Apparecchiatura di rivestimento a evaporazione con fascio di elettroni per rivestimento Argento, Oro, Oro rosa, Nero

Introduzione all'attrezzatura

I suoi componenti principali:

una camera a vuoto, una pistola a elettroni (sistema di emissione del fascio di elettroni), un crogiolo (per contenere i materiali evaporati), un sistema a vuoto, un supporto per substrato, un sistema di controllo della temperatura e di deflessione, ecc. 

Principio di funzionamento:

La pistola a elettroni genera un fascio di elettroni ad alta energia. Dopo la focalizzazione e la deflessione, bombarda con precisione la superficie del materiale evaporato. L'energia cinetica viene convertita in energia termica, causando la fusione e la vaporizzazione del materiale. Le particelle gassose si muovono in linea retta in un ambiente sottovuoto e si depositano sulla superficie del substrato per formare un film.

 Vantaggi

Rispetto all'evaporazione a resistenza, evita la contaminazione da contatto tra l'elemento riscaldante e il materiale di evaporazione.

Caratteristiche principali

Ha una temperatura di riscaldamento estremamente elevatae può evaporare metalli refrattari come tungsteno, molibdeno e tantalio, nonché materiali stabili ad alta temperatura come ossidi e ceramiche. È applicabile a una vasta gamma di materiali.

Il film ha un'elevata purezza.Il materiale viene riscaldato direttamente da un fascio di elettroni, senza la contaminazione degli elementi riscaldanti a resistenza, il che può ridurre la miscela di impurità e garantire l'uniformità della composizione del film.

La densità di energia è concentrata, l'efficienza di riscaldamento è elevata,può raggiungere rapidamente la vaporizzazione del materiale e l'area di riscaldamento può essere controllata con precisione per ridurre la perdita di energia.

Principali applicazioni

Nel campo dell'ottica: Preparazione di film ottici di fascia alta , come film ad alta riflettività e film antiriflesso per lenti laser e componenti ottici a infrarossi, nonché sistemi di film multistrato per filtri ottici.

Nel campo dell'elettronica e dei semiconduttori:La produzione di film elettrodici e film isolanti per dispositivi a semiconduttore, come cablaggi metallici per circuiti integrati, film di passivazione per l'incapsulamento di chip, nonché film conduttivi trasparenti per display a cristalli liquidi (LCD) e diodi organici a emissione di luce (OLED).

Nel settore aerospaziale e militare:Film resistenti alle alte temperature, all'usura e alla corrosione vengono applicati per componenti aerospaziali e componenti elettronici militari, come film protettivi sulla superficie di veicoli spaziali e film ottici per sistemi di guida missilistica.

Altri campi:Utilizzato nel settore delle nuove energie per la preparazione di film elettrodici e strati tampone per celle solari; Viene utilizzato in laboratorio per la preparazione e la ricerca di film sottili per materiali di fascia alta, nonché per il rivestimento funzionale di componenti di strumenti di precisione