Peralatan Pelapisan Evaporasi Sinar Elektron untuk melapisi Perak, Emas, Rose Gold, Hitam

Pengantar Peralatan

Komponen intinya:

ruang vakum, senapan elektron (sistem emisi berkas elektron), wadah (untuk menampung bahan yang diuapkan), sistem vakum, rak substrat, sistem kontrol suhu dan defleksi, dll. 

Prinsip Kerja:

Senapan elektron menghasilkan berkas elektron berenergi tinggi. Setelah difokuskan dan dibelokkan, berkas tersebut secara tepat membombardir permukaan bahan yang diuapkan. Energi kinetik diubah menjadi energi termal, menyebabkan bahan meleleh dan menguap. Partikel gas bergerak dalam garis lurus di lingkungan vakum dan mengendap di permukaan substrat untuk membentuk film.

 Keuntungan

Dibandingkan dengan penguapan resistansi, ia menghindari kontaminasi kontak antara elemen pemanas dan bahan penguapan.

Fitur utama

Ia memiliki suhu pemanasan yang sangat tinggidan dapat menguapkan logam refraktori seperti tungsten, molibdenum, dan tantalum, serta bahan stabil suhu tinggi seperti oksida dan keramik. Ini berlaku untuk berbagai bahan.

Film memiliki kemurnian tinggi. Bahan dipanaskan langsung oleh berkas elektron, bebas dari kontaminasi elemen pemanas resistansi, yang dapat mengurangi campuran kotoran dan memastikan keseragaman komposisi film.

Kepadatan energi terkonsentrasi, efisiensi pemanasan tinggi, ia dapat dengan cepat mencapai penguapan bahan, dan area pemanasan dapat dikontrol secara tepat untuk mengurangi kehilangan energi.

Aplikasi utama

Di bidang optik: Mempersiapkan kelas atas film optik, seperti film reflektifitas tinggi dan film anti-refleksi untuk lensa laser dan komponen optik inframerah, serta sistem film multilayer untuk filter optik.

Di bidang elektronik dan semikonduktor: Produksi film elektroda dan film isolasi untuk perangkat semikonduktor, seperti kabel logam untuk sirkuit terpadu, film pasivasi untuk pengemasan chip, serta film konduktif transparan untuk tampilan kristal cair (LCD) dan dioda pemancar cahaya organik (OLED).

Di industri dirgantara dan militer: Film tahan suhu tinggi, tahan aus, dan tahan korosi dilapisi untuk komponen dirgantara dan komponen elektronik militer, seperti film pelindung pada permukaan pesawat ruang angkasa dan film optik untuk sistem pemandu rudal.

Bidang lainnya: Digunakan di sektor energi baru untuk persiapan film elektroda dan lapisan penyangga untuk sel surya; Digunakan di laboratorium untuk persiapan dan penelitian film tipis untuk bahan kelas atas, serta untuk pelapisan fungsional komponen instrumen presisi