Thiết bị phủ bay hơi chùm electron phủ Bạc, Vàng, Vàng hồng, Đen

Giới thiệu thiết bị

Các thành phần cốt lõi của nó:

buồng chân không, súng điện tử (hệ thống phát xạ chùm electron), nồi nấu (để chứa vật liệu bay hơi), hệ thống chân không, giá đỡ đế, hệ thống điều khiển nhiệt độ và độ lệch, v.v. 

Nguyên lý hoạt động:

Súng điện tử tạo ra chùm electron năng lượng cao. Sau khi hội tụ và làm lệch hướng, nó bắn phá chính xác bề mặt của vật liệu bay hơi. Động năng được chuyển đổi thành nhiệt năng, làm cho vật liệu tan chảy và bốc hơi. Các hạt khí di chuyển theo đường thẳng trong môi trường chân không và lắng đọng trên bề mặt đế để tạo thành màng.

 Ưu điểm

So với phương pháp bay hơi điện trở, nó tránh được sự tiếp xúc gây ô nhiễm giữa bộ phận gia nhiệt và vật liệu bay hơi.

Tính năng cốt lõi

Nó có nhiệt độ gia nhiệt cực caovà có thể làm bay hơi các kim loại chịu lửa như vonfram, molypden và tantali, cũng như các vật liệu ổn định ở nhiệt độ cao như oxit và gốm. Nó có thể áp dụng cho nhiều loại vật liệu.

Màng có độ tinh khiết cao.Vật liệu được gia nhiệt trực tiếp bằng chùm electron, không bị ô nhiễm từ các bộ phận gia nhiệt điện trở, có thể làm giảm sự trộn lẫn của các tạp chất và đảm bảo tính đồng nhất của thành phần màng.

Mật độ năng lượng tập trung, hiệu quả gia nhiệt cao,nó có thể nhanh chóng đạt được sự bay hơi của vật liệu và có thể kiểm soát chính xác khu vực gia nhiệt để giảm tổn thất năng lượng.

Ứng dụng chính

Trong lĩnh vực quang học: Chuẩn bị cao cấp màng quang học, chẳng hạn như màng có độ phản xạ cao và màng chống phản xạ cho thấu kính laser và các thành phần quang học hồng ngoại, cũng như các hệ thống màng nhiều lớp cho bộ lọc quang học.

Trong lĩnh vực điện tử và bán dẫn:Sản xuất màng điện cực và màng cách điện cho các thiết bị bán dẫn, chẳng hạn như dây kim loại cho mạch tích hợp, màng thụ động cho đóng gói chip, cũng như màng dẫn điện trong suốt cho màn hình tinh thể lỏng (LCDS) và điốt phát quang hữu cơ (Oleds).

Trong ngành hàng không vũ trụ và quân sự:Màng chịu nhiệt độ cao, chống mài mòn và chống ăn mòn được phủ cho các thành phần hàng không vũ trụ và các thành phần điện tử quân sự, chẳng hạn như màng bảo vệ trên bề mặt tàu vũ trụ và màng quang học cho hệ thống dẫn đường tên lửa.

Các lĩnh vực khác:Được sử dụng trong lĩnh vực năng lượng mới để chuẩn bị màng điện cực và lớp đệm cho pin mặt trời; Nó được sử dụng trong phòng thí nghiệm để chuẩn bị và nghiên cứu màng mỏng cho các vật liệu cao cấp, cũng như để phủ chức năng cho các thành phần dụng cụ chính xác