Equipo de recubrimiento por evaporación con haz de electrones para recubrir plata, oro, oro rosa, negro

Introducción del equipo

Sus componentes principales:

una cámara de vacío, un cañón de electrones (sistema de emisión de haz de electrones), un crisol (para contener los materiales evaporados), un sistema de vacío, un soporte de sustrato, un sistema de control de temperatura y deflexión, etc. 

Principio de funcionamiento:

El cañón de electrones genera un haz de electrones de alta energía. Después de enfocar y desviar, bombardea con precisión la superficie del material evaporado. La energía cinética se convierte en energía térmica, lo que hace que el material se derrita y se vaporice. Las partículas gaseosas se mueven en línea recta en un entorno de vacío y se depositan en la superficie del sustrato para formar una película.

 Ventajas

En comparación con la evaporación por resistencia, evita la contaminación por contacto entre el elemento calefactor y el material de evaporación.

Características principales

Tiene una temperatura de calentamiento extremadamente altay puede evaporar metales refractarios como tungsteno, molibdeno y tantalio, así como materiales estables a altas temperaturas como óxidos y cerámicas. Es aplicable a una amplia gama de materiales.

La película tiene alta pureza.El material se calienta directamente con un haz de electrones, libre de la contaminación de los elementos de calentamiento por resistencia, lo que puede reducir la mezcla de impurezas y asegurar la uniformidad de la composición de la película.

La densidad de energía está concentrada, la eficiencia de calentamiento es alta,puede lograr rápidamente la vaporización del material, y el área de calentamiento se puede controlar con precisión para reducir la pérdida de energía.

Aplicaciones principales

En el campo de la óptica: Preparación de películas ópticas de alta gama , como películas de alta reflectividad y películas antirreflectantes para lentes láser y componentes ópticos infrarrojos, así como sistemas de películas multicapa para filtros ópticos.

En el campo de la electrónica y los semiconductores:La producción de películas de electrodos y películas aislantes para dispositivos semiconductores, como cableado metálico para circuitos integrados, películas de pasivación para el encapsulado de chips, así como películas conductoras transparentes para pantallas de cristal líquido (LCD) y diodos orgánicos emisores de luz (OLED).

En la industria aeroespacial y militar:Se recubren películas resistentes a altas temperaturas, al desgaste y a la corrosión para componentes aeroespaciales y componentes electrónicos militares, como películas protectoras en la superficie de las naves espaciales y películas ópticas para sistemas de guía de misiles.

Otros campos:Se utiliza en el sector de las nuevas energías para la preparación de películas de electrodos y capas amortiguadoras para células solares; Se utiliza en el laboratorio para la preparación e investigación de películas delgadas para materiales de alta gama, así como para el recubrimiento funcional de componentes de instrumentos de precisión