เครื่องเคลือบด้วยการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน เคลือบเงิน, ทอง, โรสโกลด์, ดำ

บทนำอุปกรณ์

ส่วนประกอบหลัก:

ห้องสุญญากาศ, ปืนอิเล็กตรอน (ระบบปล่อยลำแสงอิเล็กตรอน), เบ้าหลอม (สำหรับใส่สารที่ระเหย), ระบบสุญญากาศ, ชั้นวางสารตั้งต้น, ระบบควบคุมอุณหภูมิและการเบี่ยงเบน, ฯลฯ 

หลักการทำงาน:

ปืนอิเล็กตรอนสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูง หลังจากโฟกัสและเบี่ยงเบน ลำแสงจะพุ่งชนพื้นผิวของวัสดุที่ระเหยอย่างแม่นยำ พลังงานจลน์จะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อน ทำให้วัสดุหลอมเหลวและระเหย อนุภาคก๊าซเคลื่อนที่เป็นเส้นตรงในสภาพแวดล้อมสุญญากาศและสะสมบนพื้นผิวสารตั้งต้นเพื่อสร้างฟิล์ม

 ข้อดี

เมื่อเทียบกับการระเหยแบบความต้านทาน จะหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนจากการสัมผัสระหว่างองค์ประกอบความร้อนและวัสดุที่ระเหย

คุณสมบัติหลัก

มีอุณหภูมิความร้อนสูงมากและสามารถระเหยโลหะทนไฟ เช่น ทังสเตน โมลิบดีนัม และแทนทาลัม รวมถึงวัสดุที่เสถียรที่อุณหภูมิสูง เช่น ออกไซด์และเซรามิก เหมาะสำหรับวัสดุหลากหลายชนิด

ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงวัสดุถูกให้ความร้อนโดยตรงด้วยลำแสงอิเล็กตรอน ปราศจากการปนเปื้อนจากองค์ประกอบความร้อนแบบความต้านทาน ซึ่งสามารถลดการผสมของสิ่งเจือปนและรับประกันความสม่ำเสมอขององค์ประกอบฟิล์ม

ความหนาแน่นของพลังงานเข้มข้น ประสิทธิภาพการให้ความร้อนสูงสามารถทำให้วัสดุระเหยได้อย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมพื้นที่ให้ความร้อนได้อย่างแม่นยำเพื่อลดการสูญเสียพลังงาน

การใช้งานหลัก

ในด้านออปติก: การเตรียม ระดับสูง ฟิล์มออปติก เช่น ฟิล์มสะท้อนแสงสูงและฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสงสำหรับเลนส์เลเซอร์และส่วนประกอบออปติกอินฟราเรด รวมถึงระบบฟิล์มหลายชั้นสำหรับตัวกรองแสง

ในด้านอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์:การผลิตฟิล์มอิเล็กโทรดและฟิล์มฉนวนสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น การเดินสายโลหะสำหรับวงจรรวม ฟิล์มพาสซิเวชันสำหรับการบรรจุชิป รวมถึงฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใสสำหรับจอแสดงผลคริสตัลเหลว (LCDS) และไดโอดเปล่งแสงอินทรีย์ (Oleds)

ในอุตสาหกรรมอวกาศและการทหาร: ฟิล์มทนความร้อน ทนต่อการสึกหรอ และทนต่อการกัดกร่อนถูกเคลือบสำหรับส่วนประกอบอวกาศและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ทางทหาร เช่น ฟิล์มป้องกันบนพื้นผิวของยานอวกาศและฟิล์มออปติกสำหรับระบบนำวิถีขีปนาวุธ

สาขาอื่นๆ: ใช้ในภาคพลังงานใหม่สำหรับการเตรียมฟิล์มอิเล็กโทรดและชั้นบัฟเฟอร์สำหรับเซลล์แสงอาทิตย์ ใช้ในห้องปฏิบัติการสำหรับการเตรียมและการวิจัยฟิล์มบางสำหรับวัสดุระดับสูง รวมถึงการเคลือบฟังก์ชันสำหรับส่วนประกอบเครื่องมือวัดความแม่นยำ