أجهزة طلاء البولس المغناطيسية للطلاء الزجاجي آلة طلاء الفراغ

وهي تتكون من وحدة تزويد الطاقة النبضية، وغرفة رش الماغنيترون، وتجميع مادة الهدف، ونظام تفريغ الهواء، ووحدة نقل الركيزة والتحكم في درجة الحرارة، بالإضافة إلى نظام المراقبة عبر الإنترنت، وما إلى ذلك.

عن طريق إخراج جهد نبضي بتردد يتراوح من 10 إلى 350 كيلو هرتز، يتم تحقيق رش الهدف في مرحلة الجهد السالب، ويتم إدخال الإلكترونات في مرحلة الجهد الموجب لتحييد الشحنات الموجبة المتراكمة على سطح الهدف. أثناء التشغيل، يتم أولاً إخلاء الغرفة إلى فراغ ويتم إدخال غازات العمل مثل الأرجون. بعد أن تقوم وحدة تزويد الطاقة النبضية بتطبيق الجهد، يتأين الغاز لتكوين البلازما. تحت قيود المجال المغناطيسي، تقصف البلازما مادة الهدف، مما يتسبب في انفصال ذرات أو جزيئات مادة الهدف وترسبها على سطح الركيزة لتكوين فيلم.

يمكن للمعدات ضبط المعلمات الأساسية بدقة مثل تردد النبض ودورة العمل والقدرة القصوى، والتكيف مع مواد الهدف المختلفة ومتطلبات الطلاء. عن طريق ضبط دورة العمل، يمكن أيضًا تحقيق التوازن بين توليد الحرارة لمادة الهدف ومعدل الرش. يمكن لبعض الطرز المتطورة تحقيق تردد نبضي يصل إلى 150 كيلو هرتز، والذي يمكنه تلبية متطلبات الترسيب لطبقات الأفلام المعقدة.

لا يمكنه فقط التعامل مع أهداف معدنية مثل Ti و Al، ولكنه يحقق أيضًا رشًا مستقرًا لأهداف عازلة مثل Al₂O₃ و TiO₂ من خلال أوضاع النبض ثنائي الاتجاه أو التيار المتردد متوسط التردد. علاوة على ذلك، يمكن تكييف تصميم العملية منخفضة الحرارة مع ركائز المواد المختلفة مثل الزجاج والبلاستيك و PET، وهو مناسب بشكل خاص لطلاء الركائز الحساسة للحرارة مثل OLEDs المرنة.

تم تجهيز النماذج السائدة بآليات تفريغ هواء متكاملة متعددة، ومراقبة سمك الفيلم عبر الإنترنت، وأنظمة محاذاة تلقائية، ودعم الإنتاج المستمر في غرف متعددة.

يمكن لوضع العمل الدوري لوحدة تزويد الطاقة النبضية أن يمنع بشكل فعال تفريغ القوس على سطح الهدف ويقلل من عيوب الفيلم. في الوقت نفسه، يمكن للنبضات عالية الطاقة أن تولد بلازما عالية الكثافة، مما يجعل طبقة الفيلم أكثر كثافة.

يمكن زيادة معدل استخدام مادة الهدف للمعدات من 20٪ إلى 45٪، ويمكن تقليل استهلاك مادة الهدف بنسبة 40٪، ويمكن تقليل تكلفة استخدام المعادن النادرة مثل ITO بنسبة 30٪. علاوة على ذلك، يمكن أن يصل معدل الترسيب إلى 10 نانومتر/ثانية، مما يعزز بشكل كبير كفاءة الإنتاج.

أثناء ترسيب الأكاسيد والنيتريدات والأفلام المركبة الأخرى، يمكن إزالة الغاز المتفاعل الممتص على سطح الهدف أثناء الفاصل الزمني للنبض، مما يمنع تكوين طبقة عازلة على سطح الهدف وحل مشكلة تسمم الهدف في رش الماغنيترون DC التقليدي الذي يجعل الرش غير مستدام.

إنها المعدات الأساسية لطلاء شاشة العرض ويمكنها أيضًا إعداد أغشية ITO شفافة موصلة لتلبية احتياجات شاشات اللمس للهواتف المحمولة، إلخ.

يمكن ترسيب الطلاءات الصلبة مثل TiN و CrN على سطح أدوات القطع والقوالب لتعزيز مقاومتها للتآكل وعمر الخدمة.

تم تجهيز شاشة التحكم المركزية بغشاء مضاد للانعكاس متعدد الطبقات من SiO₂ و TiO₂، مما يعزز الرؤية بنسبة 40٪ في الضوء الساطع ويمكنه تحمل درجات حرارة قصوى تتراوح من -40 درجة مئوية إلى 85 درجة مئوية.

إنه مناسب للإعداد عالي الدقة للأفلام البصرية مثل الأفلام المضادة للانعكاس والأفلام العاكسة، ويمكنه أيضًا ترسيب الطلاءات الوظيفية المطلوبة لأجهزة أشباه الموصلات.