تجهیزات پوشش دهی تبخیر پرتو الکترونی، پوشش نقره ای، طلایی، رزگلد، مشکی

معرفی تجهیزات

اجزای اصلی آن:

یک محفظه خلاء، یک تفنگ الکترونی (سیستم انتشار پرتو الکترونی)، یک بوته (برای نگهداری مواد تبخیر شده)، یک سیستم خلاء، یک قفسه زیرلایه، یک سیستم کنترل دما و انحراف و غیره.

اصل کار:

تفنگ الکترونی یک پرتو الکترونی با انرژی بالا تولید می کند. پس از متمرکز شدن و انحراف، دقیقاً سطح ماده تبخیر شده را بمباران می کند. انرژی جنبشی به انرژی حرارتی تبدیل می شود و باعث ذوب و تبخیر شدن ماده می شود. ذرات گازی در یک خط مستقیم در محیط خلاء حرکت می کنند و روی سطح زیرلایه رسوب می کنند تا یک فیلم تشکیل دهند.

 مزایا

در مقایسه با تبخیر مقاومتی، از آلودگی تماسی بین عنصر گرمایش و ماده تبخیر شده جلوگیری می کند.

ویژگی های اصلی

دمای گرمایش بسیار بالایی داردو می تواند فلزات نسوز مانند تنگستن، مولیبدن و تانتالوم و همچنین مواد پایدار در دمای بالا مانند اکسیدها و سرامیک ها را تبخیر کند. برای طیف گسترده ای از مواد قابل استفاده است.

فیلم خلوص بالایی دارد. ماده مستقیماً توسط یک پرتو الکترونی گرم می شود، عاری از آلودگی عناصر گرمایش مقاومتی است، که می تواند اختلاط ناخالصی ها را کاهش داده و یکنواختی ترکیب فیلم را تضمین کند.

چگالی انرژی متمرکز است، راندمان گرمایش بالا است, می تواند به سرعت به تبخیر مواد دست یابد و ناحیه گرمایش را می توان به طور دقیق کنترل کرد تا تلفات انرژی را کاهش دهد.

کاربردهای اصلی

در زمینه اپتیک: تهیه پیشرفته فیلم های نوری، مانند فیلم های با انعکاس بالا و فیلم های ضد انعکاس برای لنزهای لیزری و اجزای نوری مادون قرمز، و همچنین سیستم های فیلم چند لایه برای فیلترهای نوری.

در زمینه الکترونیک و نیمه هادی ها: تولید فیلم های الکترودی و فیلم های عایق برای دستگاه های نیمه هادی، مانند سیم کشی فلزی برای مدارهای مجتمع، فیلم های غیرفعال سازی برای بسته بندی تراشه، و همچنین فیلم های رسانای شفاف برای نمایشگرهای کریستال مایع (LCDS) و دیودهای ساطع کننده نور آلی (OLEDs).

در صنایع هوافضا و نظامی: فیلم های مقاوم در برابر حرارت بالا، مقاوم در برابر سایش و مقاوم در برابر خوردگی برای اجزای هوافضا و اجزای الکترونیکی نظامی پوشانده می شوند، مانند فیلم های محافظ روی سطح فضاپیماها و فیلم های نوری برای سیستم های هدایت موشکی.

سایر زمینه ها:در بخش انرژی های نو برای تهیه فیلم های الکترودی و لایه های بافر برای سلول های خورشیدی استفاده می شود. در آزمایشگاه برای تهیه و تحقیق در مورد فیلم های نازک برای مواد پیشرفته و همچنین برای پوشش های کاربردی اجزای ابزار دقیق استفاده می شود.