उपकरण परिचय
इसके मुख्य घटक:
एक वैक्यूम चैंबर, एक इलेक्ट्रॉन गन (इलेक्ट्रॉन बीम उत्सर्जन प्रणाली), एक क्रूसिबल (वाष्पित सामग्री को रखने के लिए), एक वैक्यूम सिस्टम, एक सब्सट्रेट रैक, एक तापमान नियंत्रण और विक्षेपण प्रणाली, आदि।
इलेक्ट्रॉन गन एक उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन बीम उत्पन्न करता है। फोकसिंग और विक्षेपण के बाद, यह सटीक रूप से वाष्पित सामग्री की सतह पर बमबारी करता है। गतिज ऊर्जा को तापीय ऊर्जा में परिवर्तित किया जाता है, जिससे सामग्री पिघल जाती है और वाष्पित हो जाती है। गैसीय कण एक वैक्यूम वातावरण में एक सीधी रेखा में चलते हैं और फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट सतह पर जमा होते हैं।
प्रतिरोध वाष्पीकरण की तुलना में, यह हीटिंग तत्व और वाष्पीकरण सामग्री के बीच संपर्क संदूषण से बचाता है।
मुख्य विशेषताएं
इसमें बेहद उच्च ताप तापमान होता हैऔर टंगस्टन, मोलिब्डेनम और टैंटलम जैसी दुर्दम्य धातुओं के साथ-साथ ऑक्साइड और सिरेमिक जैसी उच्च तापमान स्थिर सामग्री को वाष्पित कर सकता है। यह विभिन्न प्रकार की सामग्रियों पर लागू होता है।
फिल्म में उच्च शुद्धता होती है। सामग्री को सीधे इलेक्ट्रॉन बीम द्वारा गर्म किया जाता है, जो प्रतिरोध हीटिंग तत्वों के संदूषण से मुक्त होता है, जो अशुद्धियों के मिश्रण को कम कर सकता है और फिल्म संरचना की एकरूपता सुनिश्चित कर सकता है।
ऊर्जा घनत्व केंद्रित है, हीटिंग दक्षता अधिक है, यह जल्दी से सामग्री वाष्पीकरण प्राप्त कर सकता है, और ऊर्जा हानि को कम करने के लिए हीटिंग क्षेत्र को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
मुख्य अनुप्रयोग
ऑप्टिक्स के क्षेत्र में: तैयारी उच्च-अंत ऑप्टिकल फिल्में, जैसे लेजर लेंस और इन्फ्रारेड ऑप्टिकल घटकों के लिए उच्च-परावर्तन फिल्में और एंटी-रिफ्लेक्शन फिल्में, साथ ही ऑप्टिकल फिल्टर के लिए मल्टीलेयर फिल्म सिस्टम।
इलेक्ट्रॉनिक्स और सेमीकंडक्टर के क्षेत्र में: सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए इलेक्ट्रोड फिल्में और इन्सुलेटिंग फिल्में का उत्पादन, जैसे कि एकीकृत सर्किट के लिए धातु वायरिंग, चिप पैकेजिंग के लिए पैसिवेशन फिल्में, साथ ही लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले (एलसीडीएस) और ऑर्गेनिक लाइट-एमिटिंग डायोड (ओएलईडीएस) के लिए पारदर्शी प्रवाहकीय फिल्में।
एयरोस्पेस और सैन्य उद्योग में: एयरोस्पेस घटकों और सैन्य इलेक्ट्रॉनिक घटकों के लिए उच्च तापमान प्रतिरोधी, पहनने के लिए प्रतिरोधी और संक्षारण प्रतिरोधी फिल्में लेपित हैं, जैसे अंतरिक्ष यान की सतह पर सुरक्षात्मक फिल्में और मिसाइल मार्गदर्शन प्रणालियों के लिए ऑप्टिकल फिल्में।
अन्य क्षेत्र:सौर कोशिकाओं के लिए इलेक्ट्रोड फिल्मों और बफर परतों की तैयारी के लिए नए ऊर्जा क्षेत्र में उपयोग किया जाता है; इसका उपयोग उच्च-अंत सामग्री के लिए पतली फिल्मों की तैयारी और अनुसंधान के लिए प्रयोगशाला में किया जाता है, साथ ही सटीक उपकरण घटकों की कार्यात्मक कोटिंग के लिए भी किया जाता है
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