Equipamento de revestimento por evaporação com feixe de eletrões para revestimento de prata, ouro, ouro rosa, preto

Introdução do Equipamento

Seus componentes principais:

uma câmara de vácuo, uma pistola de elétrons (sistema de emissão de feixe de elétrons), um cadinho (para conter os materiais evaporados), um sistema de vácuo, um suporte de substrato, um sistema de controle de temperatura e deflexão, etc. 

Princípio de Funcionamento:

A pistola de elétrons gera um feixe de elétrons de alta energia. Após o foco e a deflexão, ele bombardeia com precisão a superfície do material evaporado. A energia cinética é convertida em energia térmica, fazendo com que o material derreta e vaporize. As partículas gasosas se movem em linha reta em um ambiente de vácuo e se depositam na superfície do substrato para formar um filme.

 Vantagens

Comparado com a evaporação por resistência, evita a contaminação por contato entre o elemento de aquecimento e o material de evaporação.

Características principais

Possui uma temperatura de aquecimento extremamente altae pode evaporar metais refratários como tungstênio, molibdênio e tântalo, bem como materiais estáveis ​​a altas temperaturas, como óxidos e cerâmicas. É aplicável a uma ampla gama de materiais.

O filme tem alta pureza. O material é aquecido diretamente por um feixe de elétrons, livre da contaminação dos elementos de aquecimento por resistência, o que pode reduzir a mistura de impurezas e garantir a uniformidade da composição do filme.

A densidade de energia é concentrada, a eficiência de aquecimento é alta, pode atingir rapidamente a vaporização do material, e a área de aquecimento pode ser precisamente controlada para reduzir a perda de energia.

Principais aplicações

No campo da óptica: Preparação de filmes ópticos de alta qualidade

, como filmes de alta refletividade e filmes antirreflexo para lentes de laser e componentes ópticos infravermelhos, bem como sistemas de filmes multicamadas para filtros ópticos.No campo da eletrônica e semicondutores:

A produção de filmes de eletrodos e filmes isolantes para dispositivos semicondutores, como fiação metálica para circuitos integrados, filmes de passivação para embalagem de chips, bem como filmes condutores transparentes para telas de cristal líquido (LCDS) e diodos orgânicos emissores de luz (OLEDs).Na indústria aeroespacial e militar:

Filmes resistentes a altas temperaturas, resistentes ao desgaste e à corrosão são revestidos para componentes aeroespaciais e componentes eletrônicos militares, como filmes protetores na superfície de espaçonaves e filmes ópticos para sistemas de orientação de mísseis.Outras áreas: