Ekipman Tanıtımı
Temel bileşenleri:
bir vakum odası, bir elektron tabancası (elektron ışını emisyon sistemi), bir pota (buharlaşan malzemeleri tutmak için), bir vakum sistemi, bir alt tabaka rafı, bir sıcaklık kontrol ve saptırma sistemi, vb.
Elektron tabancası, yüksek enerjili bir elektron ışını üretir. Odaklandıktan ve saptırıldıktan sonra, buharlaşan malzemenin yüzeyini hassas bir şekilde bombardıman eder. Kinetik enerji, termal enerjiye dönüştürülerek malzemenin erimesine ve buharlaşmasına neden olur. Gaz halindeki parçacıklar, vakum ortamında düz bir çizgide hareket eder ve bir film oluşturmak üzere alt tabaka yüzeyine birikir.
Dirençli buharlaştırmaya kıyasla, ısıtma elemanı ile buharlaşma malzemesi arasındaki temas kirliliğini önler.
Temel Özellikler
Son derece yüksek bir ısıtma sıcaklığına sahiptirve tungsten, molibden ve tantal gibi zor eriyen metallerin yanı sıra oksitler ve seramikler gibi yüksek sıcaklığa dayanıklı malzemeleri de buharlaştırabilir. Çok çeşitli malzemeler için uygundur.
Film yüksek saflıktadır. Malzeme doğrudan bir elektron ışını ile ısıtılır, dirençli ısıtma elemanlarının kirliliğinden arındırılır, bu da safsızlıkların karışımını azaltabilir ve filmin bileşiminin homojenliğini sağlayabilir.
Enerji yoğunluğu yoğundur, ısıtma verimliliği yüksektir,malzeme buharlaşmasını hızla sağlayabilir ve enerji kaybını azaltmak için ısıtma alanı hassas bir şekilde kontrol edilebilir.
Ana Uygulamalar
Optik alanında: Hazırlama üst düzey optik filmler, lazer lensleri ve kızılötesi optik bileşenler için yüksek yansıtma filmleri ve yansıma önleyici filmlerin yanı sıra optik filtreler için çok katmanlı film sistemleri.
Elektronik ve yarı iletken alanında: Yarı iletken cihazlar için elektrot filmleri ve yalıtım filmlerinin üretimi, entegre devreler için metal kablolama, çip paketleme için pasivasyon filmleri ve ayrıca sıvı kristal ekranlar (LCD'ler) ve organik ışık yayan diyotlar (OLED'ler) için şeffaf iletken filmler gibi.
Havacılık ve askeri endüstride: Havacılık bileşenleri ve askeri elektronik bileşenler için yüksek sıcaklığa dayanıklı, aşınmaya dayanıklı ve korozyona dayanıklı filmler kaplanır, örneğin uzay araçlarının yüzeyindeki koruyucu filmler ve füze güdüm sistemleri için optik filmler.
Diğer alanlar: Güneş pilleri için elektrot filmleri ve tampon katmanlarının hazırlanması için yeni enerji sektöründe kullanılır; Yüksek kaliteli malzemeler için ince filmlerin hazırlanması ve araştırılması için laboratuvarda ve ayrıca hassas enstrüman bileşenlerinin fonksiyonel kaplaması için kullanılır
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin