανακλαστικές ταινίες κλπ. μπορούν να επικαλυφθούν στις επιφάνειες υποστρώσεων όπως ακρυλικό και PC, ικανοποιώντας τις απαιτήσεις απόδοσης των οπτικών συσκευών..