Elektronenstrahlverdampfungs-Beschichtungsanlage Beschichtung Silber, Gold, Roségold, Schwarz

Geräteinführung

Seine Kernkomponenten:

eine Vakuumkammer, eine Elektronenkanone (Elektronenstrahlabgabesystem), ein Tiegel (zum Halten der verdampften Materialien), ein Vakuumsystem, ein Substratgestell, ein Temperaturkontroll- und Ablenksystem usw. 

Funktionsprinzip:

Die Elektronenkanone erzeugt einen hochenergetischen Elektronenstrahl. Nach Fokussierung und Ablenkung bombardiert dieser präzise die Oberfläche des verdampften Materials. Die kinetische Energie wird in Wärmeenergie umgewandelt, wodurch das Material schmilzt und verdampft. Die gasförmigen Partikel bewegen sich in einer Vakuumumgebung geradlinig und lagern sich auf der Substratoberfläche ab, um einen Film zu bilden.

 Vorteile

Im Vergleich zur Widerstandsverdampfung vermeidet es die Kontaktkontamination zwischen dem Heizelement und dem Verdampfungsmaterial.

Kernmerkmale

Es hat eine extrem hohe Heiztemperatur und kann hochschmelzende Metalle wie Wolfram, Molybdän und Tantal sowie hochtemperaturstabile Materialien wie Oxide und Keramiken verdampfen. Es ist für eine Vielzahl von Materialien geeignet.

Der Film hat eine hohe Reinheit. Das Material wird direkt durch einen Elektronenstrahl erhitzt, frei von der Kontamination durch Widerstandsheizelemente, wodurch die Vermischung von Verunreinigungen reduziert und die Gleichmäßigkeit der Filmzusammensetzung gewährleistet werden kann.

Die Energiedichte ist konzentriert, der Heizwirkungsgrad ist hoch, es kann schnell eine Materialverdampfung erreichen, und der Heizbereich kann präzise gesteuert werden, um Energieverluste zu reduzieren.

Hauptanwendungen

Im Bereich der Optik: Herstellung von hochwertigen optischen Filmen, wie z. B. hochreflektierenden Filmen und Antireflexionsfilmen für Laserlinsen und Infrarot-Optikkomponenten sowie Mehrschichtfilmsysteme für optische Filter.

Im Bereich der Elektronik und Halbleiter: Die Herstellung von Elektrodenfilmen und Isolationsfilmen für Halbleiterbauelemente, wie z. B. Metallverdrahtung für integrierte Schaltkreise, Passivierungsfilme für Chipverpackungen sowie transparente leitfähige Filme für Flüssigkristallanzeigen (LCDs) und organische Leuchtdioden (OLEDs).

In der Luft- und Raumfahrt- und Militärindustrie: Hochtemperatur-, verschleißfeste und korrosionsbeständige Filme werden für Luft- und Raumfahrtkomponenten und militärische elektronische Komponenten beschichtet, wie z. B. Schutzfilme auf der Oberfläche von Raumfahrzeugen und optische Filme für Lenksysteme von Raketen.

Andere Bereiche:Wird im neuen Energiesektor zur Herstellung von Elektrodenfilmen und Pufferschichten für Solarzellen verwendet; Es wird im Labor für die Herstellung und Forschung von Dünnschichten für hochwertige Materialien sowie für die Funktionsbeschichtung von Präzisionsinstrumentenkomponenten verwendet