Apparecchiature di rivestimento ottico a sputtering magnetronico
È ampiamente utilizzato per rivestire film ottici ad alta precisione su substrati 2D / 2.5D / 3D come vetro, plastica e metallo.Film AR, pellicole AR dure, pellicole dure (SiN o DLC), pellicole HR, pellicole AS/AF, pellicole dielettriche, pellicole conducenti trasparenti (ITO), pellicole metalliche (tantallo, titanio, alluminio, cromo, rame),film decorativi (CrN), CrON), semiconduttori (silicio amorfo, polisilicio), ecc.
Questa serie di apparecchi adotta una combinazione di tecnologia di sputtering in modalità metallica e fonti di plasma ad alta reattività.La camera di blocco del carico è dotata di un manipolatore per il trasferimento automatico del substratoL'uniformità nella produzione di massa è inferiore a ± 1%, garantendo una produzione di alta qualità.efficienza operativa stabilePuò pulire i substrati e assistere il rivestimento per migliorare la qualità del film.
Offriamo una soluzione completa di rivestimento ottico. Vi supportiamo nella creazione efficiente di vari film ottici ad alte prestazioni come AR, DLC duro, idrofobo, AF, AS, ITO, HR,e persino film multifunzionale a più strati come DLC+AR+AF
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Fonte di evaporazione AF/AS in linea
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