L'équipement réalise le revêtement grâce au mécanisme collaboratif de "pulvérisation cathodique magnétron + enroulement continu", qui comprend principalement deux étapes :
L'équipement est largement utilisé dans les industries qui nécessitent des fonctions de surface pour les substrats, avec des scénarios clés incluant :
| Catégorie de paramètre | Plage générale | Description |
|---|---|---|
| Largeur du substrat | 300-2000mm | Largeur personnalisable selon les besoins |
| Épaisseur du substrat | 10µm-500µm | Adaptable à différentes épaisseurs de substrats flexibles |
| Matériau de revêtement | Métaux, alliages, oxydes, etc. | Nécessite la correspondance des matériaux cibles correspondants |
| Épaisseur du revêtement | 5nm-5µm | Réglable via la puissance de pulvérisation et la vitesse |
| Degré de vide | 1*10⁻³ - 5*10⁻⁵ Pa | Assure la qualité de pulvérisation et la pureté du revêtement |
| Vitesse de production | 0,5-5m/min | Réglée en fonction de l'épaisseur du revêtement et des caractéristiques du substrat |
Un ensemble complet d'équipement comprend généralement cinq systèmes pour assurer un fonctionnement stable :
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