Impulse-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage für die Beschichtung von Gläsern

Es besteht aus einem Impuls-Stromversorgungsmodul, einer Magnetron-Sputterkammer, einem Zielmaterial, einem Vakuumsystem, einer Substratübertragungs- und Temperaturregelungseinheit,sowie ein Online-Überwachungssystem, usw.

Durch die Ausgabe einer Pulsspannung mit einer Frequenz zwischen 10 und 350 kHz wird das Zielsputtern im Negativspannungsstadium erreicht.und Elektronen werden in der positiven Spannungsstufe eingeführt, um die angesammelten positiven Ladungen auf der Zieloberfläche zu neutralisierenWährend des Betriebs wird die Kammer zunächst in ein Vakuum evakuiert und Arbeitsgase wie Argon eingeführt.Unter den Einschränkungen des MagnetfeldesDas Plasma bombardiert das Zielmaterial, wodurch sich die Atome oder Moleküle des Zielmaterials lösen und sich auf der Oberfläche des Substrats ablagern, um einen Film zu bilden.

Die Ausrüstung kann Kernparameter wie Pulsfrequenz, Arbeitszyklus und Spitzenleistung präzise anpassen und sich an verschiedene Zielmaterialien und Beschichtungsanforderungen anpassen.Die Wärmeerzeugung des Zielmaterials und die Sputterrate können ebenfalls ausgeglichen werden.Einige High-End-Modelle können eine Pulsfrequenz von bis zu 150 kHz erreichen, was den Ablagerungsanforderungen komplexer Filmlagen gerecht werden kann.

Es kann nicht nur Metallziele wie Ti und Al behandeln, sondern auch durch bidirektionale Impulse oder mittelfrequente Wechselstrommodi ein stabiles Sputtern von Isolierziele wie Al2O3 und TiO2 erreichen.Außerdem, kann das Niedertemperaturprozessdesign an verschiedene Materialsubstrate wie Glas, Kunststoff und PET angepasst werden,und eignet sich besonders für die Beschichtung hitzeempfindlicher Substrate wie flexible OLEDs.

Mainstream-Modelle sind mit mehreren integrierten Vakuummanipulatoren, Online-Filmdickenüberwachung und automatischen Ausrichtungssystemen ausgestattet, die eine kontinuierliche Produktion in mehreren Kammern unterstützen.

Der regelmäßige Betriebsmodus der Impulsstromversorgung kann die Lichtbogenentladung auf der Zieloberfläche wirksam unterdrücken und Filmfehler reduzieren.Hochleistungsimpulse können hochdünstes Plasma erzeugen, wodurch die Filmschicht dichter wird.

Die Zielmaterialnutzungsrate der Ausrüstung kann von 20% auf 45% erhöht, der Zielmaterialverbrauch um 40% reduziert werden,und die Kosten für die Verwendung seltener Metalle wie ITO um 30% gesenkt werden können.Darüber hinaus kann die Ablagerungsgeschwindigkeit 10 nm/s erreichen, was die Produktionseffizienz erheblich verbessert.

Bei der Ablagerung von Oxid-, Nitrid- und anderen Zusammengesetzungsfolien kann das auf der Zieloberfläche adsorbierte Reaktionsgas während des Pulsintervalls desorbiert werden.Verhinderung der Bildung einer Isolationsschicht auf der Zieloberfläche und Lösung des Problems der Zielvergiftung beim traditionellen Gleichspannungsmagnetron-Sputtern, wodurch das Sputtern nicht nachhaltig ist.

Es ist die Kernausrüstung für die Beschichtung von Bildschirmen und kann auch ITO-transparente leitfähige Filme herstellen, um die Bedürfnisse von Mobiltelefonschirmen usw. zu erfüllen.

Auf der Oberfläche von Schneidwerkzeugen und Formen können harte Beschichtungen wie TiN und CrN abgelegt werden, um deren Verschleißfestigkeit und Lebensdauer zu erhöhen.

Der zentrale Steuerbildschirm ist mit einem wechselnden mehrschichtigen antireflektiven Film aus SiO2 und TiO2 ausgestattet,mit einem Durchmesser von mehr als 20 mm,.

Es eignet sich für die hochpräzise Herstellung optischer Filme wie Anti-Reflexions- und Reflektionsfolien und kann auch die für Halbleitergeräte erforderlichen funktionalen Beschichtungen absetzen.