อุปกรณ์จะทําการเคลือบผ่านกลไกการร่วมมือ "การกระจายแม็กเนตรอน + การล่อต่อเนื่อง" ซึ่งประกอบด้วยสองขั้นตอนหลัก ๆ:

1. กระบวนการกระจาย Magnetron: ในห้องว่าง สนามแม่เหล็กจํากัดการเคลื่อนไหวของอิเล็กตรอน, ยอนไอนก๊าซอ่อนแอ เช่น อาร์กอนเพื่อสร้างพลาสมา.ปลาสมาบอมเบอร์ดเป้าหมายวัสดุ (เช่นโลหะ, สารสกัดหรือสารประกอบ) การสปูเตอร์ออกอะตอม/ไอออนของวัสดุเป้าหมายเพื่อสร้างอนุภาคเคลือบ
2. กระบวนการล่อแบบต่อเนื่อง: สับสราท (ตัวอย่างเช่นหนัง PET, โฟลยะทองแดง) ถูกขนส่งโดยต่อเนื่องผ่านพื้นที่การพ่นด้วยความเร็วคงที่ผ่านระบบส่งล่อล่อและนํารอลล์.ส่วนละอองที่กระจายลงบนพื้นผิวของสับสราท และสุดท้าย ผลิตภัณฑ์ที่เสร็จสิ้นถูกรวบรวมผ่านระบบการม้วน ทําให้เกิดการผลิตแบบต่อเนื่อง "รอบเดียว"

1. คุณภาพการเคลือบที่ยอดเยี่ยม: เทคโนโลยีการกระจาย Magnetron สามารถควบคุมความหนาของเคลือบได้อย่างแม่นยํา (มีความละเอียดปกติ ≤ ± 5%)การเคลือบมีความหนาแน่นสูงและความแน่นแข็งแรง (สามารถผ่านการทดสอบตัดข้าม) และยังมีองค์ประกอบแบบเดียวกันซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการการทํางานที่สูง (เช่น คุณสมบัติอุปสรรคสูงและการนําไฟที่สูง)
2. ประสิทธิภาพการผลิตสูง: การนําออกแบบการล่อต่อเนื่องไม่จําเป็นต้องเริ่มต้นและหยุดการปฏิบัติการบ่อยและความเร็วการผลิตสามารถปรับได้ (โดยทั่วไป 0.5-5 m/min) ทําให้เหมาะสําหรับการผลิตขนาดใหญ่
3. ความเหมาะสมของวัสดุทั่วไป:
   • ความเหมาะสมกับพื้นฐาน: สามารถประมวลผลวัสดุยืดหยุ่น เช่น ฟิล์มพลาสติก (PET, PP) ฟอยล์โลหะ (ฟอยล์อลูมิเนียม, ฟอยล์ทองแดง) และผ้า
   • ความเหมาะสมของวัสดุเป้าหมาย: มันรองรับวัสดุเป้าหมายต่าง ๆ รวมถึงโลหะ (อลูมิเนียม, ทองแดง, เงิน), สายสลัด (สแตนเลส, สายสลัดไทเทเนียม) และสารประกอบ (ITO, SiO2)และสามารถเตรียมฟิล์มนํา, ฟิล์มป้องกัน, ฟิล์มตกแต่ง, และเคลือบอื่น ๆ ที่ใช้งานได้

อุปกรณ์นี้ถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการฟังก์ชันพื้นผิวสําหรับสับสราต โดยมีกรณีสําคัญประกอบด้วย

• อุตสาหกรรมบรรจุภัณฑ์: การเคลือบอะลูมิเนียมหรือ SiO2 บนผิวของฟิล์มพลาสติกเพื่อเตรียมฟิล์มที่มีอุปสรรคสูงที่ใช้ในการบรรจุอาหารและยา (เพื่อป้องกันออกซิเจนและความชื้นและขยายอายุการใช้งาน).
• อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์: การเคลือบทองแดง, เงิน, หรือ ITO บนผิวของพื้นฐานยืดหยุ่นเพื่อเตรียมฟิล์มนํายืดหยุ่นที่ใช้ในวงจรพิมพ์ยืดหยุ่น (FPC), จอสัมผัสและแท็กอิเล็กทรอนิกส์.
• อุตสาหกรรมพลังงานใหม่: การเคลือบผิวของแท็บแบตเตอรี่และเครื่องแยก เพื่อปรับปรุงการนําไฟฟ้าของอิเล็กทรอนด์หรือความทนทานต่ออุณหภูมิสูงของเครื่องแยกที่ใช้ในแบตเตอรี่ลิเดียมและเซลล์เชื้อเพลิง.
• อุตสาหกรรมการตกแต่ง: การเคลือบฟิล์มโลหะ (เช่นโครเมียมและนิเคิล) บนผิวของฟิล์มหรือผ้าเพื่อเตรียมวัสดุตกแต่งคล้ายโลหะที่ใช้ในเฟอร์นิเจอร์และภายในรถยนต์.

ชุดอุปกรณ์ที่สมบูรณ์แบบโดยทั่วไปรวมถึง 5 ระบบเพื่อให้การทํางานมั่นคง:

1. ระบบสูบล้างความว่าง: ประกอบด้วยชุดปั๊มสูบล้างความว่าง (ปั๊มโมเลกุล, ปั๊มราก) และห้องสูบล้างความว่าง, มันรักษาสภาพแวดล้อมระดับสูบล้างความว่างสูงที่จําเป็นสําหรับการพ่น.
2. ระบบกระจาย Magnetron: ประกอบด้วยเป้าหมาย Magnetron (เป้าหมายแบบเรียบ, เป้าหมายแบบกระบอก) และปั๊มพลังงานกระจาย (DC, RF) ที่รับผิดชอบในการผลิตอนุภาคเคลือบ
3. ระบบการล่อและการส่ง: ประกอบด้วยเครื่องล่อล่อ, เครื่องล่อล่อ, รอลเลอร์นํา, และระบบควบคุมความตึงเครียด, รับประกันการถ่ายส่งของพื้นฐานที่มั่นคงและต่อเนื่อง
4. ระบบควบคุมอุณหภูมิ: อุปกรณ์ที่มีอุปกรณ์ทําความร้อน/ทําความเย็นในห้อง และโมดูลควบคุมอุณหภูมิของพื้นฐาน เพื่อป้องกันการปรับปรุงของพื้นฐานเนื่องจากอุณหภูมิสูง
5. ระบบควบคุม: ใช้ PLC + หน้าจอสัมผัส เพื่อรับรู้การควบคุมและการติดตามปริมาตรแบบอัตโนมัติ เช่น ระดับระยะว่าง, พลังการกระจายและความเร็วการส่ง