マグネトロンスプッター光学コーティング装置
グラス,プラスチック,金属などの2D / 2.5D / 3D基板に高精度光学フィルムをコーティングするために広く使用されています.UV / IRカットオフフィルター,バンドパスフィルター,RGBフィルター,LiDAR,ARフィルムハードARフィルム,ハードフィルム (SiNまたはDLC),HRフィルム,AS/AFフィルム,ダイレクトフィルム,透明伝導フィルム (ITO),金属フィルム (タンタル,チタン,アルミ,クロム,銅),装飾フィルム (CrN)半導体 (無形シリコン,ポリシリコン) など
この機器シリーズは金属モードのスプッター技術と高反応性プラズマ源の組み合わせを採用している.負荷ロック室は,自動基板移転のための操作器を装備. 量産における均一性は,高品質の生産を保証する ± 1%未満です. 特許のRF-ICP / CCPイオンソースは,幅広い作業範囲,バランスの取れたエネルギー,高いイオン化率,安定した運用効率フィルム品質を向上させるため,基板を清掃し,コーティングを支援します.
私たちは完全な光学コーティングソリューションを提供しています. AR,ハードDLC,水害,AF,AS,ITO,HRなどの様々な高性能光学フィルムを効率的に作成するサポート,DLC+AR+AFのような多機能の多層フィルムです