Elektronenbundelverdampingscoatingapparatuur voor het coaten van zilver, goud, roségoud, zwart

Apparatuur Introductie

De belangrijkste componenten:

een vacuümkamer, een elektronenkanon (elektronenbundel emissiesysteem), een smeltkroes (voor het vasthouden van verdampte materialen), een vacuümsysteem, een substraatrek, een temperatuurregeling en deflectiesysteem, etc. 

Werkingsprincipe:

Het elektronenkanon genereert een hoogenergetische elektronenbundel. Na focussering en deflectie bombardeert deze nauwkeurig het oppervlak van het verdampte materiaal. De kinetische energie wordt omgezet in thermische energie, waardoor het materiaal smelt en verdampt. De gasvormige deeltjes bewegen in een rechte lijn in een vacuümomgeving en slaan neer op het substraatoppervlak om een film te vormen.

 Voordelen

In vergelijking met weerstandsverdamping vermijdt het het contactvervuiling tussen het verwarmingselement en het verdampingsmateriaal.

Belangrijkste kenmerken

Het heeft een extreem hoge verwarmingstemperatuuren kan vuurvaste metalen zoals wolfraam, molybdeen en tantaal verdampen, evenals hoogtemperatuurstabiele materialen zoals oxiden en keramiek. Het is toepasbaar op een breed scala aan materialen.

De film heeft een hoge zuiverheid.Het materiaal wordt direct verwarmd door een elektronenbundel, vrij van de verontreiniging van weerstandsverwarmingselementen, wat het mengen van onzuiverheden kan verminderen en de uniformiteit van de filmsamenstelling kan waarborgen.

De energiedichtheid is geconcentreerd, de verwarmingsefficiëntie is hoog,het kan snel materiaalverdamping bereiken en het verwarmingsgebied kan nauwkeurig worden gecontroleerd om energieverlies te verminderen.

Belangrijkste toepassingen

Op het gebied van optica: Het bereiden van hoogwaardige optische films, zoals hoogreflecterende films en antireflectiefilms voor las lenzen en infrarood optische componenten, evenals meerlaagse filmsystemen voor optische filters.

Op het gebied van elektronica en halfgeleiders:De productie van elektrodefilms en isolatiefilms voor halfgeleiderapparaten, zoals metalen bedrading voor geïntegreerde circuits, passivatiefilms voor chipverpakkingen, evenals transparante geleidende films voor liquid crystal displays (LCD's) en organic light-emitting diodes (OLED's).

In de ruimtevaart- en militaire industrie:Hoogtemperatuurbestendige, slijtvaste en corrosiebestendige films worden gecoat voor ruimtevaartcomponenten en militaire elektronische componenten, zoals beschermende films op het oppervlak van ruimtevaartuigen en optische films voor geleidingssystemen voor raketten.

Andere gebieden:Gebruikt in de nieuwe energiesector voor de bereiding van elektrodefilms en bufferlagen voor zonnecellen; Het wordt gebruikt in het laboratorium voor de bereiding en het onderzoek van dunne films voor hoogwaardige materialen, evenals voor functionele coating van precisie-instrumentcomponenten