| Vakum Sistemi | Nihai vakum ≤ 5*10⁻⁴ Pa |
| Buharlaştırma Kaynağı Türü | Dirençli ısıtma (çoklu tungsten tekneler) + isteğe bağlı elektron demeti ısıtma |
| Kaplama Oranı | Dirençli buharlaştırma: 50-200 nm/dak; Elektron demeti buharlaştırma: 30-150 nm/dak |
| Maksimum İş Parçası Boyutu | Maksimum çap ≤ 1200 mm (özelleştirilebilir) |
| Film Kalınlığı Tekdüzelik | Düz alt tabakalar için ±%3-%5; karmaşık kavisli yüzeyler için ±%8-%10 (iş parçası döndürme yoluyla optimize edilmiştir) |
| Kontrol Yöntemi | PLC otomatik kontrol, tarif saklama ve uzaktan izlemeyi destekler |
| Çevresel Performans | Atık su veya egzoz emisyonu yok, RoHS ve REACH standartlarına uygundur |
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin