Pulse magnetron püskürtme kaplama cihazı cam kaplama için menatal pvd vakum kaplama makinesi

Bir impuls güç kaynağı modülünden, bir magnetron püskürtme odasından, bir hedef malzeme montajından, bir vakum sisteminden, bir alt katman iletim ve sıcaklık kontrol ünitesinden oluşur.Ayrıca bir çevrimiçi izleme sistemi, vb.

10 ila 350 kHz arasında bir frekansta bir darbe voltajı çıkartarak, negatif voltaj aşamasında hedef püskürtme elde edilir.ve elektronlar hedef yüzeydeki birikmiş pozitif yükleri etkisiz hale getirmek için pozitif voltaj aşamasına sokulurÇalışma sırasında, oda önce bir vakuma boşaltılır ve argon gibi çalışma gazları girer.Manyetik alanın baskısı altında, plazma hedef malzemeyi bombalar, hedef malzemenin atomlarının veya moleküllerinin bir film oluşturmak için altyapının yüzeyinde ayrılmasına ve birikmesine neden olur.

Ekipman, farklı hedef malzemelere ve kaplama gereksinimlerine uyum sağlayarak, darbeler sıklığı, çalışma döngüsü ve en yüksek güç gibi temel parametreleri hassas bir şekilde ayarlayabilir.Hedef malzemenin ısı üretimi ve püskürme hızı da dengelenir.Bazı üst düzey modeller, karmaşık film katmanlarının çökme gereksinimlerini karşılayabilen 150kHz'e kadar bir darbeler frekansına ulaşabilir.

Sadece Ti ve Al gibi metal hedefleri işleyebilir, aynı zamanda iki yönlü darbeler veya orta frekanslı AC modları yoluyla Al2O3 ve TiO2 gibi yalıtım hedeflerinin istikrarlı püskürtülmesini de sağlayabilir.Ayrıca, düşük sıcaklıklı işlem tasarımı cam, plastik ve PET gibi farklı malzeme altyapılarına uyarlanabilir,ve esnek OLED'ler gibi ısıya duyarlı altyapıları kaplamak için özellikle uygundur.

Ana akım modeller, birden fazla entegre vakum manipülatörü, çevrimiçi film kalınlığı izleme ve birden fazla odada sürekli üretimi destekleyen otomatik hizalama sistemleriyle donatılmıştır.

Dövme güç kaynağının periyodik çalışma modu, hedef yüzeydeki yay boşalmasını etkili bir şekilde bastırabilir ve film kusurlarını azaltabilir.Yüksek güçlü darbeler yüksek yoğunluklu plazma üretebilir, film katmanını daha yoğun hale getirir.

Ekipmanın hedef malzeme kullanım oranı %20'den %45'e yükseltilebilir, hedef malzeme tüketimi %40 azaltabilir,Ve ITO gibi nadir metallerin kullanımı maliyeti %30 azaltabilir.Ayrıca, depolama hızı 10nm/s'ye ulaşabilir ve üretim verimliliğini önemli ölçüde artırabilir.

Oksit, nitrit ve diğer bileşik filmlerin çökmesi sırasında, hedef yüzeyde adsorbe edilen reaksiyon gazı, darbeler aralığında desorbe edilebilir.hedef yüzeyinde yalıtım katmanının oluşumunu önlemek ve püskürtmeyi sürdürülemez kılan geleneksel DC magnetron püskürtmesinde hedef zehirlenme sorununu çözmek.

Ekran ekran kaplamaları için temel ekipmandır ve ayrıca cep telefonu dokunmatik ekranlarının ihtiyaçlarını karşılamak için ITO şeffaf iletken filmler de hazırlayabilir.

TiN ve CrN gibi sert kaplamalar, aşınma direncini ve kullanım süresini artırmak için kesme araçlarının ve kalıpların yüzeyine yerleştirilebilir.

Merkezi kontrol ekranı, SiO2 ve TiO2'den oluşan alternatif çok katmanlı yansıtıcı filmle donatılmıştır.Güçlü ışık altında görünürlüğü %40 arttırır ve -40 °C ila 85 °C arasında aşırı sıcaklıklara dayanabilir.

Yansıtma karşıtı filmler ve yansıtıcı filmler gibi optik filmlerin yüksek hassasiyetle hazırlanması için uygundur ve ayrıca yarı iletken cihazlar için gerekli fonksiyonel kaplamaları depolayabilir.