마그네트론 스프터링 광학 코팅 장비
그것은 유리, 플라스틱 및 금속과 같은 2D / 2.5D / 3D 기판에 고 정밀 광 필름을 코팅하는 데 널리 사용됩니다. 그것은 UV / IR 절단 필터, 대역 통과 필터, RGB 필터, LiDAR,AR 필름, 단단한 AR 필름, 단단한 필름 (SiN 또는 DLC), HR 필름, AS / AF 필름, 다이 일렉트릭 필름, 투명한 전도성 필름 (ITO), 금속 필름 (탄탈, 티타늄, 알루미늄, 크롬, 구리),장식 필름 (CrN), CrON), 반도체 (무형 실리콘, 폴리실리콘) 등
이 장비 시리즈는 금속 모드 스프터링 기술과 고 반응성 플라즈마 소스를 결합합니다.로드 잠금 챔버는 자동 기판 전송을 위한 조작 장치가 장착되어 있습니다대량 생산에서 균일성은 고품질의 생산을 보장하는 ± 1% 미만입니다. 특허 RF-ICP / CCP 이온 소스는 넓은 작업 범위, 균형 에너지, 높은 이온화율,안정적인 운영 효율성, 그리고 낮은 에너지 소비. 그것은 기판을 청소하고 필름 품질을 향상시키기 위해 코팅을 지원 할 수 있습니다.
우리는 완전한 광학 코팅 솔루션을 제공합니다. AR, 하드 DLC, 수소공, AF, AS, ITO, HR,심지어는 DLC+AR+AF 같은 다기능 다층 필름도 있습니다.