Urządzenia do napylania wiązką elektronów do powlekania srebrem, złotem, różowym złotem, czernią

Wprowadzenie do urządzenia

Jego główne komponenty:

komora próżniowa, działo elektronowe (system emisji wiązki elektronów), tygiel (do przechowywania materiałów do naparowywania), system próżniowy, stojak na podłoże, system kontroli temperatury i odchylania itp. 

Zasada działania:

Działo elektronowe generuje wysokoenergetyczną wiązkę elektronów. Po skupieniu i odchyleniu precyzyjnie bombarduje powierzchnię naparowywanego materiału. Energia kinetyczna jest zamieniana na energię cieplną, powodując topnienie i parowanie materiału. Cząsteczki gazowe poruszają się po linii prostej w środowisku próżniowym i osadzają się na powierzchni podłoża, tworząc film.

 Zalety

W porównaniu z naparowywaniem rezystancyjnym, unika kontaktu zanieczyszczeń między elementem grzejnym a materiałem do naparowywania.

Główne cechy

Posiada niezwykle wysoką temperaturę grzaniai może naparowywać metale trudno topliwe, takie jak wolfram, molibden i tantal, a także materiały stabilne w wysokich temperaturach, takie jak tlenki i ceramika. Ma zastosowanie do szerokiej gamy materiałów.

Film ma wysoką czystość. Materiał jest ogrzewany bezpośrednio przez wiązkę elektronów, wolny od zanieczyszczeń elementów grzejnych rezystancyjnych, co może zmniejszyć mieszanie się zanieczyszczeń i zapewnić jednorodność składu filmu.

Gęstość energii jest skoncentrowana, wydajność grzania jest wysoka,może szybko osiągnąć parowanie materiału, a obszar grzania może być precyzyjnie kontrolowany w celu zmniejszenia strat energii.

Główne zastosowania

W dziedzinie optyki: Przygotowywanie wysokiej klasy filmów optycznych, takich jak filmy o wysokiej refleksyjności i filmy antyrefleksyjne do soczewek laserowych i elementów optycznych w podczerwieni, a także wielowarstwowych systemów filmowych do filtrów optycznych.

W dziedzinie elektroniki i półprzewodników: Produkcja filmów elektrodowych i filmów izolacyjnych do urządzeń półprzewodnikowych, takich jak metalowe okablowanie do układów scalonych, filmy pasywacyjne do pakowania układów scalonych, a także przezroczyste filmy przewodzące do wyświetlaczy ciekłokrystalicznych (LCD) i organicznych diod elektroluminescencyjnych (OLED).

W przemyśle lotniczym i wojskowym: Filmy odporne na wysokie temperatury, odporne na zużycie i korozję są nakładane na elementy lotnicze i wojskowe elementy elektroniczne, takie jak folie ochronne na powierzchni statków kosmicznych i folie optyczne do systemów naprowadzania pocisków.

Inne dziedziny: Stosowane w sektorze nowej energii do przygotowywania filmów elektrodowych i warstw buforowych do ogniw słonecznych; Jest stosowany w laboratorium do przygotowywania i badań cienkich warstw dla materiałów wysokiej klasy, a także do funkcjonalnego powlekania elementów precyzyjnych instrumentów