Urządzenia do powlekania optycznego z wykorzystaniem magnetronu
Jest powszechnie stosowany do powlekania wysokiej precyzji filmów optycznych na podłogach 2D / 2.5D / 3D, takich jak szkło, plastik i metal.Filmy AR, twardych folii AR, twardych folii (SiN lub DLC), folii HR, folii AS / AF, folii dielektrycznych, przezroczystych folii przewodzących (ITO), folii metalowych (tantal, tytan, aluminium, chrom, miedź),filmy dekoracyjne (CrN), CrON), półprzewodników (krzem amorficzny, polikrzem) itp.
Niniejsza seria urządzeń wykorzystuje połączenie technologii rozpylania metalowego i źródeł plazmy o wysokiej reaktywności.Komora blokująca obciążenie jest wyposażona w manipulator do automatycznego przenoszenia podłożaPatentowane źródło jonowe RF-ICP / CCP posiada szeroki zakres pracy, zrównoważoną energię, wysoki współczynnik jonizacji,stabilna wydajność operacyjnaMoże oczyszczać podłoże i wspomagać powłokę w celu poprawy jakości folii.
Oferujemy pełne rozwiązania powłoki optycznej. Wspieramy w efektywnym tworzeniu różnych wysokiej wydajności filmów optycznych, takich jak AR, twardy DLC, hydrofobowy, AF, AS, ITO, HR,i nawet wielofunkcyjne, wielowarstwowe filmy, takie jak DLC+AR+AF
Powierzchnia skuteczna ((mm)
|
|
|
|
|
|
|
|
10 ~ 50 obrotów na minutę
|
|
|
|
|
|
|
Źródło parowania AF/AS w linii
|
AS/AF termiczny w linii wewnętrznej
|
|
|
|
|
|