Εισαγωγή Εξοπλισμού
Τα βασικά του εξαρτήματα:
ένα θάλαμο κενού, ένα πιστόλι ηλεκτρονίων (σύστημα εκπομπής δέσμης ηλεκτρονίων), ένα χωνευτήρι (για τη συγκράτηση εξατμιζόμενων υλικών), ένα σύστημα κενού, μια σχάρα υποστρώματος, ένα σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας και εκτροπής, κ.λπ.
Το πιστόλι ηλεκτρονίων παράγει μια δέσμη ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας. Μετά την εστίαση και την εκτροπή, βομβαρδίζει με ακρίβεια την επιφάνεια του εξατμιζόμενου υλικού. Η κινητική ενέργεια μετατρέπεται σε θερμική ενέργεια, προκαλώντας την τήξη και την εξάτμιση του υλικού. Τα αέρια σωματίδια κινούνται σε ευθεία γραμμή σε περιβάλλον κενού και εναποτίθενται στην επιφάνεια του υποστρώματος για να σχηματίσουν μια μεμβράνη.
Σε σύγκριση με την εξάτμιση αντίστασης, αποφεύγει την επαφή μόλυνσης μεταξύ του θερμαντικού στοιχείου και του υλικού εξάτμισης.
Βασικά χαρακτηριστικά
Έχει εξαιρετικά υψηλή θερμοκρασία θέρμανσηςκαι μπορεί να εξατμίσει πυρίμαχα μέταλλα όπως βολφράμιο, μολυβδαίνιο και ταντάλιο, καθώς και υλικά σταθερά σε υψηλές θερμοκρασίες όπως οξείδια και κεραμικά. Είναι κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα υλικών.
Η μεμβράνη έχει υψηλή καθαρότητα. Το υλικό θερμαίνεται άμεσα από μια δέσμη ηλεκτρονίων, απαλλαγμένο από τη μόλυνση των θερμαντικών στοιχείων αντίστασης, γεγονός που μπορεί να μειώσει την ανάμειξη ακαθαρσιών και να εξασφαλίσει την ομοιομορφία της σύνθεσης της μεμβράνης.
Η πυκνότητα ενέργειας είναι συγκεντρωμένη, η απόδοση θέρμανσης είναι υψηλή, μπορεί να επιτύχει γρήγορα την εξάτμιση του υλικού και η περιοχή θέρμανσης μπορεί να ελεγχθεί με ακρίβεια για να μειωθεί η απώλεια ενέργειας.
Κύριες εφαρμογές
Στον τομέα της οπτικής: Προετοιμασία υψηλής ποιότητας οπτικών μεμβρανών, όπως μεμβράνες υψηλής ανακλαστικότητας και μεμβράνες κατά της ανάκλασης για φακούς λέιζερ και υπέρυθρα οπτικά εξαρτήματα, καθώς και συστήματα πολλαπλών στρώσεων για οπτικά φίλτρα.
Στον τομέα της ηλεκτρονικής και των ημιαγωγών: Η παραγωγή μεμβρανών ηλεκτροδίων και μονωτικών μεμβρανών για συσκευές ημιαγωγών, όπως μεταλλικές καλωδιώσεις για ολοκληρωμένα κυκλώματα, μεμβράνες παθητικοποίησης για συσκευασία τσιπ, καθώς και διαφανείς αγώγιμες μεμβράνες για οθόνες υγρών κρυστάλλων (LCDS) και οργανικές διόδους εκπομπής φωτός (Oleds).
Στην αεροδιαστημική και τη στρατιωτική βιομηχανία: Επικάλυψη ανθεκτικών σε υψηλές θερμοκρασίες, ανθεκτικών στη φθορά και ανθεκτικών στη διάβρωση μεμβρανών για αεροδιαστημικά εξαρτήματα και στρατιωτικά ηλεκτρονικά εξαρτήματα, όπως προστατευτικές μεμβράνες στην επιφάνεια διαστημικών σκαφών και οπτικές μεμβράνες για συστήματα καθοδήγησης πυραύλων.
Άλλοι τομείς:Χρησιμοποιείται στον τομέα της νέας ενέργειας για την προετοιμασία μεμβρανών ηλεκτροδίων και στρώσεων buffer για ηλιακά κύτταρα. Χρησιμοποιείται στο εργαστήριο για την προετοιμασία και την έρευνα λεπτών μεμβρανών για υλικά υψηλής ποιότητας, καθώς και για λειτουργική επίστρωση εξαρτημάτων οργάνων ακριβείας
ΕΠΙΚΟΙΝΩΝΗΣΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ ΟΠΟΙΑΔΗΠΟΤΕ ΣΤΙΓΜΗ