Magnetronsputtering optische coating apparatuur
Het wordt veel gebruikt voor het coachen van hoge-precisie optische films op 2D / 2.5D / 3D-substraten zoals glas, plastic en metaal.AR films, harde AR-films, harde films (SiN of DLC), HR-films, AS/AF-films, dielectrische films, transparante geleidende films (ITO), metaalfilms (tantalum, titanium, aluminium, chroom, koper),decoratieve films (CrN), CrON), halfgeleiders (amorf silicium, polysilicium), enz.
Deze apparatuurreeks gebruikt een combinatie van sputteringstechnologie met metaalmodus en hoogreactieve plasmabronnen.De ladingsluikkamer is uitgerust met een manipulator voor automatische overbrenging van het substraatDe gepatenteerde RF-ICP / CCP-ionbron heeft een breed werkbereik, een evenwichtige energie, een hoge ioniseringssnelheid, een hoge spanning, een hoge spanning en een hoge spanning.stabiele bedrijfsprestatiesHet kan onderdelen reinigen en de coating ondersteunen om de filmkwaliteit te verbeteren.
Wij bieden volledige optische coatingsoplossingen. Wij ondersteunen u bij het efficiënt maken van verschillende hoogwaardige optische films zoals AR, harde DLC, hydrofobische, AF, AS, ITO, HR,en zelfs multifunctionele multi-layer films zoals DLC + AR + AF
Effectieve oppervlakte ((mm)
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Inline AF/AS-verdampingsbron
|
|
|
|
|
|
|