Équipement de revêtement par évaporation par faisceau d'électrons, revêtement Argent, Or, Or rose, Noir

Introduction de l'équipement

Ses principaux composants :

une chambre à vide, un canon à électrons (système d'émission de faisceau d'électrons), un creuset (pour contenir les matériaux évaporés), un système de vide, un support de substrat, un système de contrôle de la température et de déflexion, etc. 

Principe de fonctionnement :

Le canon à électrons génère un faisceau d'électrons de haute énergie. Après focalisation et déflexion, il bombarde avec précision la surface du matériau évaporé. L'énergie cinétique est convertie en énergie thermique, ce qui fait fondre et se vaporiser le matériau. Les particules gazeuses se déplacent en ligne droite dans un environnement sous vide et se déposent sur la surface du substrat pour former un film.

 Avantages

Comparé à l'évaporation par résistance, il évite la contamination par contact entre l'élément chauffant et le matériau d'évaporation.

Caractéristiques principales

Il possède une température de chauffage extrêmement élevéeet peut évaporer des métaux réfractaires tels que le tungstène, le molybdène et le tantale, ainsi que des matériaux stables à haute température comme les oxydes et les céramiques. Il est applicable à une large gamme de matériaux.

Le film a une grande pureté.Le matériau est chauffé directement par un faisceau d'électrons, sans la contamination des éléments chauffants par résistance, ce qui peut réduire le mélange d'impuretés et assurer l'uniformité de la composition du film.

La densité énergétique est concentrée, l'efficacité du chauffage est élevée,il peut rapidement atteindre la vaporisation du matériau, et la zone de chauffage peut être contrôlée avec précision pour réduire les pertes d'énergie.

Applications principales

Dans le domaine de l'optique :Préparation de films optiques haut de gamme tels que les films à haute réflectivité et les films antireflet pour les lentilles laser et les composants optiques infrarouges, ainsi que les systèmes de films multicouches pour les filtres optiques.

Dans le domaine de l'électronique et des semi-conducteurs :La production de films d'électrodes et de films isolants pour les dispositifs à semi-conducteurs, tels que le câblage métallique pour les circuits intégrés, les films de passivation pour l'encapsulation des puces, ainsi que les films conducteurs transparents pour les écrans à cristaux liquides (LCD) et les diodes électroluminescentes organiques (OLED).

Dans l'industrie aérospatiale et militaire :Des films résistants aux hautes températures, à l'usure et à la corrosion sont appliqués sur les composants aérospatiaux et les composants électroniques militaires, tels que les films protecteurs sur la surface des engins spatiaux et les films optiques pour les systèmes de guidage de missiles.

Autres domaines :Utilisé dans le secteur des nouvelles énergies pour la préparation de films d'électrodes et de couches tampons pour les cellules solaires ; Il est utilisé en laboratoire pour la préparation et la recherche de films minces pour les matériaux haut de gamme, ainsi que pour le revêtement fonctionnel des composants d'instruments de précision