Magnetron Sputtering Optik Kaplama Ekipmanı
Cam, plastik ve metal gibi 2D / 2.5D / 3D substratlara yüksek hassasiyetli optik filmler kaplamak için yaygın olarak kullanılır.AR filmleri, sert AR filmleri, sert filmler (SiN veya DLC), HR filmleri, AS / AF filmleri, dielektrik filmler, şeffaf iletken filmler (ITO), metal filmler (tantalum, titanyum, alüminyum, krom, bakır),dekoratif filmler (CrN), CrON), yarı iletkenler (amorf silikon, polisilisilikon) vb.
Bu ekipman serisi, metal modunda püskürtme teknolojisinin ve yüksek reaktif plazma kaynaklarının bir kombinasyonunu benimser.Yük kilitleme odası, altyapıyı otomatik olarak aktarmak için bir manipülatör ile donatılmıştır.Seri üretimdeki tekillik %1'den azdır ve yüksek kaliteli üretimi sağlar. Patentli RF-ICP / CCP iyon kaynağı geniş bir çalışma aralığına, dengelenmiş enerjiye, yüksek iyonlaşma oranına, yüksek enerjiye ve yüksek enerjiye sahiptir.istikrarlı çalışma verimliliği, ve düşük enerji tüketimi. Film kalitesini iyileştirmek için substratları temizleyebilir ve kaplamayı destekleyebilir.
Tam optik kaplama çözümü sunuyoruz. AR, sert DLC, hidrofobi, AF, AS, ITO, HR,Hatta DLC+AR+AF gibi çok fonksiyonel çok katmanlı filmler bile.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Satır içi AF/AS Buharlanma Kaynağı
|
|
|
|
|
|
|