Ausrüstung für die optische Beschichtung mit Magnetron-Sputter
Es wird häufig verwendet, um hochpräzise optische Filme auf 2D / 2.5D / 3D-Substrate wie Glas, Kunststoff und Metall zu beschichten.AR-Filme, harte AR-Filme, harte Filme (SiN oder DLC), HR-Filme, AS/AF-Filme, dielektrische Filme, transparente leitfähige Filme (ITO), Metallfilme (Tantal, Titan, Aluminium, Chrom, Kupfer),Dekorationsfolien (CrN), CrON), Halbleiter (amorphes Silizium, Polysilizium) usw.
Diese Ausrüstungsreihe verwendet eine Kombination aus Metall-Modus-Sputtertechnologie und hochreaktiven Plasmaquellen.Die Ladungssperrkammer ist mit einem Manipulator für die automatische Übertragung des Substrats ausgestattet.. Die Einheitlichkeit bei der Massenproduktion beträgt weniger als ± 1%, was eine qualitativ hochwertige Produktion gewährleistet.stabile BetriebseffizienzEs kann Substrate reinigen und die Beschichtung unterstützen, um die Filmqualität zu verbessern.
Wir bieten eine vollständige optische Beschichtungslösung an, die Sie bei der effizienten Erstellung verschiedener leistungsstarker optischer Filme wie AR, Hard DLC, hydrophob, AF, AS, ITO, HR,und sogar multifunktionale, mehrschichtige Filme wie DLC+AR+AF
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Die in Absatz 1 genannten Daten sind in Anhang I der Verordnung (EU) Nr. 1095/2010 enthalten.
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Inline AF/AS Verdunstungsquelle
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Thermische Einleitungs-AS/AF
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