Magnetic Control Winding Coating Equipment / Magnetron Roll To Roll Coating Machine

본 장비는 "마그네트론 스퍼터링 + 연속 권취"의 협력 메커니즘을 통해 코팅을 완료하며, 주로 두 단계로 구성됩니다:

1. 마그네트론 스퍼터링 공정: 진공 챔버 내에서 자기장이 전자의 움직임을 제한하여 아르곤과 같은 불활성 기체를 이온화시켜 플라즈마를 생성합니다. 플라즈마는 타겟 재료(금속, 합금 또는 화합물 등)를 폭격하여 타겟 재료의 원자/이온을 스퍼터링하여 코팅 입자를 형성합니다.
2. 연속 권취 공정: 기판(예: PET 필름, 구리 포일)은 언와인더 및 가이드 롤러 전송 시스템을 통해 안정적인 속도로 스퍼터링 영역을 연속적으로 통과합니다. 스퍼터링된 입자는 기판 표면에 증착되며, 최종적으로 권취 시스템을 통해 완성품이 수집되어 연속적인 "롤 투 롤" 생산을 실현합니다.

1. 우수한 코팅 품질: 마그네트론 스퍼터링 기술은 코팅 두께를 정밀하게 제어할 수 있습니다(일반적으로 허용 오차 ≤ ±5%). 코팅은 높은 밀도와 강한 접착력(크로스컷 테스트 통과 가능) 및 균일한 조성을 가지며, 높은 기능적 요구 사항(예: 높은 차단성 및 높은 전도성)을 충족할 수 있습니다.
2. 높은 생산 효율: 연속 권취 설계를 채택하여 빈번한 시작-정지 작업이 필요하지 않습니다. 단일 기판 롤은 수백에서 수천 미터 길이일 수 있으며, 생산 속도는 조절 가능합니다(일반적으로 0.5-5 m/min). 대규모 대량 생산에 적합합니다.
3. 넓은 재료 호환성:
   • 기판 호환성: 플라스틱 필름(PET, PP), 금속 포일(알루미늄 포일, 구리 포일), 직물과 같은 유연한 재료를 처리할 수 있습니다.
   • 타겟 재료 호환성: 금속(알루미늄, 구리, 은), 합금(스테인리스강, 티타늄 합금), 화합물(ITO, SiO₂)을 포함한 다양한 타겟 재료를 지원하며, 전도성 필름, 차단 필름, 장식 필름 및 기타 기능성 코팅을 준비할 수 있습니다.

본 장비는 기판의 표면 기능이 요구되는 산업에서 널리 사용되며, 핵심 시나리오는 다음과 같습니다:

• 포장 산업: 플라스틱 필름 표면에 알루미늄 또는 SiO₂를 코팅하여 고차단성 필름을 제조하며, 식품 및 의약품 포장(산소 및 수분 차단, 유통 기한 연장)에 사용됩니다.
• 전자 산업: 유연한 기판 표면에 구리, 은 또는 ITO를 코팅하여 유연 전도성 필름을 제조하며, 유연 인쇄 회로(FPC), 터치 스크린 및 전자 태그에 사용됩니다.
• 신에너지 산업: 배터리 탭 및 분리막 표면을 코팅하여 전극의 전도성을 향상시키거나 분리막의 고온 저항성을 향상시키며, 리튬 배터리 및 연료 전지에 사용됩니다.
• 장식 산업: 필름 또는 직물 표면에 금속 필름(크롬 및 니켈 등)을 코팅하여 금속성 장식 재료를 제조하며, 가구 및 자동차 내장재에 사용됩니다.

완전한 장비 세트는 일반적으로 안정적인 작동을 보장하기 위해 5가지 시스템으로 구성됩니다:

1. 진공 시스템: 진공 펌프 세트(분자 펌프, 루트 펌프)와 진공 챔버로 구성되어 스퍼터링에 필요한 고진공 환경을 유지합니다.
2. 마그네트론 스퍼터링 시스템: 마그네트론 타겟(평면 타겟, 원통형 타겟) 및 스퍼터링 전원 공급 장치(DC, RF)를 포함하며, 코팅 입자 생성 담당합니다.
3. 권취 및 전송 시스템: 언와인더, 와인더, 가이드 롤러 및 장력 제어 시스템으로 구성되어 기판의 안정적이고 연속적인 전송을 보장합니다.
4. 온도 제어 시스템: 챔버 가열/냉각 장치 및 기판 온도 제어 모듈을 갖추고 있어 고온으로 인한 기판 변형을 방지합니다.
5. 제어 시스템: PLC + 터치 스크린을 채택하여 진공도, 스퍼터링 전력, 전송 속도와 같은 매개변수의 자동 제어 및 모니터링을 실현합니다.