Оборудование для оптического покрытия с магнитронным распыливанием
Широко используется для покрытия высокоточных оптических пленок на 2D / 2.5D / 3D субстратах, таких как стекло, пластик и металл.AR-фильмы, жесткие AR-пленки, жесткие пленки (SiN или DLC), HR-пленки, AS / AF-пленки, диэлектрические пленки, прозрачные проводящие пленки (ITO), металлические пленки (тантал, титан, алюминий, хром, медь),декоративные пленки (CrN), CrON), полупроводники (аморфный кремний, поликремний) и т.д.
Эта серия оборудования использует комбинацию технологии металлического распыливания и высокореактивных плазменных источников.Камера блокировки нагрузки оснащена манипулятором для автоматического переноса подложкиОднородность в массовом производстве составляет менее ± 1%, что обеспечивает высокое качество производства.стабильная эксплуатационная эффективностьОн может очищать субстраты и помогать покрытию для улучшения качества пленки.
Мы предлагаем полное решение оптического покрытия. Поддерживаем вас в эффективном создании различных высокопроизводительных оптических пленок, таких как AR, жесткий DLC, гидрофобный, AF, AS, ITO, HR,и даже многофункциональные многослойные фильмы, такие как DLC + AR + AF
Эффективная площадь ((мм)
|
|
|
|
|
|
|
10 ~ 100 оборотов в минуту
|
10 ~ 50 оборотов в минуту
|
|
|
|
|
|
|
Встроенный источник испарения AF/AS
|
Тепловая встроенная AS/AF
|
|
|
|
|
|